Πορώδης δακτύλιος γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου

Πορώδης δακτύλιος γραφίτη με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου
Πορώδης γραφίτης με επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου (TaC)είναι ένα βασικό υλικό που αναπτύχθηκε ειδικά για τα περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής διάβρωσης της κατασκευής ημιαγωγών. Το υπόστρωμά του είναι ισοστατικός γραφίτης υψηλής καθαρότητας, επικαλυμμένος με ομοιόμορφα πορώδη επίστρωση καρβιδίου τανταλίου χρησιμοποιώντας χημική εναπόθεση ατμών (CVD). Το TaC έχει εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα (9-10 στην κλίμακα Mohs) και σημείο τήξης 3880°C. Σε συνδυασμό με την εξαιρετική θερμική σταθερότητα και τις ιδιότητες ελαφρού βάρους του γραφίτη, αυτό το υλικό συνδυάζει την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες με την αντοχή σε χημική προσβολή και θερμικό σοκ, καθιστώντας το ιδανική επιλογή για εξοπλισμό διεργασιών ημιαγωγών που λειτουργεί υπό ακραίες συνθήκες.

Πλεονεκτήματα του πορώδους γραφίτη καρβιδίου τανταλίου:
1. Εξαιρετικά υψηλή αντοχή στη διάβρωση
-Το TaC είναι χημικά αδρανές, αντιστέκεται αποτελεσματικά στη διάβρωση από αλογόνα όπως το φθόριο και το χλώριο, παρατείνοντας σημαντικά τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού.
-Η πορώδης δομή αυξάνει την επιφάνεια της επίστρωσης, σχηματίζοντας ένα πιο ισχυρό προστατευτικό φράγμα και μειώνοντας τον κίνδυνο αποβολής σωματιδίων.
2. Άριστη σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες
-Με σημείο τήξης που πλησιάζει τους 4000°C, μπορεί να λειτουργήσει για μεγάλα χρονικά διαστήματα σε κενό ή αδρανή ατμόσφαιρα που υπερβαίνει τους 2500°C.
-Ο συντελεστής θερμικής διαστολής της επίστρωσης ταιριάζει απόλυτα με αυτόν του γραφίτη, αποτρέποντας τις ρωγμές και την αποκόλληση που προκαλούνται από τον θερμικό κύκλο.
3. Υψηλή καθαρότητα και χαμηλή μόλυνση
-Χρησιμοποιώντας πρώτες ύλες και διαδικασίες ημιαγωγικής ποιότητας, η περιεκτικότητα σε μεταλλικές προσμίξεις είναι εξαιρετικά χαμηλή, μειώνοντας σημαντικά τον κίνδυνο μόλυνσης των πλακιδίων.
-Η επιφάνεια είναι πυκνή και χημικά σταθερή, μειώνοντας την παραγωγή σωματιδίων και πληρώντας τα αυστηρά πρότυπα καθαρού χώρου.
4. Σχεδιασμός κατά παραγγελία
Μπορούν να παραχθούν σύνθετα σχήματα σύμφωνα με τα σχέδια του πελάτη, ενώ το πορώδες και το πάχος της επίστρωσης μπορούν να ελεγχθούν για να επιτευχθεί βέλτιστη ροή αερίου και θερμική αγωγιμότητα.
5. Μακριά διάρκεια ζωής και χαμηλό κόστος συντήρησης
Η εξαιρετικά υψηλή αντοχή στη διάβρωση και τη φθορά των πορωδών επιστρώσεων TaC αυξάνει τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων κατά 3-5 φορές σε σύγκριση με τον παραδοσιακό γραφίτη, μειώνοντας τη συχνότητα αντικατάστασης και το κόστος συντήρησης.

Κύριες εφαρμογές
1. Βασικά εξαρτήματα για την κατασκευή πλακιδίων
- Επενδύσεις θαλάμου αντίδρασης, διαφράγματα και κεφαλή ντους για εξοπλισμό καρδιαγγειακών παθήσεων/αλγίας
- Υποστηρίξεις στόχων PVD
- Εξαρτήματα διεργασίας υψηλής θερμοκρασίας για διάχυση, οξείδωση, ανόπτηση και άλλες διεργασίες
2. Συστήματα χημικής εναπόθεσης ατμών
- Προστασία βασικών εξαρτημάτων σε εξαιρετικά διαβρωτικά περιβάλλοντα (όπως φθοριούχα και χλωριούχα) κατά τη διάρκεια της διαδικασίας
3. Άλλα διαβρωτικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας
- Κατάλληλο για χημικό καθαρισμό αερίων, εξειδικευμένους κλιβάνους θερμικής επεξεργασίας και άλλες εφαρμογές.