Modrwy Graffit wedi'i Gorchuddio â Charbid Tantalwm Mandyllog

Modrwy Graffit wedi'i Gorchuddio â Charbid Tantalwm Mandyllog
Graffit wedi'i orchuddio â charbid tantalwm mandyllog (TaC)yn ddeunydd allweddol a ddatblygwyd yn benodol ar gyfer amgylcheddau tymheredd uchel a chyrydol iawn gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Ei swbstrad yw graffit isostatig purdeb uchel, wedi'i orchuddio â gorchudd tantalwm carbid mandyllog unffurf gan ddefnyddio dyddodiad anwedd cemegol (CVD). Mae gan TaC galedwch eithriadol o uchel (9-10 ar raddfa Mohs) a phwynt toddi o 3880°C. Ynghyd â sefydlogrwydd thermol rhagorol graffit a'i briodweddau ysgafn, mae'r deunydd hwn yn cyfuno cryfder tymheredd uchel â gwrthwynebiad i ymosodiad cemegol a sioc thermol, gan ei wneud yn ddewis delfrydol ar gyfer offer prosesu lled-ddargludyddion sy'n gweithredu o dan amodau eithafol.

Manteision Graffit Carbid Tantalwm Mandyllog:
1. Gwrthiant Cyrydiad Ultra-Uchel
-Mae TaC yn anadweithiol yn gemegol, gan wrthsefyll cyrydiad yn effeithiol o halogenau fel fflworin a chlorin, gan ymestyn oes offer yn sylweddol.
-Mae'r strwythur mandyllog yn cynyddu arwynebedd yr haen, gan ffurfio rhwystr amddiffynnol mwy cadarn a lleihau'r risg o golli gronynnau.
2. Sefydlogrwydd Tymheredd Uchel Rhagorol
-Gyda phwynt toddi sy'n agosáu at 4000°C, gall weithredu am gyfnodau estynedig mewn gwactod neu atmosfferau anadweithiol sy'n fwy na 2500°C.
-Mae cyfernod ehangu thermol y cotio yn cyfateb yn dda iawn i gyfernod ehangu thermol y graffit, gan atal cracio a dadlamineiddio a achosir gan gylchu thermol.
3. Purdeb Uchel a Halogiad Isel
-Gan ddefnyddio deunyddiau crai a phrosesau gradd lled-ddargludyddion, mae cynnwys amhuredd metel yn isel iawn, gan leihau'r risg o halogiad wafer yn sylweddol.
-Mae'r wyneb yn drwchus ac yn sefydlog yn gemegol, gan leihau cynhyrchu gronynnau a bodloni safonau llym ar gyfer ystafelloedd glân.
4. Dyluniad Personol
Gellir cynhyrchu siapiau cymhleth yn ôl lluniadau cwsmeriaid, a gellir rheoli mandylledd a thrwch yr haen i sicrhau llif nwy a dargludedd thermol gorau posibl.
5. Hyd oes hir a chost cynnal a chadw isel
Mae ymwrthedd uchel iawn haenau TaC mandyllog i gyrydiad a gwisgo yn cynyddu oes y cydrannau 3-5 gwaith o'i gymharu â graffit traddodiadol, gan leihau amlder ailosod a chostau cynnal a chadw.

Prif Gymwysiadau
1. Cydrannau craidd ar gyfer gweithgynhyrchu wafers
- Leininau siambr adwaith, bafflau, a phen cawod ar gyfer offer CVD/ALD
- Cefnogaeth targed PVD
- Cydrannau proses tymheredd uchel ar gyfer trylediad, ocsideiddio, anelio, a phrosesau eraill
2. Systemau dyddodiad anwedd cemegol
- Diogelu cydrannau allweddol mewn amgylcheddau cyrydol iawn (megis fflworidau a chloridau) yn ystod y broses
3. Amgylcheddau cyrydol tymheredd uchel eraill
- Addas ar gyfer puro nwy cemegol, ffwrneisi trin gwres arbenigol, a chymwysiadau eraill.