Porowaty pierścień grafitowy pokryty węglikiem tantalu

Porowaty pierścień grafitowy pokryty węglikiem tantalu
Porowaty grafit powlekany węglikiem tantalu (TaC)To kluczowy materiał opracowany specjalnie do wysokotemperaturowych i wysoce korozyjnych środowisk produkcji półprzewodników. Jego podłożem jest wysokiej czystości grafit izostatyczny, pokryty jednolicie porowatą powłoką z węglika tantalu metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). TaC charakteryzuje się wyjątkowo wysoką twardością (9-10 w skali Mohsa) i temperaturą topnienia 3880°C. W połączeniu z doskonałą stabilnością termiczną i lekkością grafitu, materiał ten łączy w sobie wytrzymałość w wysokich temperaturach z odpornością na działanie czynników chemicznych i szok termiczny, co czyni go idealnym wyborem do urządzeń procesowych półprzewodników pracujących w ekstremalnych warunkach.

Zalety porowatego grafitu węgliku tantalu:
1. Ultrawysoka odporność na korozję
-TaC jest chemicznie obojętny, skutecznie zapobiega korozji wywoływanej przez halogeny, takie jak fluor i chlor, znacznie wydłużając żywotność sprzętu.
- Porowata struktura zwiększa powierzchnię powłoki, tworząc trwalszą barierę ochronną i redukując ryzyko oddzielania się cząstek.
2. Doskonała stabilność w wysokich temperaturach
- Dzięki temperaturze topnienia wynoszącej około 4000°C urządzenie może pracować przez dłuższy czas w próżni lub atmosferze obojętnej o temperaturze przekraczającej 2500°C.
- Współczynnik rozszerzalności cieplnej powłoki jest ściśle dopasowany do współczynnika grafitu, co zapobiega pękaniu i rozwarstwianiu się materiału na skutek cykli termicznych.
3. Wysoka czystość i niskie zanieczyszczenie
- Dzięki wykorzystaniu surowców i procesów klasy półprzewodnikowej zawartość zanieczyszczeń metalicznych jest wyjątkowo niska, co znacznie zmniejsza ryzyko zanieczyszczenia płytek półprzewodnikowych.
-Powierzchnia jest gęsta i stabilna chemicznie, co ogranicza powstawanie cząsteczek i spełnia rygorystyczne standardy pomieszczeń czystych.
4. Projekt niestandardowy
Możliwe jest wytwarzanie skomplikowanych kształtów według rysunków klienta, a porowatość i grubość powłoki można kontrolować w celu uzyskania optymalnego przepływu gazu i przewodności cieplnej.
5. Długa żywotność i niskie koszty utrzymania
Niezwykle wysoka odporność na korozję i zużycie porowatych powłok TaC wydłuża żywotność podzespołów o 3–5 razy w porównaniu z tradycyjnym grafitem, zmniejszając częstotliwość wymiany i koszty konserwacji.

Główne zastosowania
1. Podstawowe komponenty do produkcji płytek półprzewodnikowych
- Wykładziny komory reakcyjnej, przegrody i głowice natryskowe do urządzeń CVD/ALD
- Podpory tarcz PVD
- Komponenty procesów wysokotemperaturowych do dyfuzji, utleniania, wyżarzania i innych procesów
2. Systemy chemicznego osadzania z fazy gazowej
- Ochrona kluczowych komponentów w środowiskach silnie korozyjnych (takich jak fluorki i chlorki) w trakcie procesu
3. Inne środowiska korozyjne o wysokiej temperaturze
- Nadaje się do chemicznego oczyszczania gazów, specjalistycznych pieców do obróbki cieplnej i innych zastosowań.