Pórovitý grafitový krúžok potiahnutý karbidom tantalu
Grafit potiahnutý pórovitým karbidom tantalu (TaC)je kľúčový materiál vyvinutý špeciálne pre vysokoteplotné a vysoko korozívne prostredia výroby polovodičov. Jeho substrátom je vysoko čistý izostatický grafit, potiahnutý rovnomerne pórovitým povlakom karbidu tantalu pomocou chemického nanášania z pár (CVD). TaC má extrémne vysokú tvrdosť (9-10 na Mohsovej stupnici) a bod topenia 3880 °C. V kombinácii s vynikajúcou tepelnou stabilitou grafitu a jeho nízkou hmotnosťou tento materiál kombinuje pevnosť pri vysokých teplotách s odolnosťou voči chemickému pôsobeniu a tepelným šokom, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre zariadenia na spracovanie polovodičov pracujúce v extrémnych podmienkach.
Výhody porézneho grafitu z karbidu tantalu:
1. Ultra vysoká odolnosť proti korózii
-TaC je chemicky inertný, účinne odoláva korózii spôsobenej halogénmi, ako je fluór a chlór, čím výrazne predlžuje životnosť zariadení.
- Pórovitá štruktúra zväčšuje povrchovú plochu povlaku, čím vytvára robustnejšiu ochrannú bariéru a znižuje riziko uvoľňovania častíc.
2. Vynikajúca stabilita pri vysokých teplotách
-S bodom topenia blížiacim sa k 4000 °C môže pracovať dlhší čas vo vákuu alebo inertnej atmosfére s teplotou presahujúcou 2500 °C.
- Koeficient tepelnej rozťažnosti povlaku je vysoko zladený s koeficientom grafitu, čo zabraňuje praskaniu a delaminácii spôsobenej tepelnými cyklami.
3. Vysoká čistota a nízka kontaminácia
-Vďaka použitiu surovín a procesov polovodičovej kvality je obsah kovových nečistôt extrémne nízky, čo výrazne znižuje riziko kontaminácie doštičiek.
- Povrch je hustý a chemicky stabilný, čo znižuje tvorbu častíc a spĺňa prísne normy pre čisté priestory.
4. Vlastný dizajn
Zložité tvary je možné vyrobiť podľa výkresov zákazníka a pórovitosť a hrúbka povlaku sa dajú regulovať, aby sa dosiahol optimálny prietok plynu a tepelná vodivosť.
5. Dlhá životnosť a nízke náklady na údržbu
Extrémne vysoká odolnosť pórovitých povlakov TaC voči korózii a opotrebeniu zvyšuje životnosť súčiastok 3 až 5-krát v porovnaní s tradičným grafitom, čím sa znižuje frekvencia výmen a náklady na údržbu.
Hlavné aplikácie
1. Základné komponenty pre výrobu doštičiek
- Obloženia reakčných komôr, prepážky a sprchová hlavica pre zariadenia CVD/ALD
- Podpora terčov PVD
- Vysokoteplotné procesné komponenty pre difúziu, oxidáciu, žíhanie a iné procesy
2. Systémy chemického nanášania z pár
- Ochrana kľúčových komponentov vo vysoko korozívnom prostredí (ako sú fluoridy a chloridy) počas procesu
3. Iné korozívne prostredia s vysokou teplotou
- Vhodné na chemické čistenie plynov, špecializované pece na tepelné spracovanie a ďalšie aplikácie.
Spoločnosť VET Energy je profesionálny výrobca zameraný na výskum, vývoj a výrobu špičkových pokročilých materiálov, ako je grafit, karbid kremíka, kremeň, ako aj na úpravu materiálov, ako je povlak SiC, povlak TaC, povlak zo skleného uhlíka, pyrolytický povlak uhlíka atď. Produkty sa široko používajú vo fotovoltaike, polovodičoch, novej energii, metalurgii atď.
Náš technický tím pochádza z popredných domácich výskumných inštitúcií a môže vám poskytnúť profesionálnejšie materiálové riešenia.
Výhody VET Energy zahŕňajú:
• Vlastná továreň a profesionálne laboratórium;
• Najvyššie úrovne čistoty a kvality v odvetví;
• Konkurencieschopná cena a rýchla dodacia lehota;
• Viaceré priemyselné partnerstvá po celom svete;
Kedykoľvek vás radi pozývame na návštevu našej továrne a laboratória!
