Porozni grafitni prsten obložen tantal karbidom
Porozni grafit obložen tantal karbidom (TaC)je ključni materijal razvijen posebno za visokotemperaturne, vrlo korozivne okoline u proizvodnji poluvodiča. Njegova podloga je izostatički grafit visoke čistoće, premazan jednoliko poroznim premazom tantal karbida kemijskim taloženjem iz pare (CVD). TaC ima izuzetno visoku tvrdoću (9-10 na Mohsovoj ljestvici) i talište od 3880°C. U kombinaciji s izvrsnom toplinskom stabilnošću i laganim svojstvima grafita, ovaj materijal kombinira čvrstoću na visokim temperaturama s otpornošću na kemijske napade i toplinski udar, što ga čini idealnim izborom za opremu za poluvodičke procese koja radi u ekstremnim uvjetima.
Prednosti poroznog tantal karbidnog grafita:
1. Ultra visoka otpornost na koroziju
-TaC je kemijski inertan, učinkovito se odupire koroziji uzrokovanoj halogenima poput fluora i klora, značajno produžujući vijek trajanja opreme.
-Porozna struktura povećava površinu premaza, stvarajući robusniju zaštitnu barijeru i smanjujući rizik od rasipanja čestica.
2. Izvrsna stabilnost na visokim temperaturama
-S talištem koje se približava 4000°C, može raditi dulje vrijeme u vakuumu ili inertnoj atmosferi koja prelazi 2500°C.
-Koeficijent toplinskog širenja premaza u velikoj je mjeri usklađen s koeficijentom grafita, što sprječava pucanje i raslojavanje uzrokovano toplinskim cikliranjem.
3. Visoka čistoća i niska kontaminacija
-Korištenjem sirovina i procesa poluvodičke kvalitete, sadržaj metalnih nečistoća je izuzetno nizak, što značajno smanjuje rizik od kontaminacije pločice.
-Površina je gusta i kemijski stabilna, što smanjuje stvaranje čestica i zadovoljava stroge standarde čistih soba.
4. Dizajn po narudžbi
Složeni oblici mogu se proizvesti prema crtežima kupaca, a poroznost i debljina premaza mogu se kontrolirati kako bi se postigao optimalni protok plina i toplinska vodljivost.
5. Dugi vijek trajanja i niski troškovi održavanja
Iznimno visoka otpornost na koroziju i habanje poroznih TaC premaza povećava vijek trajanja komponenti za 3-5 puta u usporedbi s tradicionalnim grafitom, smanjujući učestalost zamjene i troškove održavanja.
Glavne primjene
1. Osnovne komponente za proizvodnju pločica
- Obloge reakcijske komore, pregrade i tuš za CVD/ALD opremu
- PVD nosači meta
- Komponente za visokotemperaturne procese difuzije, oksidacije, žarenja i drugih procesa
2. Sustavi za kemijsko taloženje iz pare
- Zaštita ključnih komponenti u visoko korozivnim okruženjima (kao što su fluoridi i kloridi) tijekom procesa
3. Druga korozivna okruženja visokih temperatura
- Pogodno za kemijsko pročišćavanje plinova, specijalizirane peći za toplinsku obradu i druge primjene.
VET Energy je profesionalni proizvođač usmjeren na istraživanje i razvoj te proizvodnju vrhunskih naprednih materijala poput grafita, silicijevog karbida, kvarca, kao i na obradu materijala poput SiC premaza, TaC premaza, premaza staklastim ugljikom, pirolitičkog ugljičnog premaza itd. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sustavima, poluvodičima, novoj energiji, metalurgiji itd.
Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.
Prednosti VET Energy uključuju:
• Vlastita tvornica i profesionalni laboratorij;
• Vodeće razine čistoće i kvalitete u industriji;
• Konkurentna cijena i brzo vrijeme isporuke;
• Višestruka industrijska partnerstva diljem svijeta;
Pozivamo vas da posjetite našu tvornicu i laboratorij u bilo koje vrijeme!
