Cincin Grafit Berlapis Tantalum Karbida Berpori
Grafit berlapis tantalum karbida (TaC) berporiTantalum karbida (TaC) adalah material kunci yang dikembangkan khusus untuk lingkungan bersuhu tinggi dan sangat korosif dalam manufaktur semikonduktor. Substratnya adalah grafit isostatik dengan kemurnian tinggi, dilapisi dengan lapisan tantalum karbida berpori seragam menggunakan deposisi uap kimia (CVD). TaC memiliki kekerasan yang sangat tinggi (9-10 pada skala Mohs) dan titik leleh 3880°C. Dikombinasikan dengan stabilitas termal grafit yang sangat baik dan sifat ringannya, material ini menggabungkan kekuatan suhu tinggi dengan ketahanan terhadap serangan kimia dan guncangan termal, menjadikannya pilihan ideal untuk peralatan proses semikonduktor yang beroperasi dalam kondisi ekstrem.
Keunggulan Grafit Tantalum Karbida Berpori:
1. Ketahanan Korosi Sangat Tinggi
-TaC bersifat inert secara kimia, secara efektif menahan korosi dari halogen seperti fluorin dan klorin, sehingga secara signifikan memperpanjang umur peralatan.
-Struktur berpori meningkatkan luas permukaan lapisan, membentuk penghalang pelindung yang lebih kuat dan mengurangi risiko pelepasan partikel.
2. Stabilitas Suhu Tinggi yang Sangat Baik
-Dengan titik leleh mendekati 4000°C, alat ini dapat beroperasi dalam jangka waktu lama di ruang hampa atau atmosfer inert yang melebihi 2500°C.
-Koefisien ekspansi termal lapisan tersebut sangat sesuai dengan koefisien ekspansi termal grafit, sehingga mencegah keretakan dan delaminasi yang disebabkan oleh siklus termal.
3. Kemurnian Tinggi dan Kontaminasi Rendah
-Dengan menggunakan bahan baku dan proses berkualitas semikonduktor, kandungan pengotor logam sangat rendah, sehingga secara signifikan mengurangi risiko kontaminasi wafer.
-Permukaannya padat dan stabil secara kimia, mengurangi pembentukan partikel dan memenuhi standar ruang bersih yang ketat.
4. Desain Kustom
Bentuk-bentuk kompleks dapat diproduksi sesuai dengan gambar pelanggan, dan porositas serta ketebalan lapisan dapat dikontrol untuk mencapai aliran gas dan konduktivitas termal yang optimal.
5. Masa Pakai Panjang dan Biaya Perawatan Rendah
Ketahanan korosi dan keausan yang sangat tinggi dari lapisan TaC berpori meningkatkan masa pakai komponen hingga 3-5 kali lipat dibandingkan dengan grafit tradisional, mengurangi frekuensi penggantian dan biaya perawatan.
Aplikasi Utama
1. Komponen inti untuk pembuatan wafer
- Pelapis ruang reaksi, sekat, dan kepala pancuran untuk peralatan CVD/ALD
- Target PVD mendukung
- Komponen proses suhu tinggi untuk difusi, oksidasi, anil, dan proses lainnya
2. Sistem pengendapan uap kimia
- Melindungi komponen-komponen penting dalam lingkungan yang sangat korosif (seperti fluorida dan klorida) selama proses berlangsung.
3. Lingkungan korosif suhu tinggi lainnya
- Cocok untuk pemurnian gas kimia, tungku perlakuan panas khusus, dan aplikasi lainnya.
VET Energy adalah produsen profesional yang fokus pada penelitian dan pengembangan serta produksi material canggih kelas atas seperti grafit, silikon karbida, kuarsa, serta pengolahan material seperti pelapisan SiC, pelapisan TaC, pelapisan karbon kaca, pelapisan karbon pirolitik, dll. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam bidang fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.
Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, dan dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.
Keunggulan VET Energy meliputi:
• Memiliki pabrik dan laboratorium profesional sendiri;
• Tingkat kemurnian dan kualitas terdepan di industri;
• Harga kompetitif & Waktu pengiriman cepat;
• Berbagai kemitraan industri di seluruh dunia;
Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik dan laboratorium kami kapan saja!
