PECVD послужавник за пуњење, послужавник за таложење графита

Кратак опис:

ПЕЦВД послужавник за пуњење компаније ВЕТ Енерџи је дизајниран да обезбеди сигурну и равномерну потпору за плочице током таложења, побољшавајући конзистентност и квалитет процеса таложења. Захваљујући својој одличној отпорности на топлоту, графитни послужавник помаже у одржавању контролисаног окружења унутар ПЕЦВД комора, смањујући ризик од контаминације и обезбеђујући високу ефикасност процеса.

Пошаљите нам имејл Преузми као PDF

Детаљи производа

Ознаке производа

VET Energy PECVD носач за пуњење је прецизни носач дизајниран за PECVD (хемијско таложење из паре помоћу плазме). Овај висококвалитетни графитни носач за таложење је направљен од графитног материјала високе чистоће и густине. Има одличну отпорност на високе температуре, отпорност на корозију, димензионалну стабилност и друге карактеристике. Може да обезбеди стабилну платформу носача за PECVD процес и да осигура једнообразност и равност таложења филма.

VET Energy PECVD посуде за пуњење се широко користе у полупроводничким, фотонапонским, ЛЕД и другим областима. На пример:

▪ Полупроводник: PECVD поступак за полупроводничке материјале као што су силицијумске плочице и епитаксијалне плочице.

▪ Фотонапонски: PECVD поступак за танке филмове соларних ћелија.

▪ LED: PECVD proces za LED čipove.

Предности производа

▪Побољшајте квалитет филма:Обезбедите равномерно наношење филма и побољшајте квалитет филма.

▪Продужите век трајања опреме:Одлична отпорност на корозију, продужава век трајања PECVD опреме.

▪Смањите трошкове производње:Висококвалитетне графитне посуде могу смањити стопу отпада и смањити трошкове производње.

Графитни материјал од SGL-а:

Типичан параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Јединица
Просечна величина зрна	ИСО 13320	10	μm
Густина запремине	ДИН ИЕЦ 60413/204	1,83	г/цм³
Отворена порозност	ДИН66133	10	%
Средња величина пора	ДИН66133	1,8	μm
Пропустљивост	ДИН 51935	0,06	цм²/с
Тврдоћа по Роквелу HR5/100	ДИН ИЕЦ60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	ДИН ИЕЦ 60413/402	13	μΩm
Флексибилна чврстоћа	ДИН ИЕЦ 60413/501	60	МПа
Притисна чврстоћа	ДИН 51910	130	МПа
Јангов модул	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термичко ширење (20-200℃)	ДИН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлотна проводљивост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Посебно је дизајниран за производњу високоефикасних соларних ћелија, подржавајући обраду великих плочица G12. Оптимизовани дизајн носача значајно повећава пропусност, омогућавајући веће стопе приноса и ниже трошкове производње.

Ставка	Тип	Носач плочице са бројем
PEVCD Grephite чамац - Серија 156	156-13 графитски чамац	144
	156-19 графитски чамац	216
	156-21 графитски чамац	240
	Графитни чамац 156-23	308
PEVCD Grephite чамац - Серија 125	125-15 графит чамац	196
	125-19 графитски чамац	252
	125-21 графитни чамац	280