Күзәнәкле тантал карбиды белән капланган графит боҗрасы

Күзәнәкле тантал карбиды белән капланган графит боҗрасы
Күзәнәкле тантал карбиды (TaC) белән капланган графитярымүткәргечләр җитештерүнең югары температуралы, югары коррозияле мохите өчен махсус эшләнгән төп материал. Аның нигезе - югары сафлыклы изостатик графит, ул химик пар утырту (CVD) ярдәмендә тигез күзәнәкле тантал карбиды каплавы белән капланган. TaC гаять югары катылыкка (Моос шкаласы буенча 9-10) һәм эрү температурасы 3880°C. Графитның искиткеч термик тотрыклылыгы һәм җиңел үзлекләре белән берләштерелгән бу материал югары температура ныклыгын химик һөҗүмгә һәм термик шокка чыдамлык белән берләштерә, бу аны экстремаль шартларда эшләүче ярымүткәргеч технологик җиһазлар өчен идеаль сайлау итә.

Порцияле тантал карбиды графитының өстенлекләре:
1. Коррозиягә бик югары чыдамлык
-TaC химик яктан инертлы, фтор һәм хлор кебек галогеннарның коррозиясенә нәтиҗәле каршы тора, җиһазларның гомерен сизелерлек озайта.
- Күзәнәкле структура капламаның өслек мәйданын арттыра, ныклырак саклагыч киртә барлыкка китерә һәм кисәкчәләрнең коелу куркынычын киметә.
2. Югары температурада бик яхшы тотрыклылык
- Эрү температурасы 4000°C га якынлашканда, ул вакуумда яки 2500°C тан артык инерт атмосферада озак вакыт эшли ала.
- Капламаның җылылык киңәю коэффициенты графитныкына туры килә, ул җылылык циклы нәтиҗәсендә килеп чыккан ярылу һәм катламнарның аерылуын булдырмый.
3. Югары сафлык һәм түбән пычрану
- Ярымүткәргеч сыйфатлы чимал һәм процессларны куллану нәтиҗәсендә металл катнашмасы бик түбән, бу пластиналарның пычрану куркынычын сизелерлек киметә.
- Өслек тыгыз һәм химик яктан тотрыклы, кисәкчәләр барлыкка килүне киметә һәм чиста бүлмә стандартларына туры килә.
4. Заказ буенча дизайн
Катлаулы формаларны заказ бирүче сызымнары буенча җитештерергә мөмкин, ә оптималь газ агымына һәм җылылык үткәрүчәнлегенә ирешү өчен мәсамәлелекне һәм каплау калынлыгын контрольдә тотарга мөмкин.
5. Озын гомер һәм түбән хезмәт күрсәтү бәясе
Күзәнәкле TaC капламаларының бик югары коррозиягә һәм тузуга чыдамлыгы традицион графит белән чагыштырганда компонентларның гомерен 3-5 тапкыр арттыра, алыштыру ешлыгын һәм хезмәт күрсәтү чыгымнарын киметә.

Төп кушымталар
1. Пластиналар җитештерү өчен төп компонентлар
- CVD/ALD җиһазлары өчен реакция камерасы астарлары, дефлекторлар һәм душ башы
- PVD максатчан терәкләре
- Диффузия, оксидлашу, җылыту һәм башка процесслар өчен югары температуралы процесс компонентлары
2. Химик пар урнаштыру системалары
- Процесс барышында төп компонентларны югары коррозияле мохиттә (мәсәлән, фторидлар һәм хлоридлар) саклау
3. Башка югары температуралы коррозик мохитләр
- Химик газ чистарту, махсус җылылык эшкәртү мичләре һәм башка кушымталар өчен яраклы.