טבעת גרפיט מצופה קרביד טנטלום נקבובי
גרפיט מצופה טנטלום קרביד נקבובי (TaC)הוא חומר מפתח שפותח במיוחד עבור סביבות ייצור מוליכים למחצה בטמפרטורה גבוהה ובעלות קורוזיה גבוהה. המצע שלו הוא גרפיט איזוסטטי בעל טוהר גבוה, המצופה בציפוי טנטלום קרביד נקבובי באופן אחיד באמצעות שקיעת אדים כימית (CVD). ל-TaC קשיות גבוהה במיוחד (9-10 בסולם מוס) ונקודת התכה של 3880 מעלות צלזיוס. בשילוב עם היציבות התרמית המצוינת של הגרפיט ותכונות הקלות שלו, חומר זה משלב חוזק בטמפרטורה גבוהה עם עמידות בפני התקפה כימית והלם תרמי, מה שהופך אותו לבחירה אידיאלית עבור ציוד תהליכי מוליכים למחצה הפועל בתנאים קיצוניים.
יתרונות של גרפיט טנטלום קרביד נקבובי:
1. עמידות גבוהה במיוחד בפני קורוזיה
-TaC הוא אינרטי מבחינה כימית, עמיד ביעילות בפני קורוזיה מהלוגנים כגון פלואור וכלור, ומאריך משמעותית את חיי הציוד.
-המבנה הנקבובי מגדיל את שטח הפנים של הציפוי, יוצר מחסום מגן חזק יותר ומפחית את הסיכון לנשירת חלקיקים.
2. יציבות מעולה בטמפרטורה גבוהה
עם נקודת התכה המתקרבת ל-4000 מעלות צלזיוס, הוא יכול לפעול למשך תקופות ממושכות בוואקום או באטמוספרות אינרטיות העולות על 2500 מעלות צלזיוס.
מקדם ההתפשטות התרמית של הציפוי תואם מאוד לזה של הגרפיט, ומונע סדקים והתפרקות הנגרמים כתוצאה ממחזורי התפשטות תרמיים.
3. טוהר גבוה וזיהום נמוך
-באמצעות חומרי גלם ותהליכים בדרגת מוליכים למחצה, תכולת טומאה המתכת נמוכה ביותר, מה שמפחית משמעותית את הסיכון לזיהום פרוסות סיליקון.
-המשטח צפוף ויציב כימית, מה שמפחית את יצירת החלקיקים ועומד בתקני החדרים הנקיים המחמירים.
4. עיצוב בהתאמה אישית
ניתן לייצר צורות מורכבות לפי רישומי הלקוח, וניתן לשלוט בנקבוביות ובעובי הציפוי כדי להשיג זרימת גז ומוליכות תרמית אופטימליים.
5. אורך חיים ארוך ועלות תחזוקה נמוכה
עמידותם הגבוהה במיוחד בפני קורוזיה ובלאי של ציפויי TaC נקבוביים מגדילה את חיי הרכיבים פי 3-5 בהשוואה לגרפיט מסורתי, מה שמפחית את תדירות ההחלפות ואת עלויות התחזוקה.
יישומים עיקריים
1. רכיבי ליבה לייצור ופלים
- בטנות תא תגובה, מחיצות וראש מקלחת עבור ציוד CVD/ALD
- תמיכת יעד PVD
- רכיבי תהליך בטמפרטורה גבוהה עבור דיפוזיה, חמצון, חישול ותהליכים אחרים
2. מערכות שקיעת אדים כימיות
- הגנה על רכיבים מרכזיים בסביבות קורוזיביות ביותר (כגון פלואורידים וכלורידים) במהלך התהליך
3. סביבות קורוזיביות אחרות בטמפרטורה גבוהה
- מתאים לטיהור גז כימי, תנורים לטיפול בחום מיוחד ויישומים אחרים.
VET Energy היא יצרנית מקצועית המתמקדת במחקר ופיתוח ובייצור של חומרים מתקדמים באיכות גבוהה כגון גרפיט, סיליקון קרביד, קוורץ, וכן בטיפול בחומרים כגון ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו'. המוצרים נמצאים בשימוש נרחב בתחומי הפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ויכול לספק לך פתרונות חומר מקצועיים יותר.
יתרונות VET Energy כוללים:
• מפעל משלו ומעבדה מקצועית;
• רמות טוהר ואיכות מובילות בתעשייה;
• מחיר תחרותי וזמן אספקה מהיר;
• שותפויות מרובות בתעשייה ברחבי העולם;
אנו מזמינים אתכם לבקר במפעל ובמעבדה שלנו בכל עת!
