Cincin Grafit Bersalut Tantalum Karbida Berliang
Grafit bersalut tantalum karbida (TaC) berliangmerupakan bahan utama yang dibangunkan khusus untuk persekitaran pembuatan semikonduktor bersuhu tinggi dan sangat menghakis. Substratnya ialah grafit isostatik berketulenan tinggi, disalut dengan salutan karbida tantalum berliang seragam menggunakan pemendapan wap kimia (CVD). TaC mempunyai kekerasan yang sangat tinggi (9-10 pada skala Mohs) dan takat lebur 3880°C. Digabungkan dengan kestabilan terma grafit yang sangat baik dan sifat ringan, bahan ini menggabungkan kekuatan suhu tinggi dengan rintangan terhadap serangan kimia dan kejutan terma, menjadikannya pilihan ideal untuk peralatan proses semikonduktor yang beroperasi di bawah keadaan yang melampau.
Kelebihan Grafit Tantalum Karbida Berliang:
1. Rintangan Kakisan Ultra Tinggi
-TaC adalah lengai secara kimia, berkesan menahan kakisan daripada halogen seperti fluorin dan klorin, lantas memanjangkan hayat peralatan dengan ketara.
-Struktur berliang meningkatkan luas permukaan salutan, membentuk penghalang pelindung yang lebih teguh dan mengurangkan risiko penumpahan zarah.
2. Kestabilan Suhu Tinggi yang Cemerlang
-Dengan takat lebur menghampiri 4000°C, ia boleh beroperasi untuk tempoh yang lama dalam vakum atau atmosfera lengai yang melebihi 2500°C.
-Pekali pengembangan haba salutan sangat sepadan dengan grafit, mencegah keretakan dan penyingkiran yang disebabkan oleh kitaran haba.
3. Ketulenan Tinggi dan Pencemaran Rendah
-Menggunakan bahan mentah dan proses gred semikonduktor, kandungan bendasing logam adalah sangat rendah, sekali gus mengurangkan risiko pencemaran wafer dengan ketara.
-Permukaannya padat dan stabil secara kimia, mengurangkan penjanaan zarah dan memenuhi piawaian bilik bersih yang ketat.
4. Reka Bentuk Tersuai
Bentuk kompleks boleh dihasilkan mengikut lukisan pelanggan, dan keliangan serta ketebalan salutan boleh dikawal untuk mencapai aliran gas dan kekonduksian terma yang optimum.
5. Jangka Hayat yang Panjang dan Kos Penyelenggaraan yang Rendah
Rintangan kakisan dan haus yang sangat tinggi bagi salutan TaC berliang meningkatkan jangka hayat komponen sebanyak 3-5 kali ganda berbanding grafit tradisional, sekali gus mengurangkan kekerapan penggantian dan kos penyelenggaraan.
Aplikasi Utama
1. Komponen teras untuk pembuatan wafer
- Pelapik ruang tindak balas, sesekat dan kepala pancuran untuk peralatan CVD/ALD
- Sokongan sasaran PVD
- Komponen proses suhu tinggi untuk resapan, pengoksidaan, penyepuhlindapan dan proses lain
2. Sistem pemendapan wap kimia
- Melindungi komponen utama dalam persekitaran yang sangat menghakis (seperti fluorida dan klorida) semasa proses
3. Persekitaran menghakis suhu tinggi yang lain
- Sesuai untuk penulenan gas kimia, relau rawatan haba khusus dan aplikasi lain.
VET Energy ialah pengeluar profesional yang menumpukan pada R&D dan pengeluaran bahan termaju mewah seperti grafit, silikon karbida, kuarza, serta rawatan bahan seperti salutan SiC, salutan TaC, salutan karbon berkaca, salutan karbon pirolitik, dan sebagainya. Produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baharu, metalurgi, dan sebagainya.
Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.
Kelebihan Tenaga VET termasuk:
• Kilang sendiri dan makmal profesional;
• Tahap ketulenan dan kualiti yang terkemuka dalam industri;
• Harga yang kompetitif & masa penghantaran yang cepat;
• Pelbagai perkongsian industri di seluruh dunia;
Kami mengalu-alukan anda untuk melawat kilang dan makmal kami pada bila-bila masa!
