ባለ ቀዳዳ ታንታለም ካርባይድ ሽፋን ያለው ግራፋይት ቀለበት

ባለ ቀዳዳ ታንታለም ካርባይድ ሽፋን ያለው ግራፋይት ቀለበት
ባለ ቀዳዳ ታንታለም ካርባይድ (TaC) የተሸፈነ ግራፋይትበተለይ ለከፍተኛ ሙቀት እና ለከፍተኛ ዝገት ለሚዳርግ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አካባቢዎች የተዘጋጀ ቁልፍ ቁሳቁስ ነው። ንብረቱ ከፍተኛ ንፁህ ኢሶስታቲክ ግራፋይት ሲሆን በኬሚካል ትነት ክምችት (CVD) በመጠቀም ወጥ በሆነ ቀዳዳ ባለው የታንታለም ካርቢይድ ሽፋን የተሸፈነ ነው። TaC እጅግ በጣም ከፍተኛ ጥንካሬ (በሞህስ ሚዛን 9-10) እና 3880°ሴ የመቅለጥ ነጥብ አለው። ከግራፋይት እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መረጋጋት እና ቀላል ክብደት ባህሪያት ጋር ተጣምሮ፣ ይህ ቁሳቁስ ከፍተኛ የሙቀት ጥንካሬን ከኬሚካል ጥቃት እና ከሙቀት ድንጋጤ መቋቋም ጋር ያጣምራል፣ ይህም በከባድ ሁኔታዎች ውስጥ ለሚሰሩ የሴሚኮንዳክተር ሂደት መሳሪያዎች ተስማሚ ምርጫ ያደርገዋል።

የባለ ቀዳዳ ታንታለም ካርባይድ ግራፋይት ጥቅሞች፡
1. እጅግ በጣም ከፍተኛ የዝገት መቋቋም
-TaC በኬሚካል የማይንቀሳቀስ ሲሆን እንደ ፍሎሪን እና ክሎሪን ካሉ ሃሎጅኖች የሚመጡ ዝገቶችን ውጤታማ በሆነ መንገድ ይቋቋማል፣ ይህም የመሳሪያውን ዕድሜ በእጅጉ ያራዝማል።
- ቀዳዳ ያለው መዋቅር የሽፋኑን ወለል ስፋት ይጨምራል፣ የበለጠ ጠንካራ የመከላከያ መከላከያ ይፈጥራል እና የቅንጣት መፍሰስ አደጋን ይቀንሳል።
2. እጅግ በጣም ጥሩ የከፍተኛ ሙቀት መረጋጋት
- የመቅለጥ ነጥብ ወደ 4000°ሴ ሲጠጋ፣ ከ2500°ሴ በላይ በሆነ የቫክዩም ወይም ኢነርት ከባቢ አየር ውስጥ ለረጅም ጊዜ ሊሠራ ይችላል።
- የሽፋኑ የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት ከግራፋይት ጋር በጣም የተጣጣመ ሲሆን ይህም በሙቀት ዑደት ምክንያት የሚፈጠረውን ስንጥቅ እና መበላሸትን ይከላከላል።
3. ከፍተኛ ንፅህና እና ዝቅተኛ ብክለት
- በሴሚኮንዳክተር ደረጃ ጥሬ እቃዎችን እና ሂደቶችን በመጠቀም የብረት ርኩሰት ይዘት እጅግ በጣም ዝቅተኛ ሲሆን ይህም የዋፈር ብክለት አደጋን በእጅጉ ይቀንሳል።
- መሬቱ ጥቅጥቅ ያለ እና በኬሚካል የተረጋጋ ሲሆን የቅንጣት መፈጠርን ይቀንሳል እና ጥብቅ የጽዳት ደረጃዎችን ያሟላል።
4. ብጁ ዲዛይን
ውስብስብ ቅርጾች በደንበኛ ስዕሎች መሰረት ሊመረቱ ይችላሉ፣ እና ከፍተኛ የጋዝ ፍሰት እና የሙቀት ማስተላለፊያ ለማግኘት የፖሊሲ እና የሽፋን ውፍረት ቁጥጥር ሊደረግበት ይችላል።
5. ረጅም የአገልግሎት ዘመን እና ዝቅተኛ የጥገና ወጪ
ባለ ቀዳዳ ያላቸው የTaC ሽፋኖች እጅግ በጣም ከፍተኛ የዝገት እና የመልበስ መቋቋም ከባህላዊው ግራፋይት ጋር ሲነጻጸር የክፍሉን ዕድሜ በ3-5 እጥፍ ይጨምራል፣ ይህም የመተካት ድግግሞሽ እና የጥገና ወጪዎችን ይቀንሳል።

ዋና ዋና አፕሊኬሽኖች
1. ለዋፈር ማምረቻ የሚያገለግሉ ዋና ዋና ክፍሎች
- ለሲቪዲ/ኤኤልዲ መሳሪያዎች የምላሽ ክፍል ሽፋኖች፣ ባፍሎች እና የሻወር ራስ
- የPVD ኢላማ ድጋፎች
- ለስርጭት፣ ለኦክሳይድ፣ ለማቅለጥ እና ለሌሎች ሂደቶች ከፍተኛ የሙቀት መጠን ያላቸው የሂደት ክፍሎች
2. የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ ስርዓቶች
- በሂደቱ ወቅት በጣም ዝገት ባላቸው አካባቢዎች (እንደ ፍሎራይድ እና ክሎራይድ ያሉ) ቁልፍ ክፍሎችን መጠበቅ
3. ሌሎች ከፍተኛ ሙቀት ያላቸው ዝገት የሚፈጥሩ አካባቢዎች
- ለኬሚካል ጋዝ ማጣሪያ፣ ለልዩ የሙቀት ማከሚያ ምድጃዎች እና ለሌሎች አፕሊኬሽኖች ተስማሚ።