سینی گرافیتی رسوب گذاری شده با PECVD

سینی بارگذاری PECVD شرکت VET Energy یک حامل دقیق است که برای فرآیند PECVD (رسوب بخار شیمیایی با پلاسما) طراحی شده است. این سینی گرافیت رسوبی با کیفیت بالا از مواد گرافیتی با خلوص و چگالی بالا ساخته شده است. این ماده دارای مقاومت عالی در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، پایداری ابعادی و سایر مشخصات است. این سینی می‌تواند یک بستر حامل پایدار برای فرآیند PECVD فراهم کند و یکنواختی و صافی رسوب فیلم را تضمین کند.

سینی‌های بارگیری PECVD شرکت VET Energy به طور گسترده در نیمه‌هادی‌ها، فتوولتائیک، LED و سایر زمینه‌ها استفاده می‌شوند. به عنوان مثال:

▪ نیمه‌هادی: فرآیند PECVD برای مواد نیمه‌هادی مانند ویفرهای سیلیکونی و ویفرهای اپیتاکسیال.

▪ فتوولتائیک: فرآیند PECVD برای لایه‌های نازک سلول خورشیدی.

▪ LED: فرآیند PECVD برای تراشه‌های LED.

مزایای محصول

▪بهبود کیفیت فیلم:اطمینان از رسوب یکنواخت فیلم و بهبود کیفیت فیلم.

▪افزایش طول عمر تجهیزات:مقاومت عالی در برابر خوردگی، عمر مفید تجهیزات PECVD را افزایش می‌دهد.

▪کاهش هزینه‌های تولید:سینی‌های گرافیتی با کیفیت بالا می‌توانند میزان ضایعات و هزینه‌های تولید را کاهش دهند.