நுண்துளைகள் கொண்ட டாண்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வளையம்
நுண்துளைகள் கொண்ட டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட்குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அதிக அரிப்புத்தன்மை கொண்ட சூழல்களுக்காக பிரத்யேகமாக உருவாக்கப்பட்ட ஒரு முக்கியப் பொருள் TaC ஆகும். இதன் அடிமூலக்கூறானது, உயர் தூய்மை கொண்ட ஐசோஸ்டேடிக் கிராஃபைட் ஆகும். இது, வேதி ஆவிப் படிவு (CVD) முறையைப் பயன்படுத்தி, சீரான நுண்துளைகள் கொண்ட டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுடன் பூசப்பட்டுள்ளது. TaC மிக அதிக கடினத்தன்மையையும் (மோஸ் அளவுகோலில் 9-10) மற்றும் 3880°C உருகுநிலையையும் கொண்டுள்ளது. கிராஃபைட்டின் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் குறைந்த எடைப் பண்புகளுடன் இணைந்து, இந்தப் பொருள் உயர் வெப்பநிலை வலிமையை வேதித் தாக்குதல் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிரான எதிர்ப்புடன் இணைக்கிறது. இதனால், இது கடுமையான சூழ்நிலைகளில் இயங்கும் குறைக்கடத்தி செயல்முறை உபகரணங்களுக்கு ஒரு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது.
நுண்துளைகள் கொண்ட டான்டலம் கார்பைடு கிராஃபைட்டின் நன்மைகள்:
1. மிக அதிக அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்
-TaC வேதியியல் ரீதியாக மந்தமானது, புளோரின் மற்றும் குளோரின் போன்ற ஹாலோஜன்களால் ஏற்படும் அரிப்பைத் திறம்பட எதிர்த்து, உபகரணங்களின் ஆயுளைக் கணிசமாக நீட்டிக்கிறது.
நுண்துளை அமைப்பு பூச்சின் மேற்பரப்புப் பரப்பை அதிகரித்து, மேலும் வலுவான பாதுகாப்புத் தடையை உருவாக்குவதோடு, துகள்கள் உதிரும் அபாயத்தையும் குறைக்கிறது.
2. சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை
சுமார் 4000°C உருகுநிலையைக் கொண்டிருப்பதால், இதனை 2500°C-க்கும் அதிகமான வெற்றிடம் அல்லது மந்தமான சூழல்களில் நீண்ட காலத்திற்கு இயக்க முடியும்.
பூச்சின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் கிராஃபைட்டின் குணகத்துடன் மிகவும் ஒத்திருப்பதால், வெப்பச் சுழற்சியால் ஏற்படும் விரிசல் மற்றும் அடுக்குப்பிரிவு தடுக்கப்படுகிறது.
3. உயர் தூய்மை மற்றும் குறைந்த மாசு
குறைக்கடத்தித் தரத்திலான மூலப்பொருட்கள் மற்றும் செயல்முறைகளைப் பயன்படுத்துவதால், உலோக அசுத்தத்தின் அளவு மிகக் குறைவாக உள்ளது, இது வேஃபர் மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தை கணிசமாகக் குறைக்கிறது.
மேற்பரப்பு அடர்த்தியாகவும் வேதியியல் ரீதியாக நிலைத்தன்மையுடனும் இருப்பதால், துகள்கள் உருவாவது குறைக்கப்படுகிறது மற்றும் கடுமையான தூய்மை அறை தரநிலைகள் பூர்த்தி செய்யப்படுகின்றன.
4. தனிப்பயன் வடிவமைப்பு
வாடிக்கையாளர் வரைபடங்களின்படி சிக்கலான வடிவங்களை உருவாக்க முடியும், மேலும் உகந்த வாயு ஓட்டம் மற்றும் வெப்பக் கடத்துத்திறனை அடைவதற்காக நுண்துளைத்தன்மை மற்றும் பூச்சின் தடிமன் ஆகியவற்றைக் கட்டுப்படுத்தலாம்.
5. நீண்ட ஆயுட்காலம் மற்றும் குறைந்த பராமரிப்புச் செலவு
நுண்துளைகள் கொண்ட TaC பூச்சுகளின் மிக அதிக அரிப்பு மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புத் திறனானது, பாரம்பரிய கிராஃபைட்டுடன் ஒப்பிடும்போது பாகங்களின் ஆயுளை 3-5 மடங்கு அதிகரித்து, அவற்றை மாற்றும் இடைவெளியையும் பராமரிப்புச் செலவுகளையும் குறைக்கிறது.
முக்கிய பயன்பாடுகள்
1. வேஃபர் உற்பத்திக்கான முக்கிய கூறுகள்
CVD/ALD உபகரணங்களுக்கான வினை அறை லைனர்கள், தடுப்பான்கள் மற்றும் ஷவர்-ஹெட்
- PVD இலக்கு ஆதரிக்கிறது
பரவல், ஆக்சிஜனேற்றம், பதப்படுத்துதல் மற்றும் பிற செயல்முறைகளுக்கான உயர் வெப்பநிலை செயல்முறைக் கூறுகள்
2. இரசாயன ஆவிப் படிவு அமைப்புகள்
செயல்முறையின் போது, அதிக அரிக்கும் தன்மை கொண்ட சூழல்களில் (ஃபுளோரைடுகள் மற்றும் குளோரைடுகள் போன்றவை) முக்கியக் கூறுகளைப் பாதுகாத்தல்.
3. பிற உயர் வெப்பநிலை அரிக்கும் சூழல்கள்
இரசாயன வாயு சுத்திகரிப்பு, சிறப்பு வெப்பச் சுத்திகரிப்பு உலைகள் மற்றும் பிற பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றது.
VET எனர்ஜி என்பது கிராஃபைட், சிலிக்கான் கார்பைடு, குவார்ட்ஸ் போன்ற உயர்தர மேம்பட்ட பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு (R&D) மற்றும் உற்பத்தியிலும், அத்துடன் SiC பூச்சு, TaC பூச்சு, கிளாஸி கார்பன் பூச்சு, பைரோலிடிக் கார்பன் பூச்சு போன்ற பொருள் பதப்படுத்துதலிலும் கவனம் செலுத்தும் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். இதன் தயாரிப்புகள் ஒளிமின்னழுத்தம், குறைக்கடத்தி, புதிய ஆற்றல், உலோகவியல் போன்ற துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
எங்கள் தொழில்நுட்பக் குழுவினர் உள்நாட்டின் முன்னணி ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களைச் சேர்ந்தவர்கள், உங்களுக்கு மேலும் தொழில்முறை சார்ந்த பொருள் தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
VET எனர்ஜியின் நன்மைகள் பின்வருமாறு:
• சொந்த தொழிற்சாலை மற்றும் தொழில்முறை ஆய்வகம்;
• தொழில்துறையில் முன்னணியில் உள்ள தூய்மை நிலைகள் மற்றும் தரம்;
• போட்டித்தன்மை வாய்ந்த விலை மற்றும் விரைவான விநியோகம்;
• உலகளாவிய பல்வேறு தொழில் கூட்டாண்மைகள்;
எங்கள் தொழிற்சாலை மற்றும் ஆய்வகத்தை நீங்கள் எப்போது வேண்டுமானாலும் பார்வையிட வரவேற்கிறோம்!
