Графітавы латок для загрузкі PECVD

PECVD Загрузны латок для нанясення графіту Латок для нанясення графіту Выява

Кароткае апісанне:

Загрузны латок PECVD ад VET Energy прызначаны для забеспячэння надзейнай і раўнамернай падтрымкі пласцін падчас нанясення, паляпшаючы кансістэнцыю і якасць працэсу нанясення. Дзякуючы выдатнай цеплаўстойлівасці, графітавы латок дапамагае падтрымліваць кантраляванае асяроддзе ўнутры камер PECVD, зніжаючы рызыку забруджвання і забяспечваючы высокую эфектыўнасць працэсу.

Дашліце нам ліст Спампаваць у фармаце PDF

Падрабязнасці прадукту

Тэгі прадукту

Загрузны латок VET Energy PECVD — гэта прэцызійны носьбіт, прызначаны для працэсу PECVD (плазменна-ўзмоцненае хімічнае асаджэнне з паравой фазы). Гэты высакаякасны графітавы латок для асаджэння выраблены з графіту высокай чысціні і шчыльнасці. Ён мае выдатную ўстойлівасць да высокіх тэмператур, каразійную стойкасць, стабільнасць памераў і іншыя характарыстыкі. Ён можа забяспечыць стабільную платформу-носьбіт для працэсу PECVD і гарантаваць аднастайнасць і плоскасць асаджэння плёнкі.

Загрузныя латкі VET Energy PECVD шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніковай, фотаэлектрычнай, святлодыёднай і іншых галінах. Напрыклад:

▪ Паўправадніковыя матэрыялы: працэс PECVD для паўправадніковых матэрыялаў, такіх як крэмніевыя пласціны і эпітаксіяльныя пласціны.

▪ Фотаэлектрыка: працэс PECVD для атрымання тонкіх плёнак сонечных элементаў.

▪ Святлодыёд: працэс PECVD для святлодыёдных чыпаў.

Перавагі прадукту

▪Паляпшэнне якасці фільма:Забяспечвае раўнамернае нанясенне плёнкі і паляпшае яе якасць.

▪Падоўжыць тэрмін службы абсталявання:Выдатная каразійная ўстойлівасць, падаўжае тэрмін службы абсталявання PECVD.

▪Знізіць выдаткі на вытворчасць:Высокаякасныя графітавыя латкі могуць знізіць узровень браку і знізіць вытворчыя выдаткі.

Графітавы матэрыял ад SGL:

Тыповы параметр: R6510
Індэкс	Стандарт выпрабаванняў	Значэнне	Адзінка
Сярэдні памер зерня	ІСО 13320	10	мкм
Насыпная шчыльнасць	DIN IEC 60413/204	1,83	г/см³
Адкрытая парознасць	DIN66133	10	%
Сярэдні памер пор	DIN66133	1.8	мкм
Пранікальнасць	ДЫН 51935	0,06	см²/с
Цвёрдасць па Роквелу HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Удзельнае электрычнае супраціўленне	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Трываласць на згіб	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Трываласць на сціск	ДЫН 51910	130	МПа
Модуль Юнга	ДЫН 51915	11,5×10³	МПа
Цеплавое пашырэнне (20-200℃)	ДЫН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Цеплаправоднасць (20℃)	ДЫН 51908	105	Wm^-1K^-1

Ён спецыяльна распрацаваны для вытворчасці высокаэфектыўных сонечных батарэй і падтрымлівае апрацоўку вялікіх пласцін G12. Аптымізаваная канструкцыя носьбіта значна павялічвае прапускную здольнасць, што дазваляе павялічыць выхад і знізіць вытворчыя выдаткі.

Пункт	Тып	Нумар носьбіта пласцін
PEVCD Grephite лодка - серыя 156	156-13 Грэфітавая лодка	144
	156-19 Грэфітавая лодка	216
	156-21 лодка з графіту	240
	Графітавая лодка 156-23	308
PEVCD Grephite лодка - серыя 125	125-15 Грэфітавая лодка	196
	125-19 Грэфітавая лодка	252
	Графітавая лодка 125-21	280