Poorne tantaalkarbiidiga kaetud grafiitrõngas
Poorse tantaalkarbiidiga (TaC) kaetud grafiiton võtmematerjal, mis on välja töötatud spetsiaalselt pooljuhtide tootmise kõrge temperatuuri ja väga korrodeeriva keskkonna jaoks. Selle alusmaterjal on kõrge puhtusastmega isostaatiline grafiit, mis on kaetud ühtlaselt poorse tantaalkarbiidkattega, kasutades keemilist aurustamist (CVD). TaC-l on äärmiselt kõrge kõvadus (9–10 Mohsi skaalal) ja sulamistemperatuur 3880 °C. Koos grafiidi suurepärase termilise stabiilsuse ja kergete omadustega ühendab see materjal kõrgtemperatuurilise tugevuse keemilise rünnaku ja termilise šoki vastupidavusega, muutes selle ideaalseks valikuks pooljuhtide protsessiseadmetele, mis töötavad äärmuslikes tingimustes.
Poorse tantaalkarbiidgrafiidi eelised:
1. Ülikõrge korrosioonikindlus
-TaC on keemiliselt inertne, vastupidav halogeenide, näiteks fluori ja kloori, korrosioonile, pikendades oluliselt seadmete eluiga.
-Poorne struktuur suurendab katte pindala, moodustades tugevama kaitsebarjääri ja vähendades osakeste eraldumise ohtu.
2. Suurepärane kõrge temperatuuri stabiilsus
-Sulamistemperatuur läheneb 4000 °C-le ja see võib pikka aega töötada vaakumis või inertses atmosfääris temperatuuril üle 2500 °C.
-Katte soojuspaisumistegur on grafiidi omaga väga sarnane, hoides ära termilise tsükli tagajärjel tekkivat pragunemist ja delaminatsiooni.
3. Kõrge puhtusaste ja madal saastatus
-Pooljuhtidele mõeldud toorainete ja protsesside kasutamisel on metallilisandite sisaldus äärmiselt madal, mis vähendab oluliselt kiipide saastumise ohtu.
-Pind on tihe ja keemiliselt stabiilne, vähendades osakeste teket ja vastates rangetele puhasruumi standarditele.
4. Kohandatud disain
Kompleksseid kujundeid saab toota vastavalt kliendi joonistele ning optimaalse gaasivoolu ja soojusjuhtivuse saavutamiseks saab kontrollida poorsust ja katte paksust.
5. Pikk eluiga ja madalad hoolduskulud
Poorsete TaC-katete äärmiselt kõrge korrosiooni- ja kulumiskindlus pikendab komponendi eluiga traditsioonilise grafiidiga võrreldes 3–5 korda, vähendades vahetuse sagedust ja hoolduskulusid.
Peamised rakendused
1. Kiipide tootmise põhikomponendid
- Reaktsioonikambri vooderdised, deflektorid ja dušipea CVD/ALD seadmetele
- PVD sihtmärgi toed
- Kõrgtemperatuurilised protsessikomponendid difusiooni, oksüdeerimise, lõõmutamise ja muude protsesside jaoks
2. Keemilise aurustamise süsteemid
- Põhikomponentide kaitsmine protsessi ajal väga söövitavas keskkonnas (näiteks fluoriidide ja kloriidide juuresolekul)
3. Muud kõrge temperatuuriga söövitavad keskkonnad
- Sobib keemiliseks gaasi puhastamiseks, spetsiaalsetes kuumtöötlusahjudes ja muudes rakendustes.
VET Energy on professionaalne tootja, mis keskendub tipptasemel täiustatud materjalide, näiteks grafiidi, ränikarbiidi ja kvartsi, teadus- ja arendustegevusele ning tootmisele, aga ka materjalide töötlemisele nagu SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne. Tooteid kasutatakse laialdaselt fotogalvaanikas, pooljuhtides, uue energia tootmises, metallurgias jne.
Meie tehniline meeskond pärineb tipptasemel kodumaistest teadusasutustest ja saab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.
VET Energy eelised hõlmavad järgmist:
• Oma tehas ja professionaalne labor;
• Tööstusharu parim puhtusaste ja kvaliteet;
• Konkurentsivõimeline hind ja kiire tarneaeg;
• Mitmed tööstuspartnerlused üle maailma;
Ootame teid meie tehast ja laborit igal ajal külastama!
