Δίσκος φόρτωσης PECVD με εναπόθεση από γραφίτη

PECVD Δίσκος φόρτωσης εναπόθεσης Δίσκος γραφίτη Προτεινόμενη εικόνα

Σύντομη Περιγραφή:

Ο δίσκος φόρτωσης PECVD της VET Energy έχει σχεδιαστεί για να παρέχει ασφαλή και ομοιόμορφη στήριξη για τα πλακίδια κατά την εναπόθεση, βελτιώνοντας τη συνέπεια και την ποιότητα της διαδικασίας εναπόθεσης. Με την εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, ο δίσκος γραφίτη βοηθά στη διατήρηση ενός ελεγχόμενου περιβάλλοντος μέσα στους θαλάμους PECVD, μειώνοντας τον κίνδυνο μόλυνσης και εξασφαλίζοντας υψηλή απόδοση της διαδικασίας.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Ο δίσκος φόρτωσης VET Energy PECVD είναι ένας φορέας ακριβείας σχεδιασμένος για τη διαδικασία PECVD (χημική εναπόθεση ατμών με ενισχυμένο πλάσμα). Αυτός ο δίσκος γραφίτη υψηλής ποιότητας εναπόθεσης είναι κατασκευασμένος από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας και πυκνότητας. Έχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη διάβρωση, σταθερότητα διαστάσεων και άλλα χαρακτηριστικά. Μπορεί να παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα φορέα για τη διαδικασία PECVD και να διασφαλίζει την ομοιομορφία και την επιπεδότητα της εναπόθεσης φιλμ.

Οι δίσκοι φόρτωσης VET Energy PECVD χρησιμοποιούνται ευρέως σε ημιαγωγούς, φωτοβολταϊκά, LED και άλλους τομείς. Για παράδειγμα:

▪ Ημιαγωγός: Διαδικασία PECVD για ημιαγωγικά υλικά όπως πλακίδια πυριτίου και επιταξιακά πλακίδια.

▪ Φωτοβολταϊκά: Διαδικασία PECVD για λεπτές μεμβράνες ηλιακών κυψελών.

▪ LED: Διαδικασία PECVD για τσιπ LED.

Πλεονεκτήματα προϊόντος

▪Βελτίωση της ποιότητας της ταινίας:Εξασφαλίστε ομοιόμορφη εναπόθεση φιλμ και βελτιώστε την ποιότητα του φιλμ.

▪Επέκταση της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού:Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού PECVD.

▪Μειώστε το κόστος παραγωγής:Οι δίσκοι γραφίτη υψηλής ποιότητας μπορούν να μειώσουν το ποσοστό απόρριψης και το κόστος παραγωγής.

Υλικό γραφίτη από την SGL:

Τυπική παράμετρος: R6510
Δείκτης	Πρότυπο δοκιμής	Αξία	Μονάδα
Μέσο μέγεθος κόκκων	ISO 13320	10	μm
Φαινόμενη πυκνότητα	DIN IEC 60413/204	1,83	γρ./εκ.³
Ανοιχτό πορώδες	DIN66133	10	%
Μεσαίο μέγεθος πόρων	DIN66133	1.8	μm
Διαπερατό	DIN 51935	0,06	cm²/s
Σκληρότητα Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ειδική ηλεκτρική αντίσταση	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Αντοχή σε κάμψη	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Αντοχή σε θλίψη	DIN 51910	130	MPa
Μέτρο Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Θερμική διαστολή (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Θερμική αγωγιμότητα (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Έχει σχεδιαστεί ειδικά για την κατασκευή ηλιακών κυψελών υψηλής απόδοσης, υποστηρίζοντας την επεξεργασία πλακιδίων μεγάλου μεγέθους G12. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός φορέα αυξάνει σημαντικά την απόδοση, επιτρέποντας υψηλότερα ποσοστά απόδοσης και χαμηλότερο κόστος παραγωγής.

Είδος	Τύπος	Αριθμός φορέα γκοφρέτας
Σκάφος PEVCD Grephite - Η σειρά 156	156-13 βάρκα από γρεφίτη	144
	156-19 βάρκα από γρεφίτη	216
	156-21 βάρκα από γρεφίτη	240
	156-23 βάρκα από γραφίτη	308
Σκάφος PEVCD Grephite - Η σειρά 125	125-15 βάρκα από γρεφίτη	196
	125-19 βάρκα από γρεφίτη	252
	125-21 γραφιτό σκάφος	280