ფოროვანი ტანტალის კარბიდით დაფარული გრაფიტის რგოლი
ფოროვანი ტანტალის კარბიდით (TaC) დაფარული გრაფიტიარის ძირითადი მასალა, რომელიც სპეციალურად შემუშავებულია ნახევარგამტარების წარმოების მაღალი ტემპერატურის, ძლიერ კოროზიული გარემოსთვის. მისი სუბსტრატი არის მაღალი სისუფთავის იზოსტატიკური გრაფიტი, რომელიც დაფარულია ერთგვაროვანი ფოროვანი ტანტალის კარბიდის საფარით ქიმიური ორთქლის დეპონირების (CVD) გამოყენებით. TaC-ს აქვს უკიდურესად მაღალი სიმტკიცე (9-10 მოჰსის შკალით) და დნობის წერტილი 3880°C. გრაფიტის შესანიშნავ თერმულ სტაბილურობასთან და მსუბუქი წონის თვისებებთან ერთად, ეს მასალა აერთიანებს მაღალტემპერატურულ სიმტკიცეს ქიმიური ზემოქმედებისა და თერმული შოკის მიმართ მდგრადობასთან, რაც მას იდეალურ არჩევნად აქცევს ნახევარგამტარების ტექნოლოგიური აღჭურვილობისთვის, რომლებიც მუშაობენ ექსტრემალურ პირობებში.
ფოროვანი ტანტალის კარბიდის გრაფიტის უპირატესობები:
1. ულტრა მაღალი კოროზიისადმი მდგრადობა
-TaC ქიმიურად ინერტულია, ეფექტურად ეწინააღმდეგება ჰალოგენებით, როგორიცაა ფტორი და ქლორი, გამოწვეული კოროზიას, რაც მნიშვნელოვნად ახანგრძლივებს აღჭურვილობის სიცოცხლის ხანგრძლივობას.
- ფოროვანი სტრუქტურა ზრდის საფარის ზედაპირის ფართობს, ქმნის უფრო მტკიცე დამცავ ბარიერს და ამცირებს ნაწილაკების გამოყოფის რისკს.
2. შესანიშნავი მაღალტემპერატურული სტაბილურობა
- 4000°C-თან მიახლოებული დნობის წერტილით, მას შეუძლია ხანგრძლივი პერიოდის განმავლობაში იმუშაოს ვაკუუმში ან 2500°C-ზე მაღალ ინერტულ ატმოსფეროში.
- საფარის თერმული გაფართოების კოეფიციენტი მაღალ დონეზე შეესაბამება გრაფიტის კოეფიციენტს, რაც ხელს უშლის თერმული ციკლით გამოწვეულ ბზარებს და დელამინაციას.
3. მაღალი სისუფთავე და დაბალი დაბინძურება
- ნახევარგამტარული დონის ნედლეულისა და პროცესების გამოყენებით, ლითონის მინარევების შემცველობა უკიდურესად დაბალია, რაც მნიშვნელოვნად ამცირებს ვაფლის დაბინძურების რისკს.
- ზედაპირი მკვრივი და ქიმიურად სტაბილურია, რაც ამცირებს ნაწილაკების წარმოქმნას და აკმაყოფილებს სუფთა ოთახის მკაცრ სტანდარტებს.
4. ინდივიდუალური დიზაინი
მომხმარებლის ნახაზების მიხედვით შესაძლებელია რთული ფორმების დამზადება, ხოლო ფორიანობისა და საფარის სისქის კონტროლი შესაძლებელია ოპტიმალური გაზის ნაკადისა და თბოგამტარობის მისაღწევად.
5. ხანგრძლივი სიცოცხლის ხანგრძლივობა და დაბალი მოვლა-პატრონობის ღირებულება
ფოროვანი TaC საფარის უკიდურესად მაღალი კოროზიისა და ცვეთისადმი მდგრადობა ტრადიციულ გრაფიტთან შედარებით 3-5-ჯერ ზრდის კომპონენტების სიცოცხლის ხანგრძლივობას, რაც ამცირებს ჩანაცვლების სიხშირეს და მოვლა-პატრონობის ხარჯებს.
ძირითადი აპლიკაციები
1. ვაფლის წარმოების ძირითადი კომპონენტები
- რეაქციის კამერის ლაინერები, დეფლექტორები და შხაპის თავი CVD/ALD აღჭურვილობისთვის
- PVD სამიზნე საყრდენები
- მაღალი ტემპერატურის პროცესის კომპონენტები დიფუზიის, დაჟანგვის, გახურების და სხვა პროცესებისთვის
2. ქიმიური ორთქლის დეპონირების სისტემები
- პროცესის დროს ძირითადი კომპონენტების დაცვა ძლიერ კოროზიულ გარემოში (მაგალითად, ფტორიდები და ქლორიდები)
3. სხვა მაღალი ტემპერატურის კოროზიული გარემო
- შესაფერისია ქიმიური გაზის გაწმენდისთვის, სპეციალიზებული თერმული დამუშავების ღუმელებისთვის და სხვა დანიშნულებით.
VET Energy არის პროფესიონალი მწარმოებელი, რომელიც ფოკუსირებულია მაღალი დონის, მოწინავე მასალების, როგორიცაა გრაფიტი, სილიციუმის კარბიდი, კვარცი, კვლევასა და წარმოებაზე, ასევე მასალების დამუშავებაზე, როგორიცაა SiC საფარი, TaC საფარი, მინისებრი ნახშირბადის საფარი, პიროლიზური ნახშირბადის საფარი და ა.შ. პროდუქცია ფართოდ გამოიყენება ფოტოელექტრულ, ნახევარგამტარულ, ახალ ენერგეტიკულ, მეტალურგიულ და ა.შ. სფეროებში.
ჩვენი ტექნიკური გუნდი წამყვანი ადგილობრივი კვლევითი ინსტიტუტებიდან მოდის და შეუძლია მოგაწოდოთ უფრო პროფესიონალური მატერიალური გადაწყვეტილებები.
VET Energy-ის უპირატესობები მოიცავს:
• საკუთარი ქარხანა და პროფესიული ლაბორატორია;
• ინდუსტრიაში წამყვანი სისუფთავის დონე და ხარისხი;
• კონკურენტუნარიანი ფასი და სწრაფი მიწოდების დრო;
• მსოფლიოს მასშტაბით მრავალი ინდუსტრიული პარტნიორობა;
მოგესალმებით, ნებისმიერ დროს შეგიძლიათ ეწვიოთ ჩვენს ქარხანასა და ლაბორატორიას!
