Gözenekli Tantal Karbid bilen Örtülen Grafit Halkasy
Gözenekli tantal karbidi (TaC) bilen örtülen grafitýarymgeçiriji önümçiliginiň ýokary temperaturaly, ýokary derejede poslama gurşawy üçin ýörite işlenip düzülen esasy materialdyr. Onuň esasy himiki bug çökündisi (CVD) ulanylyp, deň derejede gözenekli tantal karbid örtügi bilen örtülen ýokary arassa izostatik grafitdir. TaC örän ýokary gatylyga (Mohs şkalasy boýunça 9-10) we ereme nokady 3880°C-e eýedir. Grafitiň ajaýyp termal durnuklylygy we ýeňil häsiýetleri bilen utgaşdyrylan bu material ýokary temperatura berkligini himiki hüjüme we termal şoka garşylyk bilen utgaşdyrýar, bu bolsa ony ekstremal şertlerde işleýän ýarymgeçiriji tehnologiýa enjamlary üçin ideal saýlawa öwürýär.
Gözenekli Tantal Karbid Grafitiniň artykmaçlyklary:
1. Ultra ýokary korroziýa garşylygy
-TaC himiki taýdan inert bolup, ftor we hlor ýaly galogenlerden döreýän poslama garşy netijeli göreşýär we enjamyň ömrüni ep-esli uzaldýar.
-Gözenekli gurluş örtügiň ýüzüniň meýdanyny artdyrýar, has berk gorag böwetini emele getirýär we bölejikleriň dökülmeginiň töwekgelçiligini azaldýar.
2. Ajaýyp ýokary temperatura durnuklylygy
-Ereme nokady 4000°C-a golaýlanda, ol wakuumda ýa-da 2500°C-den ýokary bolan inert atmosferada uzak wagtlap işläp bilýär.
-Gaplamanyň termal giňelme koeffisiýenti grafidiňki bilen ýokary derejede gabat gelýär, bu bolsa termal sikl sebäpli ýüze çykýan ýarylmanyň we delaminasiýanyň öňüni alýar.
3. Ýokary arassalyk we pes hapalanma
-Ýarymgeçiriji derejeli çig mallary we prosesleri ulanmak bilen, metalyň garyndysynyň mukdary örän az bolup, waferleriň hapalanmagynyň töwekgelçiligini ep-esli azaldýar.
-Ýüzi dykyz we himiki taýdan durnukly, bölejikleriň döremegini azaldýar we arassa otagyň berk standartlaryna laýyk gelýär.
4. Özboluşly dizaýn
Müşderi çyzgylaryna laýyklykda çylşyrymly görnüşler öndürilip bilner, şeýle hem optimal gaz akymyna we ýylylyk geçirijiligine ýetmek üçin gözenekliligi we örtügiň galyňlygyny gözegçilikde saklap bolýar.
5. Uzak ömür we az tehniki hyzmat çykdajylary
Gözenekli TaC örtükleriniň örän ýokary korroziýa we aşynma garşylygy, däp bolan grafit bilen deňeşdirilende, komponentleriň ömrüni 3-5 esse artdyrýar, çalşyryş ýygylygyny we tehniki hyzmat çykdajylaryny azaldýar.
Esasy ulanylyşlar
1. Gofret önümçiligi üçin esasy bölekler
- CVD/ALD enjamlary üçin reaksiýa kamerasynyň astarlary, deflektorlary we duş başlygy
- PVD nyşana goldawlary
- Diffuziýa, oksidlenme, ýumşatma we beýleki prosesler üçin ýokary temperaturaly proses komponentleri
2. Himiki bug çökündi ulgamlary
- Prosesiň dowamynda esasy bölekleri ýokary derejede aşyndyryjy gurşawlarda (ftorlar we hloridler ýaly) goramak
3. Beýleki ýokary temperaturaly aşyndyryjy gurşawlar
- Himiki gazy arassalamak, ýöriteleşdirilen ýylylyk bilen işleýän peçler we beýleki ulanyşlar üçin amatly.
"VET Energy" grafit, kremniý karbidi, kwars ýaly ýokary derejeli öňdebaryjy materiallaryň ylmy-barlag işlerine we önümçiligine, şeýle hem SiC örtügi, TaC örtügi, aýna ýaly uglerod örtügi, pirolitik uglerod örtügi we ş.m. ýaly materiallary gaýtadan işlemäge gönükdirilen hünärmen önüm öndürijidir. Önümler fotowoltaik, ýarymgeçiriji, täze energiýa, metallurgiýa we ş.m. pudaklarda giňden ulanylýar.
Biziň tehniki toparymyz ýerli ylmy-barlag edaralaryndan gelip çykýar, size has professional material çözgütlerini hödürläp biler.
VET Energy-niň artykmaçlyklary aşakdakylary öz içine alýar:
• Öz zawodyňyz we hünärmen laboratoriýasyňyz;
• Pudagyň öňdebaryjy arassalyk derejeleri we hili;
• Bäsdeşlikli baha we çalt eltip berme wagty;
• Dünýä boýunça köp sanly senagat hyzmatdaşlygy;
Islendik wagt fabrikamyza we laboratoriýamyza baryp görmegiňizi hoş gördük!
