د مسام لرونکي ټانټالم کاربایډ لیپت شوي ګرافیت حلقه
د مسام لرونکي ټانټالم کاربایډ (TaC) پوښل شوی ګرافایټدا یو مهم مواد دی چې په ځانګړي ډول د سیمیکمډکټر تولید د لوړې تودوخې، خورا زنګ وهونکي چاپیریال لپاره رامینځته شوی. د دې سبسټریټ لوړ پاکوالی ایزوسټاټیک ګرافایټ دی، چې د کیمیاوي بخار زیرمو (CVD) په کارولو سره د یوشان سوري ټینټالم کاربایډ کوټینګ سره پوښل شوی. TaC خورا لوړ سختۍ (په Mohs پیمانه کې 9-10) او د 3880 ° C د ویلې کیدو نقطه لري. د ګرافایټ د غوره حرارتي ثبات او سپک وزن ملکیتونو سره یوځای، دا مواد د کیمیاوي برید او تودوخې شاک په وړاندې مقاومت سره د لوړ تودوخې ځواک سره یوځای کوي، دا د سختو شرایطو لاندې د سیمیکمډکټر پروسې تجهیزاتو لپاره یو مثالی انتخاب جوړوي.
د مسام لرونکي ټانټالم کاربایډ ګرافایټ ګټې:
۱. د ډېر لوړ زنګ وهلو مقاومت
-TaC په کیمیاوي لحاظ غیر فعال دی، په مؤثره توګه د هالوجنونو لکه فلورین او کلورین څخه د زنګ وهلو په وړاندې مقاومت کوي، د تجهیزاتو ژوند د پام وړ اوږدوي.
- سوری جوړښت د پوښ د سطحې مساحت زیاتوي، یو ډیر پیاوړی محافظتي خنډ جوړوي او د ذراتو د توییدو خطر کموي.
2. د لوړ حرارت غوره ثبات
- د ویلې کېدو نقطې سره چې ۴۰۰۰ درجو سانتي ګراد ته نږدې کیږي، دا کولی شي د اوږدې مودې لپاره په خلا یا غیر فعال اتموسفیر کې چې له ۲۵۰۰ درجو سانتي ګراد څخه ډیر وي کار وکړي.
- د کوټینګ د تودوخې پراخېدو ضریب د ګرافایټ سره خورا مطابقت لري، د تودوخې سایکل چلولو له امله د درزیدو او ډیلیمینیشن مخه نیسي.
۳. لوړ پاکوالی او ټیټ ککړتیا
- د سیمیکمډکټر درجې خامو موادو او پروسو په کارولو سره، د فلزي ناپاکۍ مینځپانګه خورا ټیټه ده، چې د ویفر ککړتیا خطر د پام وړ کموي.
- سطحه یې غلیظه او کیمیاوي پلوه باثباته ده، د ذراتو تولید کموي او د پاکولو خونې سخت معیارونه پوره کوي.
۴. دودیز ډیزاین
پیچلي شکلونه د پیرودونکو د انځورونو سره سم تولید کیدی شي، او د ګازو د جریان او حرارتي چالکتیا د غوره کولو لپاره د سوروالي او کوټینګ ضخامت کنټرول کیدی شي.
۵. اوږد عمر او د ساتنې ټیټ لګښت
د سوري لرونکي TaC کوټینګونو خورا لوړ زنګ وهلو او اغوستلو مقاومت د دودیز ګرافایټ په پرتله د اجزاو ژوند 3-5 ځله زیاتوي، د ځای په ځای کولو فریکونسۍ او ساتنې لګښتونه کموي.
اصلي غوښتنلیکونه
۱. د ویفر جوړولو لپاره اصلي برخې
- د CVD/ALD تجهیزاتو لپاره د عکس العمل چیمبر لاینرونه، بافلونه، او شاور هیډ
- د PVD هدف ملاتړ کوي
- د خپریدو، اکسیډیشن، انیل کولو، او نورو پروسو لپاره د لوړې تودوخې پروسې اجزا
۲. د کیمیاوي بخاراتو د زیرمو سیسټمونه
- د پروسې په جریان کې په خورا زنګ وهونکي چاپیریال (لکه فلورایډونه او کلورایډونه) کې د مهمو برخو ساتنه
۳. نور د لوړې تودوخې زنګ وهونکي چاپیریالونه
- د کیمیاوي ګازو پاکولو، د تودوخې درملنې ځانګړو کوټو، او نورو غوښتنلیکونو لپاره مناسب.
VET انرژي یو مسلکي تولید کونکی دی چې د لوړ کیفیت لرونکي پرمختللي موادو لکه ګرافایټ، سیلیکون کاربایډ، کوارټز، او همدارنګه د SiC کوټینګ، TaC کوټینګ، شیشې کاربن کوټینګ، پیرولیټیک کاربن کوټینګ، او داسې نورو په څیر د موادو درملنې باندې تمرکز کوي. دا محصولات په پراخه کچه په فوتوولټیک، سیمیکمډکټر، نوې انرژي، فلزاتو او نورو کې کارول کیږي.
زموږ تخنیکي ټیم د لوړ پوړو کورنیو څیړنیزو ادارو څخه راځي، کولی شي ستاسو لپاره ډیر مسلکي مادي حلونه چمتو کړي.
د VET انرژۍ ګټې په لاندې ډول دي:
• خپله فابریکه او مسلکي لابراتوار ولري؛
• د صنعت مخکښ پاکوالي کچه او کیفیت؛
• سیالي قیمت او د سپارلو چټک وخت؛
• په ټوله نړۍ کې ګڼ شمېر صنعتي ملګرتیاوې؛
موږ تاسو ته ښه راغلاست وایو چې هر وخت زموږ فابریکه او لابراتوار وګورئ!
