Mama Graphite Ufiufi Tantalum Carbide Porous

Mama Graphite Ufiufi Tantalum Carbide Porous
Karatefi ua ufiufi i le tantalum carbide (TaC) e iai pu laitio se mea taua na atiaʻe faapitoa mo siosiomaga vevela maualuga ma siosiomaga e matuā ʻeleʻelea o le gaosiga o semiconductor. O lona mea e fai ai o le graphite isostatic mama maualuga, ua ufiufi i se ufiufi tantalum carbide e tutusa lelei le porous e faʻaaogaina ai le chemical vapor deposition (CVD). O le TaC e matuā maualuga lona malō (9-10 i le fua o le Mohs) ma le melting point e 3880°C. Faʻatasi ai ma le mautu lelei o le graphite i le vevela ma meatotino mama, o lenei mea e tuʻufaʻatasia ai le malosi o le vevela maualuga ma le teteʻe atu i osofaʻiga faʻakemikolo ma le teʻi vevela, ma avea ai ma filifiliga lelei mo masini faʻagasologa semiconductor o loʻo faʻagaoioia i lalo o tulaga faigata.

Fa'amanuiaga o le Porous Tantalum Carbide Graphite:
1. Tete'e Maualuga i le 'Ele
-E lē gaoioi le TaC i vailaʻau, e teteʻe lelei i le ʻele mai halogens e pei o le fluorine ma le chlorine, ma e faʻalauteleina ai le umi e ola ai masini.
-O le fausaga e pu'upu'u e fa'ateleina ai le lautele o le fogā'ele'ele o le ufiufi, ma fausia ai se pa puipui e sili atu ona malosi ma fa'aitiitia ai le lamatiaga o le malepelepe o vaega laiti.
2. Tulaga Mausali Maualuga i le Vevela
-Faatasi ai ma lona tulaga fa'a'asu e latalata atu i le 4000°C, e mafai ona fa'agaoioia mo se taimi umi i le ea gaogao po'o le ea lē gaoioi e sili atu i le 2500°C.
-O le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela o le ufiufi e matuā tutusa lelei ma le fua o le karapite, e puipuia ai le māvaevae ma le vaeluaina e mafua mai i le ta'amilosaga o le vevela.
3. Mama Maualuga ma Fa'aleagaina Maualalo
-I le fa'aaogaina o mea mata ma faiga e gaosia i le vasega semiconductor, e matua maualalo lava le aofa'i o mea leaga o lo'o i totonu o le u'amea, ma fa'aitiitia tele ai le lamatiaga o le fa'aleagaina o le wafer.
-E mafiafia le fogāeleele ma e mautu le fa'akemikolo, e fa'aitiitia ai le fa'atupuina o ni fasi mea laiti ma ausia ai tulaga fa'atonuina o le potu mama.
4. Fuafuaga Fa'apitoa
E mafai ona gaosia ni foliga faigata e tusa ai ma ata tusi a tagata faʻatau, ma e mafai ona pulea le porosity ma le mafiafia o le ufiufi e ausia ai le tafe lelei o le kesi ma le faʻavevela.
5. Umi le Soifuaga ma Tau Maualalo o le Tausiga
O le maualuga tele o le tete'e atu i le 'ele ma le ofuina o ufi TaC porous e fa'ateleina ai le umi e ola ai le vaega i le 3-5 taimi pe a fa'atusatusa i le graphite masani, ma fa'aitiitia ai le tele o le suiina ma tau o le tausiga.

Talosaga Autu
1. Vaega autū mo le gaosiga o le wafer
- Fa'avaa o le potu tali, fa'amau, ma le ulu ta'ele mo masini CVD/ALD
- Lagolago fa'atatau PVD
- Vaega o le faagasologa e maualuga le vevela mo le faasalalauina, faʻamaʻiina, faʻamafanafana, ma isi faagasologa
2. Faiga e fa'aputu ai le ausa kemikolo
- Puipuia o vaega autū i siosiomaga e matuā ʻāʻai (e pei o fluorides ma chlorides) i le taimi o le faagasologa
3. Isi siosiomaga e fa'aleagaina i le vevela maualuga
- Talafeagai mo le fa'amamāina o kasa fa'akemikolo, ogaumu fa'apitoa mo togafitiga fa'avevela, ma isi fa'aoga.