Porains tantala karbīda pārklāts grafīta gredzens

Porains tantala karbīda pārklāts grafīta gredzens
Porains tantala karbīda (TaC) pārklāts grafītsir galvenais materiāls, kas īpaši izstrādāts pusvadītāju ražošanas vidēm ar augstu temperatūru un ļoti korozīvu iedarbību. Tā substrāts ir augstas tīrības pakāpes izostatiskais grafīts, kas pārklāts ar vienmērīgi porainu tantala karbīda pārklājumu, izmantojot ķīmisko tvaiku pārklāšanu (CVD). TaC ir ārkārtīgi augsta cietība (9–10 pēc Mosa skalas) un kušanas temperatūra ir 3880 °C. Apvienojumā ar grafīta izcilo termisko stabilitāti un vieglo svaru šis materiāls apvieno augstas temperatūras izturību ar izturību pret ķīmisku iedarbību un termisko triecienu, padarot to par ideālu izvēli pusvadītāju procesu iekārtām, kas darbojas ekstremālos apstākļos.

Porainā tantala karbīda grafīta priekšrocības:
1. Īpaši augsta izturība pret koroziju
-TaC ir ķīmiski inerts, efektīvi izturīgs pret halogēnu, piemēram, fluora un hlora, koroziju, ievērojami pagarinot iekārtu kalpošanas laiku.
-Porainā struktūra palielina pārklājuma virsmas laukumu, veidojot izturīgāku aizsargbarjeru un samazinot daļiņu atdalīšanās risku.
2. Lieliska stabilitāte augstā temperatūrā
-Ar kušanas temperatūru, kas tuvojas 4000 °C, to var ilgstoši darbināt vakuumā vai inertā atmosfērā, kuras temperatūra pārsniedz 2500 °C.
-Pārklājuma termiskās izplešanās koeficients ir ļoti līdzīgs grafītam, novēršot plaisāšanu un delamināciju, ko izraisa termiskā ciklēšana.
3. Augsta tīrība un zems piesārņojums
-Izmantojot pusvadītāju kvalitātes izejvielas un procesus, metālu piemaisījumu saturs ir ārkārtīgi zems, ievērojami samazinot plākšņu piesārņojuma risku.
-Virsma ir blīva un ķīmiski stabila, samazinot daļiņu veidošanos un atbilstot stingriem tīrtelpu standartiem.
4. Pielāgots dizains
Sarežģītas formas var izgatavot pēc klienta rasējumiem, un porainību un pārklājuma biezumu var kontrolēt, lai panāktu optimālu gāzes plūsmu un siltumvadītspēju.
5. Ilgs kalpošanas laiks un zemas uzturēšanas izmaksas
Poraino TaC pārklājumu ārkārtīgi augstā izturība pret koroziju un nodilumizturība palielina detaļu kalpošanas laiku 3–5 reizes salīdzinājumā ar tradicionālo grafītu, samazinot nomaiņas biežumu un apkopes izmaksas.

Galvenie pielietojumi
1. Vafeļu ražošanas pamatkomponenti
- Reakcijas kameras oderējumi, starpsienas un dušas galviņa CVD/ALD iekārtām
- PVD mērķa atbalsta
- Augstas temperatūras procesu komponenti difūzijai, oksidēšanai, atkvēlināšanai un citiem procesiem
2. Ķīmiskās tvaiku uzklāšanas sistēmas
- Galveno komponentu aizsardzība ļoti korozīvā vidē (piemēram, fluorīdu un hlorīdu ietekmē) procesa laikā
3. Citas augstas temperatūras korozīvas vides
- Piemērots ķīmiskai gāzu attīrīšanai, specializētām termiskās apstrādes krāsnīm un citām lietojumprogrammām.