Сүвэрхэг тантал карбид бүрсэн графит цагираг
Сүвэрхэг тантал карбид (TaC) бүрсэн бал чулуунь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн өндөр температурт, өндөр зэврэлттэй орчинд зориулан тусгайлан боловсруулсан гол материал юм. Үүний суурь нь химийн уурын тунадасжуулалт (CVD) ашиглан жигд сүвэрхэг тантал карбидын бүрхүүлээр бүрсэн өндөр цэвэршилттэй изостатик бал чулуу юм. TaC нь маш өндөр хатуулагтай (Мохсын шатлалаар 9-10) бөгөөд 3880°C хайлах цэгтэй. Бал чулууны маш сайн дулааны тогтвортой байдал, хөнгөн шинж чанаруудтай хослуулсан энэхүү материал нь өндөр температурын бат бөх чанарыг химийн халдлага болон дулааны цочролд тэсвэртэй хослуулсан тул хэт хүнд нөхцөлд ажилладаг хагас дамжуулагч технологийн тоног төхөөрөмжийн хувьд хамгийн тохиромжтой сонголт болдог.
Сүвэрхэг тантал карбидын бал чулууны давуу талууд:
1. Хэт өндөр зэврэлтээс хамгаалах чадвар
-TaC нь химийн хувьд идэвхгүй бөгөөд фтор, хлор зэрэг галогенуудын зэврэлтийг үр дүнтэй эсэргүүцдэг тул тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц уртасгадаг.
-Сүвэрхэг бүтэц нь бүрхүүлийн гадаргуугийн талбайг нэмэгдүүлж, илүү бат бөх хамгаалалтын хаалт үүсгэж, бөөмсийн уналтын эрсдлийг бууруулдаг.
2. Өндөр температурын маш сайн тогтвортой байдал
- Хайлах цэг нь 4000°C-д ойртох үед вакуум эсвэл 2500°C-аас дээш температурт идэвхгүй орчинд удаан хугацаагаар ажиллах боломжтой.
-Бүрээсний дулааны тэлэлтийн коэффициент нь бал чулууныхтай маш сайн тохирч байгаа тул дулааны мөчлөгөөс үүдэлтэй хагарал, гуужилтаас сэргийлнэ.
3. Өндөр цэвэршилт ба бага бохирдол
-Хагас дамжуулагч зэрэглэлийн түүхий эд, процессыг ашиглахад металлын хольцын агууламж маш бага тул вафлийн бохирдлын эрсдлийг эрс бууруулдаг.
- Гадаргуу нь нягт, химийн хувьд тогтвортой, бөөмсийн үүсэлтийг бууруулж, цэвэр өрөөний хатуу стандартыг хангасан.
4. Захиалгат дизайн
Үйлчлүүлэгчийн зургийн дагуу нарийн төвөгтэй хэлбэрийг үйлдвэрлэж болох бөгөөд хийн урсгал болон дулаан дамжуулалтыг оновчтой болгохын тулд нүх сүв болон бүрхүүлийн зузааныг хянаж болно.
5. Урт хугацааны ашиглалтын хугацаа болон засвар үйлчилгээний зардал бага
Сүвэрхэг TaC бүрхүүлийн маш өндөр зэврэлт ба элэгдэлд тэсвэртэй байдал нь уламжлалт бал чулуутай харьцуулахад эд ангийн ашиглалтын хугацааг 3-5 дахин нэмэгдүүлж, солих давтамж болон засвар үйлчилгээний зардлыг бууруулдаг.
Үндсэн хэрэглээ
1. Вафли үйлдвэрлэх үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүд
- Зүрх судасны өвчин/ALD тоног төхөөрөмжийн урвалын камерын доторлогоо, хаалт, шүршүүрийн толгой
- PVD байны тулгуурууд
- Диффуз, исэлдэлт, хайлуулах болон бусад процессуудад зориулсан өндөр температурт боловсруулах бүрэлдэхүүн хэсгүүд
2. Химийн ууршуулах систем
- Үйл явцын явцад гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг өндөр идэмхий орчинд (фтор ба хлорид гэх мэт) хамгаалах
3. Бусад өндөр температурт идэмхий орчин
- Химийн хий цэвэршүүлэх, тусгай дулааны боловсруулалтын зуух болон бусад хэрэглээнд тохиромжтой.
VET Energy нь бал чулуу, цахиурын карбид, кварц зэрэг өндөр зэрэглэлийн дэвшилтэт материалын судалгаа, хөгжүүлэлт, үйлдвэрлэл, мөн SiC бүрхүүл, TaC бүрхүүл, шилэн нүүрстөрөгчийн бүрхүүл, пиролитик нүүрстөрөгчийн бүрхүүл гэх мэт материалын боловсруулалтад чиглэсэн мэргэжлийн үйлдвэрлэгч юм. Бүтээгдэхүүнийг фотоэлектрик, хагас дамжуулагч, шинэ эрчим хүч, металлурги гэх мэт салбарт өргөн ашигладаг.
Манай техникийн баг нь дотоодын шилдэг судалгааны байгууллагуудаас гаралтай бөгөөд танд илүү мэргэжлийн материалын шийдлийг санал болгож чадна.
VET Energy-ийн давуу талууд нь дараахь зүйлийг агуулдаг.
• Өөрийн гэсэн үйлдвэр болон мэргэжлийн лабораторитой;
• Салбартаа тэргүүлэгч цэвэршилтийн түвшин болон чанар;
• Өрсөлдөхүйц үнэ ба хурдан хүргэлтийн хугацаа;
• Дэлхий даяар олон салбарын түншлэл;
Та манай үйлдвэр болон лабораторид хэзээ ч хамаагүй зочлохыг урьж байна!
