PECVD Лоток для завантаження Графітовий лоток для осадження

Короткий опис:

Завантажувальний лоток PECVD від VET Energy розроблений для забезпечення надійної та рівномірної підтримки пластин під час осадження, покращуючи стабільність та якість процесу осадження. Завдяки своїй чудовій термостійкості, графітовий лоток допомагає підтримувати контрольоване середовище всередині камер PECVD, зменшуючи ризик забруднення та забезпечуючи високу ефективність процесу.

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

Завантажувальний лоток VET Energy PECVD – це прецизійний носій, розроблений для процесу PECVD (плазмохімічне осадження з парової фази). Цей високоякісний графітовий лоток для осадження виготовлений з високочистого графітового матеріалу високої щільності. Він має чудову стійкість до високих температур, корозійну стійкість, стабільність розмірів та інші характеристики. Він може забезпечити стабільну платформу-носій для процесу PECVD та забезпечити однорідність та площинність осадження плівки.

Завантажувальні лотки VET Energy PECVD широко використовуються в напівпровідниковій, фотоелектричній, світлодіодній та інших галузях. Наприклад:

▪ Напівпровідник: процес PECVD для напівпровідникових матеріалів, таких як кремнієві пластини та епітаксіальні пластини.

▪ Фотоелектричний: процес PECVD для отримання тонких плівок сонячних елементів.

▪ Світлодіод: процес PECVD для світлодіодних чіпів.

Переваги продукту

▪Покращення якості фільму:Забезпечує рівномірне нанесення плівки та покращує її якість.

▪Збільшення терміну служби обладнання:Відмінна стійкість до корозії, що подовжує термін служби обладнання PECVD.

▪Зменшення виробничих витрат:Високоякісні графітові лотки можуть зменшити рівень браку та знизити виробничі витрати.

Графітовий матеріал від SGL:

Типовий параметр: R6510
Індекс	Стандарт випробування	Значення	Одиниця
Середній розмір зерна	ISO 13320	10	мкм
Насипна щільність	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Відкрита пористість	DIN66133	10	%
Середній розмір пор	DIN66133	1.8	мкм
Проникність	ДІН 51935	0,06	см²/с
Твердість по Роквеллу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Питомий електричний опір	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Міцність на згин	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Міцність на стиск	ДІН 51910	130	МПа
Модуль Юнга	ДІН 51915	11,5×10³	МПа
Теплове розширення (20-200℃)	ДІН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Теплопровідність (20℃)	ДІН 51908	105	Wm^-1K^-1

Він спеціально розроблений для виробництва високоефективних сонячних елементів, підтримуючи обробку великорозмірних пластин G12. Оптимізована конструкція носіїв значно підвищує пропускну здатність, забезпечуючи вищі показники продуктивності та нижчі виробничі витрати.

Елемент	Тип	Номер носія пластини
Човен PEVCD Grephite - серія 156	156-13 грефітовий човен	144
	156-19 грефітовий човен	216
	156-21 грефітовий човен	240
	Графітовий човен 156-23	308
Човен PEVCD Grephite - серія 125	125-15 грефітовий човен	196
	125-19 грефітовий човен	252
	125-21 графітовий човен	280