PECVD Yükləmə Qabı Çökmə Qrafit Qabı

Qısa Təsvir:

VET Energy şirkətinin PECVD Yükləmə Qabı, çökmə zamanı lövhələrə təhlükəsiz və bərabər dəstək vermək üçün nəzərdə tutulmuşdur ki, bu da çökmə prosesinin ardıcıllığını və keyfiyyətini artırır. Əla istilik müqaviməti ilə Qrafit Qabı, PECVD kameralarının içərisində nəzarətli bir mühitin qorunmasına kömək edir, çirklənmə riskini azaldır və yüksək proses səmərəliliyini təmin edir.

Bizə e-poçt göndərin PDF olaraq yükləyin

Məhsul Ətraflı

Məhsul Etiketləri

VET Energy PECVD yükləmə qabı, PECVD (plazma ilə gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökdürmə) prosesi üçün hazırlanmış dəqiq bir daşıyıcıdır. Bu yüksək keyfiyyətli çökdürmə qrafit qabı yüksək təmizlikli, yüksək sıxlıqlı qrafit materialından hazırlanmışdır. Əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığa, ölçülü sabitliyə və digər xüsusiyyətlərə malikdir. PECVD prosesi üçün sabit bir daşıyıcı platforma təmin edə və film çökdürməsinin vahidliyini və düzlüyünü təmin edə bilər.

VET Energy PECVD yükləmə qabları yarımkeçirici, fotovoltaik, LED və digər sahələrdə geniş istifadə olunur. Məsələn:

▪ Yarımkeçirici: Silisium lövhələr və epitaksial lövhələr kimi yarımkeçirici materiallar üçün PECVD prosesi.

▪ Fotovoltaik: Günəş batareyası nazik təbəqələri üçün PECVD prosesi.

▪ LED: LED çipləri üçün PECVD prosesi.

Məhsulun üstünlükləri

▪Film keyfiyyətini yaxşılaşdırın:Filmin vahid şəkildə çəkilməsini təmin edin və filmin keyfiyyətini artırın.

▪Avadanlığın ömrünü uzatmaq:Əla korroziyaya davamlıdır, PECVD avadanlıqlarının xidmət müddətini uzadır.

▪İstehsal xərclərini azaldın:Yüksək keyfiyyətli qrafit qabları qırıntı nisbətini azalda və istehsal xərclərini azalda bilər.

SGL-dən qrafit materialı:

Tipik parametr: R6510
İndeks	Test standartı	Dəyər	Vahid
Orta taxıl ölçüsü	ISO 13320	10	μm
Toplu sıxlıq	DIN IEC 60413/204	1.83	q/sm3³
Açıq məsaməlilik	DIN66133	10	%
Orta məsamə ölçüsü	DIN66133	1.8	μm
Keçiricilik	DIN 51935	0.06	sm²/s
Rokvell sərtliyi HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Xüsusi elektrik müqaviməti	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bükülmə gücü	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Sıxılma gücü	DIN 51910	130	MPa
Yanq modulu	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termal genişlənmə (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
İstilik keçiriciliyi (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Xüsusilə yüksək səmərəli günəş batareyası istehsalı üçün hazırlanmışdır və G12 böyük ölçülü lövhə emalını dəstəkləyir. Optimallaşdırılmış daşıyıcı dizaynı məhsuldarlığı əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yüksək məhsuldarlıq nisbətlərinə və daha aşağı istehsal xərclərinə imkan verir.

Məhsul	Növü	Nömrə lövhəsi daşıyıcısı
PEVCD Qrefit qayığı - 156 seriyası	156-13 qrefit qayığı	144
	156-19 qrefit qayığı	216
	156-21 qrefit qayığı	240
	156-23 qrafit qayığı	308
PEVCD Qrefit qayığı - 125 seriyası	125-15 qrefit qayığı	196
	125-19 qrefit qayığı	252
	125-21 grphite qayığı	280