VET انرجي PECVD لوڊنگ ٽري هڪ درست ڪيريئر آهي جيڪا PECVD (پلازما اينهانسڊ ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن) جي عمل لاءِ ٺهيل آهي. هي اعليٰ معيار جي ڊپوزيشن گريفائيٽ ٽري اعليٰ پاڪائي، اعليٰ کثافت واري گريفائيٽ مواد مان ٺهيل آهي. ان ۾ بهترين اعليٰ درجه حرارت جي مزاحمت، سنکنرن جي مزاحمت، طول و عرض جي استحڪام ۽ ٻيون خاصيتون آهن. اهو PECVD عمل لاءِ هڪ مستحڪم ڪيريئر پليٽ فارم فراهم ڪري سگهي ٿو ۽ فلم ڊپوزيشن جي هڪجهڙائي ۽ همواري کي يقيني بڻائي سگهي ٿو.
وي اي ٽي انرجي پي اي سي وي ڊي لوڊنگ ٽري وڏي پيماني تي سيمي ڪنڊڪٽر، فوٽووولٽڪ، ايل اي ڊي ۽ ٻين شعبن ۾ استعمال ٿينديون آهن. مثال طور:
▪ سيمي ڪنڊڪٽر: سيمي ڪنڊڪٽر مواد جهڙوڪ سلڪون ويفرز ۽ ايپيٽيڪسيل ويفرز لاءِ PECVD عمل.
▪ فوٽو وولٽڪ: شمسي سيل پتلي فلمن لاءِ PECVD عمل.
▪ LED: LED چپس لاءِ PECVD عمل.
پيداوار جا فائدا
▪فلم جي معيار کي بهتر بڻايو:فلم جي هڪجهڙائي جمع ڪرڻ کي يقيني بڻايو ۽ فلم جي معيار کي بهتر بڻايو.
▪سامان جي زندگي وڌايو:بهترين سنکنرن جي مزاحمت، PECVD سامان جي سروس لائف کي وڌايو.
▪پيداوار جي قيمت گھٽائڻ:اعليٰ معيار جون گريفائيٽ ٽريون اسڪريپ جي شرح کي گهٽائي سگهن ٿيون ۽ پيداوار جي قيمتن کي گهٽائي سگهن ٿيون.
ايس جي ايل مان گريفائيٽ مواد:
| عام پيرا ميٽر: R6510 | |||
| انڊيڪس | ٽيسٽ معيار | قدر | يونٽ |
| سراسري اناج جي ماپ | آئي ايس او 13320 | 10 | مائڪرون |
| گھڻي کثافت | ڊين آءِ اي سي 60413/204 | 1.83 | گرام/سينٽي ميٽر3 |
| کليل پورسيٽي | ڊين 66133 | 10 | % |
| وچولي سوراخ جي سائيز | ڊين 66133 | 1.8 | مائڪرون |
| پارگميتا | ڊين 51935 | 0.06 | سينٽي ميٽر/سيڪنڊ |
| راڪ ويل سختي HR5/100 | ڊين IEC60413/303 | 90 | HR |
| مخصوص بجلي مزاحمت | ڊين آءِ اي سي 60413/402 | 13 | μΩm |
| لچڪدار طاقت | ڊين آءِ اي سي 60413/501 | 60 | ايم پي اي |
| دٻاءُ واري طاقت | ڊين 51910 | 130 | ايم پي اي |
| ينگ جو ماڊيولس | ڊين 51915 | 11.5 × 10³ | ايم پي اي |
| حرارتي توسيع (20-200 ℃) | ڊين 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| حرارتي چالکائي (20 ℃) | ڊين 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
اهو خاص طور تي اعليٰ ڪارڪردگي واري سولر سيل جي پيداوار لاءِ ٺاهيو ويو آهي، جيڪو G12 وڏي سائيز جي ويفر پروسيسنگ کي سپورٽ ڪري ٿو. بهتر ڪيل ڪيريئر ڊيزائن خاص طور تي ٿرو پُٽ وڌائي ٿو، جنهن سان پيداوار جي شرح وڌيڪ ۽ پيداوار جي قيمت گهٽجي ٿي.
| شيءِ | قسم | نمبر ويفر ڪيريئر |
| PEVCD گريفائيٽ ٻيڙي - 156 سيريز | 156-13 گريفائيٽ ٻيڙي | 144 |
| 156-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 216 | |
| 156-21 گريفائيٽ ٻيڙي | 240 | |
| 156-23 گريفائيٽ ٻيڙي | 308 | |
| PEVCD گريفائيٽ ٻيڙي - 125 سيريز | 125-15 گريفائيٽ ٻيڙي | 196 |
| 125-19 گريفائيٽ ٻيڙي | 252 | |
| 125-21 گرفائيٽ ٻيڙي | 280 |
