פּאָרעז טאַנטאַלום קאַרבייד קאָוטאַד גראַפיט רינג

פּאָרעז טאַנטאַלום קאַרבייד קאָוטאַד גראַפיט רינג
פּאָרעז טאַנטאַלום קאַרבייד (TaC) באדעקט מיט גראַפיטאיז א שליסל מאַטעריאַל ספּעציעל דעוועלאָפּעד פֿאַר די הויך-טעמפּעראַטור, העכסט קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ פון האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג. זיין סאַבסטראַט איז הויך-ריינקייט איזאָסטאַטיק גראַפיט, באדעקט מיט אַ יוואַנלי פּאָרעז טאַנטאַלום קאַרבייד קאָוטינג ניצן כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD). TaC האט אַן עקסטרעם הויך כאַרדנאַס (9-10 אויף די מאָהס וואָג) און אַ שמעלץ פונט פון 3880°C. קאַמביינד מיט גראַפיט ס ויסגעצייכנט טערמאַל פעסטקייַט און לייטווייט פּראָפּערטיעס, דעם מאַטעריאַל קאַמביינז הויך-טעמפּעראַטור שטאַרקייַט מיט קעגנשטעל צו כעמישער אַטאַק און טערמאַל קלאַפּ, מאכן עס אַן ידעאַל ברירה פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעס ויסריכט אַפּערייטינג אונטער עקסטרעמע באדינגונגען.

אַדוואַנטאַגעס פון פּאָרעז טאַנטאַלום קאַרבייד גראַפיט:
1. אולטרא-הויך קעראָוזשאַן קעגנשטעל
-טאַק איז כעמיש אינערט, עפעקטיוו קעגנשטעליק קעגן קעראָוזשאַן פון האַלאָגענס אַזאַ ווי פלאָרין און קלאָרין, וואָס באַדייטנד פאַרלענגערט די לעבן פון ויסריכט.
די פּאָרעז סטרוקטור פאַרגרעסערט די ייבערפלאַך פון דער קאָוטינג, פאָרמינג אַ מער שטאַרק פּראַטעקטיוו באַריער און רידוסינג די ריזיקירן פון פּאַרטיקל שעדינג.
2. אויסגעצייכנטע הויך-טעמפּעראַטור פעסטקייט
מיט אַ שמעלץ-פּונקט וואָס דערנענטערט זיך צו 4000°C, קען עס אַרבעטן פֿאַר פֿאַרלענגערטע פּעריאָדן אין וואַקוום אָדער ינערט אַטמאָספֿערעס וואָס איבערשטייגן 2500°C.
-די טערמישע אויסברייטונג קאעפיציענט פון דער באַדעקונג איז העכסט צוגעפאסט צו יענעם פון גראַפיט, פאַרהיטנדיק קראַקינג און דעלאַמינאַציע געפֿירט דורך טערמישע סייקלינג.
3. הויך ריינקייט און נידעריקע קאַנטאַמאַניישאַן
-ניצנדיק האַלב-קאָנדוקטאָר-גראַד רוי מאַטעריאַלן און פּראָצעסן, איז דער מעטאַל פֿאַרפּעסטיקונג אינהאַלט גאָר נידעריק, וואָס באַדייטנד ראַדוסירט דעם ריזיקירן פון ווייפער קאַנטאַמאַניישאַן.
-די ייבערפלאַך איז געדיכט און כעמיש סטאַביל, וואָס רעדוצירט פּאַרטיקל דזשענעריישאַן און טרעפט שטרענגע ריינרום סטאַנדאַרדס.
4. אייגענעם דיזיין
קאָמפּלעקסע פֿאָרמען קענען פּראָדוצירט ווערן לויט קונה צייכענונגען, און פּאָראָסיטי און קאָוטינג גרעב קענען קאָנטראָלירט ווערן צו דערגרייכן אָפּטימאַל גאַז שטראָם און טערמישע קאַנדאַקטיוויטי.
5. לאַנג לעבן און נידעריק וישאַלט קאָסטן
די גאָר הויכע קעראָוזשאַן און טראָגן קעגנשטעל פון פּאָרעז טאַק קאָוטינגז פאַרגרעסערט קאָמפּאָנענט לעבן מיט 3-5 מאָל קאַמפּערד צו טראדיציאנעלן גראַפיט, רידוסינג פאַרבייַט אָפטקייַט און וישאַלט קאָס.

הויפּט אַפּליקאַציעס
1. קערן קאָמפּאָנענטן פֿאַר וועיפער פּראָדוקציע
- רעאַקציע קאַמער ליינערז, באַפאַלז, און שפּריץ-קאָפּ פֿאַר CVD/ALD ויסריכט
- PVD ציל שטיצט
- הויך-טעמפּעראַטור פּראָצעס קאָמפּאָנענטן פֿאַר דיפוזיע, אַקסאַדיישאַן, אַנילינג, און אַנדערע פּראָצעסן
2. כעמישע פארע דעפאזיציע סיסטעמען
- באַשיצן שליסל קאָמפּאָנענטן אין העכסט קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ (אַזאַ ווי פלאָריידז און קלאָריידז) בעשאַס דעם פּראָצעס
3. אנדערע הויך-טעמפּעראַטור קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ
- פּאַסיק פֿאַר כעמישער גאַז רייניקונג, ספּעציאַליזירטע היץ באַהאַנדלונג אויוון, און אַנדערע אַפּלאַקיישאַנז.