Lesale la Graphite le nang le masoba a Tantalum Carbide

Lesale la Graphite le nang le masoba a Tantalum Carbide
Graphite e koahetsoeng ka masoba ea tantalum carbide (TaC)ke thepa ea bohlokoa e ntlafalitsoeng ka ho khetheha bakeng sa libaka tse nang le mocheso o phahameng, tse senyang haholo tsa tlhahiso ea semiconductor. Karolo ea eona e ka tlas'a lefatše ke graphite e hloekileng haholo ea isostatic, e koahetsoeng ka sekoahelo sa tantalum carbide se nang le masoba a mangata se sebelisang chemical vapor deposition (CVD). TaC e na le bothata bo phahameng haholo (9-10 sekaleng sa Mohs) le ntlha ea ho qhibiliha ea 3880°C. Ha e kopantsoe le botsitso bo botle ba mocheso le thepa e bobebe ea graphite, thepa ena e kopanya matla a mocheso o phahameng le ho hanyetsa tlhaselo ea lik'hemik'hale le ho tšoha ha mocheso, e leng se etsang hore e be khetho e ntle bakeng sa lisebelisoa tsa ts'ebetso ea semiconductor tse sebetsang tlas'a maemo a feteletseng.

Melemo ea Graphite ea Tantalum Carbide e nang le masoba:
1. Khanyetso ea Ts'enyeho e Phahameng ka ho Fetisisa
-TaC ha e na lik'hemik'hale, e hanela ho bola ho bakoang ke li-halogen tse kang fluorine le chlorine ka katleho, e leng se eketsang bophelo ba lisebelisoa haholo.
-Sebopeho se nang le masoba se eketsa sebaka sa bokaholimo ba lesela, se etsa mokoallo o matla haholoanyane oa tšireletso le ho fokotsa kotsi ea ho tšoloha ha likaroloana.
2. Botsitso bo Hlollang ba Mocheso o Phahameng
-Ka ntlha ea ho qhibiliha e atamelang 4000°C, e ka sebetsa nako e telele moeeng o se nang letho kapa o sa sebetseng o fetang 2500°C.
-Koefficient ea katoloso ea mocheso ea seaparo e tsamaellana haholo le ea graphite, e thibela ho petsoha le ho arohana ho bakoang ke potoloho ea mocheso.
3. Bohloeki bo Phahameng le Tšilafalo e Tlase
-Ka ho sebelisa thepa le lits'ebetso tse tala tsa sehlopha sa semiconductor, tekanyo ea litšila tsa tšepe e tlase haholo, e leng se fokotsang kotsi ea tšilafalo ea wafer haholo.
-Bokaholimo bo teteaneng ebile bo tsitsitse ka lik'hemik'hale, bo fokotsa tlhahiso ea likaroloana 'me bo fihlela litekanyetso tse thata tsa kamore ea ho hloekisa.
4. Moralo o Ikhethileng
Libopeho tse rarahaneng li ka hlahisoa ho latela litšoantšo tsa bareki, 'me masoba le botenya ba ho roala li ka laoloa ho fihlela phallo e ntle ea khase le ho tsamaisa mocheso hantle.
5. Nako e Telele ea Bophelo le Litšenyehelo tse Tlase tsa Tlhokomelo
Ho kgopama ho hoholo haholo le ho hanyetsa ho tsofala ha dikobo tsa TaC tse nang le masoba ho eketsa bophelo ba dikarolo ka makgetlo a 3-5 ha ho bapiswa le graphite ya setso, e leng se fokotsang makgetlo a ho nkela sebaka le ditjeo tsa tlhokomelo.

Likopo tse ka Sehloohong
1. Likarolo tsa mantlha bakeng sa tlhahiso ea wafer
- Li-liners tsa kamore ea karabelo, li-baffle, le hlooho ea shaoara bakeng sa lisebelisoa tsa CVD/ALD
- Litšehetso tsa sepheo sa PVD
- Likarolo tsa ts'ebetso ea mocheso o phahameng bakeng sa ho hasana, ho oxidation, ho annealing, le lits'ebetso tse ling
2. Mekhoa ea ho boloka mouoane oa lik'hemik'hale
- Ho sireletsa likarolo tsa bohlokoa libakeng tse senyang haholo (joalo ka fluoride le chloride) nakong ea ts'ebetso
3. Libaka tse ling tse senyang mocheso o phahameng
- E loketse ho hlwekisa khase ka lik'hemik'hale, lionto tse khethehileng tsa kalafo ea mocheso, le lits'ebetso tse ling.