SiC-kattega grafiidist poolkuu osaon pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti SiC epitaksiaalseadmetes, kasutatav võtmekomponent. Meie patenteeritud tehnoloogia abil on poolkuukujuline detail äärmiselt kõrge puhtusastmega, hea katte ühtluse ja suurepärase kasutuseaga, samuti kõrge keemilise vastupidavuse ja termilise stabiilsusega.
Alusmaterjal: kõrge puhtusastmega grafiit
Puhtuse nõuded:süsinikusisaldus ≥99,99%, tuhasisaldus ≤5 ppm, et tagada epitaksiaalkihi saastumise vältimiseks lisandite sadestumine kõrgetel temperatuuridel.
Toimivuse eelised:
Kõrge soojusjuhtivus:Soojusjuhtivus toatemperatuuril ulatub 150 W/(m·K), mis on lähedane vase tasemele ja suudab soojust kiiresti üle kanda.
Madal paisumiskoefitsient:5×10-6/℃ (25–1000℃), mis vastab ränikarbiidi aluspinnale (4,2 × 10-6/℃), vähendades termilise pinge poolt põhjustatud katte pragunemist.
Töötlemise täpsus:CNC-töötluse abil saavutatakse kambri tihendamise tagamiseks mõõtmete tolerants ±0,05 mm.
CVD SiC ja CVD TaC diferentseeritud rakendused
| Kate | Protsess | Võrdlus | Tüüpiline rakendus |
| CVD-SiC | Temperatuur: 1000–1200 ℃ Rõhk: 10–100 torri | Kõvadus HV2500, paksus 50–100 μm, suurepärane oksüdatsioonikindlus (stabiilne alla 1600 °C) | Universaalsed epitaksiaalahjud, mis sobivad tavapärastele atmosfääridele, näiteks vesinik ja silaan |
| CVD-TaC | Temperatuur: 1600–1800 ℃ Rõhk: 1–10 torri | Kõvadus HV3000, paksus 20–50 μm, äärmiselt korrosioonikindel (talub söövitavaid gaase nagu HCl, NH₃ jne) | Väga söövitavad keskkonnad (näiteks GaN-epitaksia ja söövitusseadmed) või spetsiaalsed protsessid, mis nõuavad ülikõrget temperatuuri kuni 2600 °C |
Kvaliteedikontroll
Katte paksus: laserpaksuse mõõtur (täpsus ±1 µm) või SEM-ristlõikeanalüüs.
Nakketugevus: kriimustuskatse (kriitiline koormus > 50 N) või ultrahelikatse (heli kiirus > 5000 m/s).
Korrosioonikindlus: massikao määr (<0,1 mg/cm²・h) testitud HCl atmosfääris (5 vol%, 1600 ℃).
VET Energy on professionaalne tootja, mis keskendub tipptasemel täiustatud materjalide, näiteks grafiidi, ränikarbiidi ja kvartsi, teadus- ja arendustegevusele ning tootmisele, aga ka materjalide töötlemisele nagu SiC-kate, TaC-kate, klaasjas süsinikkate, pürolüütiline süsinikkate jne. Tooteid kasutatakse laialdaselt fotogalvaanikas, pooljuhtides, uue energia tootmises, metallurgias jne.
Meie tehniline meeskond pärineb tipptasemel kodumaistest teadusasutustest ja saab pakkuda teile professionaalsemaid materjalilahendusi.
VET Energy eelised hõlmavad järgmist:
• Oma tehas ja professionaalne labor;
• Tööstusharu parim puhtusaste ja kvaliteet;
• Konkurentsivõimeline hind ja kiire tarneaeg;
• Mitmed tööstuspartnerlused üle maailma;
Ootame teid meie tehast ja laborit igal ajal külastama!
