Пористое графитовое кольцо с покрытием из карбида тантала

Пористое графитовое кольцо с покрытием из карбида тантала
Пористый графит, покрытый карбидом тантала (TaC).TaC — это ключевой материал, разработанный специально для высокотемпературных и высококоррозионных сред полупроводникового производства. Его подложкой является высокочистый изостатический графит, покрытый равномерным пористым покрытием из карбида тантала, полученным методом химического осаждения из газовой фазы (CVD). TaC обладает чрезвычайно высокой твердостью (9-10 по шкале Мооса) и температурой плавления 3880 °C. В сочетании с превосходной термической стабильностью и легкостью графита этот материал сочетает в себе высокую прочность при высоких температурах с устойчивостью к химическому воздействию и термическому шоку, что делает его идеальным выбором для оборудования полупроводниковых технологий, работающего в экстремальных условиях.

Преимущества пористого графита из карбида тантала:
1. Сверхвысокая коррозионная стойкость
-TaC химически инертен, эффективно противостоит коррозии, вызываемой галогенами, такими как фтор и хлор, что значительно продлевает срок службы оборудования.
- Пористая структура увеличивает площадь поверхности покрытия, образуя более прочный защитный барьер и снижая риск отслаивания частиц.
2. Превосходная высокотемпературная стабильность
Благодаря температуре плавления, приближающейся к 4000 °C, он может длительное время работать в вакууме или инертной атмосфере при температуре выше 2500 °C.
Коэффициент теплового расширения покрытия точно соответствует коэффициенту теплового расширения графита, что предотвращает растрескивание и расслоение, вызванные термическими циклами.
3. Высокая чистота и низкий уровень загрязнения.
- Использование полупроводниковых сырьевых материалов и технологий позволяет добиться чрезвычайно низкого содержания металлических примесей, что значительно снижает риск загрязнения кремниевых пластин.
- Поверхность плотная и химически стабильная, что снижает образование частиц и соответствует строгим стандартам чистых помещений.
4. Индивидуальный дизайн
Изделия сложной формы могут быть изготовлены по чертежам заказчика, а пористость и толщина покрытия могут контролироваться для достижения оптимального газового потока и теплопроводности.
5. Длительный срок службы и низкие затраты на техническое обслуживание.
Чрезвычайно высокая коррозионная и износостойкость пористых покрытий из TaC увеличивает срок службы компонентов в 3-5 раз по сравнению с традиционным графитом, снижая частоту замены и затраты на техническое обслуживание.

Основные области применения
1. Основные компоненты для производства кремниевых пластин
- Вкладыши, перегородки и душевые насадки для реакционной камеры оборудования CVD/ALD
- Поддержка мишеней PVD
- Высокотемпературные технологические компоненты для диффузии, окисления, отжига и других процессов.
2. Системы химического осаждения из паровой фазы
- Защита ключевых компонентов в условиях высокой коррозии (например, в средах, содержащих фториды и хлориды) в процессе производства.
3. Другие высокотемпературные коррозионные среды
- Подходит для химической очистки газов, специализированных печей для термообработки и других применений.