Пористе графітове кільце з покриттям з карбіду танталу

Пористе графітове кільце з покриттям з карбіду танталу
Графіт з пористим карбідом танталу (TaC)– це ключовий матеріал, розроблений спеціально для високотемпературних, висококорозійних середовищ виробництва напівпровідників. Його основою є високочистий ізостатичний графіт, покритий рівномірно пористим карбідним покриттям танталу, нанесеним за допомогою хімічного осадження з парової фази (CVD). TaC має надзвичайно високу твердість (9-10 за шкалою Мооса) та температуру плавлення 3880°C. У поєднанні з чудовою термостабільністю графіту та його легкістю, цей матеріал поєднує в собі міцність за високих температур зі стійкістю до хімічного впливу та теплового удару, що робить його ідеальним вибором для напівпровідникового технологічного обладнання, що працює в екстремальних умовах.

Переваги пористого графіту з карбіду танталу:
1. Надвисока стійкість до корозії
-TaC хімічно інертний, ефективно протистоїть корозії від галогенів, таких як фтор і хлор, що значно подовжує термін служби обладнання.
-Пориста структура збільшує площу поверхні покриття, утворюючи міцніший захисний бар'єр та зменшуючи ризик випадання частинок.
2. Відмінна стабільність за високих температур
-З температурою плавлення, що наближається до 4000°C, він може працювати протягом тривалого часу у вакуумі або інертній атмосфері, що перевищує 2500°C.
-Коефіцієнт теплового розширення покриття точно відповідає коефіцієнту розширення графіту, що запобігає розтріскуванню та розшаруванню, спричиненим термоциклуванням.
3. Висока чистота та низький рівень забруднення
-Використання сировини та процесів напівпровідникового класу забезпечує надзвичайно низький вміст металевих домішок, що значно знижує ризик забруднення пластин.
-Поверхня щільна та хімічно стабільна, що зменшує утворення частинок та відповідає суворим стандартам чистих приміщень.
4. Дизайн на замовлення
Складні форми можна виготовляти за кресленнями замовника, а пористість і товщину покриття можна контролювати для досягнення оптимального потоку газу та теплопровідності.
5. Тривалий термін служби та низькі витрати на обслуговування
Надзвичайно висока корозійна та зносостійкість пористих покриттів TaC збільшує термін служби компонентів у 3-5 разів порівняно з традиційним графітом, зменшуючи частоту заміни та витрати на обслуговування.

Основні застосування
1. Основні компоненти для виробництва пластин
- Облицювання реакційних камер, перегородки та душова лійка для обладнання CVD/ALD
- Опори мішеней PVD
- Компоненти високотемпературних процесів для дифузії, окислення, відпалу та інших процесів
2. Системи хімічного осадження з парової фази
- Захист ключових компонентів у високоагресивних середовищах (таких як фториди та хлориди) під час процесу
3. Інші високотемпературні агресивні середовища
- Підходить для хімічного очищення газів, спеціалізованих печей для термічної обробки та інших застосувань.