خاتم من الجرافيت المغطى بكربيد التنتالوم المسامي
جرافيت مطلي بكربيد التنتالوم المسامي (TaC)يُعدّ TaC مادةً أساسيةً طُوّرت خصيصًا للبيئات عالية الحرارة والتآكل في صناعة أشباه الموصلات. تتكون ركيزتها من جرافيت متساوي الضغط عالي النقاء، مُغطّى بطبقة من كربيد التنتالوم المسامي بشكل منتظم باستخدام الترسيب الكيميائي للبخار (CVD). يتميز TaC بصلابة عالية للغاية (9-10 على مقياس موس) ونقطة انصهار تبلغ 3880 درجة مئوية. وبفضل ثباته الحراري الممتاز وخفة وزنه، يجمع هذا المركب بين قوة تحمل درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل الكيميائي والصدمات الحرارية، مما يجعله خيارًا مثاليًا لمعدات معالجة أشباه الموصلات التي تعمل في ظروف قاسية.
مزايا جرافيت كربيد التنتالوم المسامي:
1. مقاومة فائقة للتآكل
-TaC خامل كيميائياً، ويقاوم بشكل فعال التآكل الناتج عن الهالوجينات مثل الفلور والكلور، مما يطيل عمر المعدات بشكل كبير.
- تعمل البنية المسامية على زيادة مساحة سطح الطلاء، مما يشكل حاجزًا واقيًا أكثر قوة ويقلل من خطر تساقط الجسيمات.
2. استقرار ممتاز في درجات الحرارة العالية
-بفضل نقطة انصهارها التي تقترب من 4000 درجة مئوية، يمكنها العمل لفترات طويلة في الفراغ أو الأجواء الخاملة التي تتجاوز 2500 درجة مئوية.
- يتطابق معامل التمدد الحراري للطلاء بشكل كبير مع معامل التمدد الحراري للجرافيت، مما يمنع التشقق والتقشر الناتج عن التدوير الحراري.
3. نقاء عالٍ وتلوث منخفض
- باستخدام المواد الخام والعمليات المستخدمة في أشباه الموصلات، يكون محتوى الشوائب المعدنية منخفضًا للغاية، مما يقلل بشكل كبير من خطر تلوث الرقاقة.
- السطح كثيف ومستقر كيميائياً، مما يقلل من توليد الجسيمات ويلبي معايير غرف التنظيف الصارمة.
4. تصميم حسب الطلب
يمكن إنتاج أشكال معقدة وفقًا لرسومات العملاء، ويمكن التحكم في المسامية وسمك الطلاء لتحقيق تدفق الغاز الأمثل والتوصيل الحراري.
5. عمر طويل وتكلفة صيانة منخفضة
تؤدي مقاومة التآكل والتآكل العالية للغاية لطلاءات TaC المسامية إلى زيادة عمر المكونات بمقدار 3-5 مرات مقارنة بالجرافيت التقليدي، مما يقلل من وتيرة الاستبدال وتكاليف الصيانة.
التطبيقات الرئيسية
1. المكونات الأساسية لتصنيع الرقائق
- بطانات غرف التفاعل، والحواجز، ورأس الدش لمعدات الترسيب الكيميائي للبخار/الترسيب الذري الطبقي
- دعامات هدف الترسيب الفيزيائي للبخار
- مكونات معالجة درجات الحرارة العالية لعمليات الانتشار والأكسدة والتلدين وغيرها من العمليات
2. أنظمة الترسيب الكيميائي للبخار
- حماية المكونات الرئيسية في البيئات شديدة التآكل (مثل الفلوريدات والكلوريدات) أثناء العملية
3. بيئات أخرى ذات درجات حرارة عالية ومسببة للتآكل
- مناسب لتنقية الغازات الكيميائية، وأفران المعالجة الحرارية المتخصصة، وغيرها من التطبيقات.
شركة VET Energy هي شركة تصنيع محترفة تركز على البحث والتطوير وإنتاج المواد المتقدمة عالية الجودة مثل الجرافيت وكربيد السيليكون والكوارتز، بالإضافة إلى معالجة المواد مثل طلاء SiC وطلاء TaC وطلاء الكربون الزجاجي وطلاء الكربون المحلل حرارياً، وما إلى ذلك. وتستخدم المنتجات على نطاق واسع في مجالات الطاقة الشمسية الكهروضوئية وأشباه الموصلات والطاقة الجديدة والمعادن، وما إلى ذلك.
يتألف فريقنا التقني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، ويمكنه تقديم حلول مواد أكثر احترافية لكم.
تشمل مزايا VET Energy ما يلي:
• مصنع خاص ومختبر متخصص؛
• مستويات نقاء وجودة رائدة في الصناعة؛
• سعر تنافسي ووقت توصيل سريع؛
• شراكات صناعية متعددة على مستوى العالم؛
نرحب بكم لزيارة مصنعنا ومختبرنا في أي وقت!
