Porėtas tantalo karbidu dengtas grafito žiedas
Porėtas tantalo karbidu (TaC) padengtas grafitasyra pagrindinė medžiaga, specialiai sukurta puslaidininkių gamybos aukštos temperatūros ir labai korozinei aplinkai. Jos pagrindas yra labai grynas izostatinis grafitas, padengtas tolygiai porėta tantalo karbido danga, naudojant cheminį garų nusodinimą (CVD). TaC pasižymi itin dideliu kietumu (9–10 pagal Moso skalę), o lydymosi temperatūra – 3880 °C. Kartu su puikiu grafito terminiu stabilumu ir lengvomis savybėmis, ši medžiaga pasižymi atsparumu aukštai temperatūrai, cheminiam poveikiui ir terminiam smūgiui, todėl ji idealiai tinka puslaidininkių procesų įrangai, veikiančiai ekstremaliomis sąlygomis.
Akytojo tantalo karbido grafito privalumai:
1. Itin didelis atsparumas korozijai
-TaC yra chemiškai inertiškas, veiksmingai atsparus halogenų, tokių kaip fluoras ir chloras, korozijai, todėl žymiai pailgina įrangos tarnavimo laiką.
- Porėta struktūra padidina dangos paviršiaus plotą, sudarydama tvirtesnį apsauginį barjerą ir sumažindama dalelių išsiskyrimo riziką.
2. Puikus stabilumas aukštoje temperatūroje
- Lydymosi temperatūra artėja prie 4000 °C, todėl jis gali ilgą laiką veikti vakuume arba inertinėje atmosferoje, viršijančioje 2500 °C.
-Dangos šiluminio plėtimosi koeficientas labai atitinka grafito koeficientą, todėl išvengiama įtrūkimų ir delaminacijos, kurią sukelia šiluminiai ciklai.
3. Didelis grynumas ir mažas užterštumas
-Naudojant puslaidininkinės kokybės žaliavas ir procesus, metalinių priemaišų kiekis yra itin mažas, todėl žymiai sumažėja plokštelių užteršimo rizika.
- Paviršius yra tankus ir chemiškai stabilus, todėl sumažėja dalelių susidarymas ir atitinkami griežti švarios patalpos standartai.
4. Individualus dizainas
Sudėtingos formos gali būti gaminamos pagal kliento brėžinius, o poringumą ir dangos storį galima kontroliuoti, kad būtų pasiektas optimalus dujų srautas ir šilumos laidumas.
5. Ilgas tarnavimo laikas ir mažos priežiūros išlaidos
Dėl itin didelio atsparumo korozijai ir dilimui porėtos TaC dangos 3–5 kartus pailgina komponentų tarnavimo laiką, palyginti su tradiciniu grafitu, todėl sumažėja keitimo dažnumas ir priežiūros išlaidos.
Pagrindinės taikymo sritys
1. Pagrindiniai komponentai plokštelių gamybai
- Reakcijos kameros įdėklai, pertvaros ir dušo galvutė CVD/ALD įrangai
- PVD taikinių atramos
- Aukštos temperatūros procesų komponentai difuzijai, oksidacijai, atkaitinimui ir kitiems procesams
2. Cheminio garinimo nusodinimo sistemos
- Apsaugo pagrindinius komponentus labai korozinėje aplinkoje (pvz., fluoriduose ir chloriduose) proceso metu
3. Kitos aukštos temperatūros korozinės aplinkos
- Tinka cheminiam dujų valymui, specializuotoms terminio apdorojimo krosnims ir kitoms reikmėms.
„VET Energy“ yra profesionalus gamintojas, daugiausia dėmesio skiriantis aukštos klasės pažangių medžiagų, tokių kaip grafitas, silicio karbidas, kvarcas, tyrimams ir plėtrai bei gamybai, taip pat medžiagų apdorojimui, pavyzdžiui, SiC, TaC, stiklinės anglies, pirolizės anglies ir kt. Produktai plačiai naudojami fotovoltinėse medžiagose, puslaidininkiuose, naujosios energijos, metalurgijos ir kt. srityse.
Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnių medžiagų sprendimų.
VET Energy privalumai:
• Nuosava gamykla ir profesionali laboratorija;
• Pramonėje pirmaujantys grynumo lygiai ir kokybė;
• Konkurencinga kaina ir greitas pristatymo laikas;
• Įvairūs pramonės partnerystės projektai visame pasaulyje;
Kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje ir laboratorijoje bet kuriuo metu!
