Порозни графитни прстен обложен тантал карбидом

Порозни графитни прстен обложен тантал карбидом
Порозни графит обложен тантал карбидом (TaC)је кључни материјал развијен посебно за високотемпературна, веома корозивна окружења у производњи полупроводника. Његова подлога је изостатички графит високе чистоће, пресвучен равномерно порозним премазом тантал карбида коришћењем хемијског наношења из паре (CVD). TaC има изузетно високу тврдоћу (9-10 на Мосовој скали) и тачку топљења од 3880°C. У комбинацији са одличном термичком стабилношћу и лаганим својствима графита, овај материјал комбинује чврстоћу на високим температурама са отпорношћу на хемијске нападе и термички удар, што га чини идеалним избором за опрему за полупроводничке процесе која ради у екстремним условима.

Предности порозног тантал карбидног графита:
1. Ултра висока отпорност на корозију
-TaC је хемијски инертан, ефикасно се одупире корозији од халогена као што су флуор и хлор, значајно продужавајући век трајања опреме.
-Порозна структура повећава површину премаза, формирајући робуснију заштитну баријеру и смањујући ризик од осипања честица.
2. Одлична стабилност на високим температурама
-Са тачком топљења која се приближава 4000°C, може радити дуже време у вакууму или инертној атмосфери која прелази 2500°C.
-Коефицијент термичког ширења премаза је у великој мери усклађен са коефицијентом графита, спречавајући пуцање и раслојавање изазване термичким циклусима.
3. Висока чистоћа и ниска контаминација
- Коришћењем сировина и процеса полупроводничког квалитета, садржај металних нечистоћа је изузетно низак, што значајно смањује ризик од контаминације плочице.
-Површина је густа и хемијски стабилна, што смањује стварање честица и испуњава строге стандарде чистих просторија.
4. Дизајн по мери
Сложени облици могу се произвести према цртежима купца, а порозност и дебљина премаза могу се контролисати како би се постигао оптималан проток гаса и топлотна проводљивост.
5. Дуг век трајања и ниски трошкови одржавања
Изузетно висока отпорност на корозију и хабање порозних TaC премаза повећава век трајања компоненти за 3-5 пута у поређењу са традиционалним графитом, смањујући учесталост замене и трошкове одржавања.

Главне примене
1. Основне компоненте за производњу плочица
- Облоге реакционих комора, преграде и туш за CVD/ALD опрему
- Носачи PVD мета
- Компоненте процеса високе температуре за дифузију, оксидацију, жарење и друге процесе
2. Системи за хемијско таложење из паре
- Заштита кључних компоненти у високо корозивним срединама (као што су флуориди и хлориди) током процеса
3. Остала корозивна окружења високих температура
- Погодно за хемијско пречишћавање гасова, специјализоване пећи за термичку обраду и друге примене.