Mgbaaka Graphite Tantalum Carbide nke Porous
Graphite a kpụchara akpụcha nke tantalum carbide (TaC)bụ ihe dị mkpa e mepụtara kpọmkwem maka gburugburu okpomọkụ dị elu na nke na-emebi emebi nke mmepụta semiconductor. Ihe mejupụtara ya bụ graphite isostatic dị ọcha nke ukwuu, nke e ji mkpuchi tantalum carbide nke nwere oghere dị larịị kpuchie site na iji ihe nchekwa anwụrụ kemịkalụ (CVD). TaC nwere ike siri ike nke ukwuu (9-10 na nha Mohs) na ebe ịgbaze nke 3880°C. N'ịjikọta ya na nkwụsi ike okpomọkụ dị mma nke graphite na ihe ndị dị mfe, ihe a na-ejikọta ike okpomọkụ dị elu na iguzogide mwakpo kemịkalụ na ujo okpomọkụ, na-eme ka ọ bụrụ nhọrọ zuru oke maka ngwa usoro semiconductor na-arụ ọrụ n'okpuru ọnọdụ dị oke njọ.
Uru nke Porous Tantalum Carbide Graphite:
1. Nguzogide Nrụgide Dị Elu nke Uhie
-TaC anaghị arụ ọrụ nke ọma n'ụzọ kemịkalụ, na-eguzogide mmebi sitere na halogens dị ka fluorine na chlorine nke ọma, na-agbatị ndụ akụrụngwa nke ukwuu.
-Nhazi oghere ahụ na-eme ka elu mkpuchi ahụ dịkwuo elu, na-emepụta ihe mgbochi nchebe siri ike karị ma na-ebelata ihe egwu nke ịwụfu ihe.
2. Ezigbo Okpomọkụ Dị Elu
-Ebe ọ bụ na ebe agbaze na-eru nso 4000°C, ọ nwere ike ịrụ ọrụ ruo ogologo oge n'ime ikuku vacuum ma ọ bụ ikuku na-adịghị arụ ọrụ nke karịrị 2500°C.
-Nhazi mgbasawanye okpomọkụ nke mkpuchi ahụ kwekọrọ na nke graphite nke ukwuu, na-egbochi mgbawa na mmebi nke usoro okpomọkụ na-akpata.
3. Ịdị ọcha dị elu na mmetọ dị ala
- Site na iji ihe eji emepụta ihe na usoro nke semiconductor, ọdịnaya nke adịghị ọcha ígwè dị oke ala, nke na-ebelata nke ukwuu ohere nke mmetọ wafer.
- Elu ya dị oke ma kwụsie ike na kemịkalụ, na-ebelata mmepụta ihe ndị na-adịghị mkpa ma na-emezu ụkpụrụ ụlọ nhicha siri ike.
4. Nhazi omenala
Enwere ike imepụta ụdị dị mgbagwoju anya dịka eserese ndị ahịa si dị, enwere ike ijikwa porosity na thickness nke mkpuchi iji nweta ezigbo gas na conductivity okpomọkụ.
5. Ogologo Ndụ na Ọnụ Ego Nlekọta Dị Ala
Oke nrụgide na nguzogide iyi nke mkpuchi TaC porous na-eme ka ndụ akụkụ ahụ dịkwuo elu ugboro 3-5 ma e jiri ya tụnyere graphite ọdịnala, na-ebelata ugboro nnọchi na ọnụ ahịa mmezi.
Ngwa Ndị Isi
1. Isi ihe dị mkpa maka imepụta wafer
- Ihe mkpuchi ụlọ mmeghachi omume, ihe mkpuchi, na isi ịsa ahụ maka akụrụngwa CVD/ALD
- Nkwado ebumnuche PVD
- Akụkụ usoro okpomọkụ dị elu maka mgbasa, oxidation, annealing, na usoro ndị ọzọ
2. Sistemụ nchekwa anwụrụ ọkụ kemịkalụ
- Ichekwa ihe ndị dị mkpa n'ebe dị oke njọ (dịka fluoride na chlorides) n'oge usoro ahụ
3. Ebe ndị ọzọ na-emebi ihe nke na-ekpo ọkụ nke ukwuu
- Dabara adaba maka nhicha gas kemịkalụ, ọkụ pụrụ iche maka ọgwụgwọ okpomọkụ, na ngwa ndị ọzọ.
VET Energy bụ ọkachamara na-emepụta ihe na-elekwasị anya na R&D na mmepụta nke ihe ndị dị elu dị ka graphite, silicon carbide, quartz, yana ọgwụgwọ ihe dịka mkpuchi SiC, mkpuchi TaC, mkpuchi carbon iko, mkpuchi carbon pyrolytic, wdg. A na-eji ngwaahịa ndị a eme ihe n'ọtụtụ ebe na fotovoltaic, semiconductor, ike ọhụrụ, metallurgy, wdg.
Ndị otu teknụzụ anyị sitere na ụlọ ọrụ nyocha kacha elu n'ime obodo, ha nwere ike inye gị azịza ihe ọkachamara karịa.
Uru ike VET gụnyere:
• Ụlọ ọrụ mmepụta ihe na ụlọ nyocha ọkachamara nke ya;
• Ọkwa na ịdị ọcha nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-eduga n'ịdị ọcha;
• Ọnụ ahịa asọmpi & Oge nnyefe ngwa ngwa;
• Mmekọrịta dị iche iche n'etiti ụlọ ọrụ n'ụwa niile;
Anyị na-anabata gị ka ị gaa leta ụlọ ọrụ mmepụta ihe na ụlọ nyocha anyị n'oge ọ bụla!
