Unazë grafiti e veshur me karbid tantali poroz

Unazë grafiti e veshur me karbid tantali poroz
Grafit i veshur me karbid tantali poroz (TaC)është një material kyç i zhvilluar posaçërisht për mjediset me temperaturë të lartë dhe shumë korrozive të prodhimit të gjysmëpërçuesve. Substrati i tij është grafit izostatik me pastërti të lartë, i veshur me një shtresë karbidi tantali poroz uniformisht duke përdorur depozitim kimik të avujve (CVD). TaC ka një fortësi jashtëzakonisht të lartë (9-10 në shkallën Mohs) dhe një pikë shkrirjeje prej 3880°C. I kombinuar me stabilitetin e shkëlqyer termik dhe vetitë e peshës së lehtë të grafitit, ky material kombinon forcën në temperaturë të lartë me rezistencën ndaj sulmit kimik dhe goditjes termike, duke e bërë atë një zgjedhje ideale për pajisjet e procesit të gjysmëpërçuesve që veprojnë në kushte ekstreme.

Avantazhet e grafitit poroz të karbidit të tantalit:
1. Rezistencë ultra e lartë ndaj korrozionit
-TaC është kimikisht inert, duke i rezistuar në mënyrë efektive korrozionit nga halogjenet si fluori dhe klori, duke zgjatur ndjeshëm jetëgjatësinë e pajisjeve.
-Struktura poroze rrit sipërfaqen e veshjes, duke formuar një barrierë mbrojtëse më të fortë dhe duke zvogëluar rrezikun e derdhjes së grimcave.
2. Stabilitet i shkëlqyer në temperaturë të lartë
Me një pikë shkrirjeje që i afrohet 4000°C, mund të funksionojë për periudha të gjata në vakum ose në atmosfera inerte që tejkalojnë 2500°C.
-Koeficienti i zgjerimit termik të veshjes përputhet shumë me atë të grafitit, duke parandaluar çarjen dhe shkëputjen e shtresave të shkaktuara nga cikli termik.
3. Pastërti e Lartë dhe Ndotje e Ulët
-Duke përdorur lëndë të para dhe procese të gradës gjysmëpërçuese, përmbajtja e papastërtive metalike është jashtëzakonisht e ulët, duke zvogëluar ndjeshëm rrezikun e kontaminimit të pllakave.
-Sipërfaqja është e dendur dhe kimikisht e qëndrueshme, duke zvogëluar gjenerimin e grimcave dhe duke përmbushur standardet e rrepta të dhomave të pastra.
4. Dizajn i personalizuar
Forma komplekse mund të prodhohen sipas vizatimeve të klientit, dhe poroziteti dhe trashësia e veshjes mund të kontrollohen për të arritur rrjedhën optimale të gazit dhe përçueshmërinë termike.
5. Jetëgjatësi e gjatë dhe kosto e ulët mirëmbajtjeje
Rezistenca jashtëzakonisht e lartë ndaj korrozionit dhe konsumimit e veshjeve poroze TaC rrit jetëgjatësinë e komponentëve me 3-5 herë krahasuar me grafitin tradicional, duke zvogëluar frekuencën e zëvendësimit dhe kostot e mirëmbajtjes.

Aplikimet kryesore
1. Komponentët kryesorë për prodhimin e pllakave
- Mbulesa, defekte dhe kokë dushi të dhomës së reagimit për pajisjet CVD/ALD
- Mbështetëse për objektivat PVD
- Komponentë të procesit me temperaturë të lartë për difuzion, oksidim, kalitje dhe procese të tjera
2. Sisteme të depozitimit kimik të avujve
- Mbrojtja e komponentëve kryesorë në mjedise shumë korrozive (si fluoridet dhe kloruret) gjatë procesit
3. Mjedise të tjera gërryese në temperaturë të lartë
- I përshtatshëm për pastrimin e gazrave kimikë, furrat e specializuara të trajtimit të nxehtësisë dhe aplikime të tjera.