מגש טעינה של VET Energy PECVD הוא נשא מדויק המיועד לתהליך PECVD (שיקוע כימי אדים משופר בפלזמה). מגש גרפיט איכותי זה עשוי מחומר גרפיט בעל טוהר גבוה וצפיפות גבוהה. יש לו עמידות מצוינת בטמפרטורות גבוהות, עמידות בפני קורוזיה, יציבות ממדית ומאפיינים נוספים. הוא יכול לספק פלטפורמת נשא יציבה לתהליך PECVD ולהבטיח אחידות ושטיחות של שיקוע הסרט.
מגשי טעינה של VET Energy PECVD נמצאים בשימוש נרחב בתחומי המוליכים למחצה, פוטו-וולטאית, LED ותחומים אחרים. לדוגמה:
▪ מוליכים למחצה: תהליך PECVD עבור חומרי מוליכים למחצה כגון פרוסות סיליקון ופלים אפיטקסיאליים.
▪ פוטו-וולטאי: תהליך PECVD לשכבות דקות של תאים סולאריים.
▪ LED: תהליך PECVD עבור שבבי LED.
יתרונות המוצר
▪שיפור איכות הסרט:להבטיח שקיעת סרט אחידה ולשפר את איכות הסרט.
▪הארכת חיי הציוד:עמידות מעולה בפני קורוזיה, מאריכת את חיי השירות של ציוד PECVD.
▪הפחתת עלויות ייצור:מגשי גרפיט איכותיים יכולים להפחית את קצב הגרוטאות ולהפחית את עלויות הייצור.
חומר גרפיט מבית SGL:
| פרמטר טיפוסי: R6510 | |||
| מַדָד | תקן בדיקה | עֵרֶך | יְחִידָה |
| גודל גרגר ממוצע | תקן ISO 13320 | 10 | מיקרומטר |
| צפיפות בתפזורת | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | גרם/סמ"ר3 |
| נקבוביות פתוחה | DIN66133 | 10 | % |
| גודל נקבוביות בינוני | DIN66133 | 1.8 | מיקרומטר |
| חֲדִירוּת | דין 51935 | 0.06 | סמ"ר/שנייה |
| קשיות רוקוול HR5/100 | דין IEC60413/303 | 90 | HR |
| התנגדות חשמלית ספציפית | DIN IEC 60413/402 | 13 | מיקרואוהם |
| חוזק כיפוף | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| חוזק דחיסה | דין 51910 | 130 | MPa |
| מודול יאנג | דין 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| התפשטות תרמית (20-200 ℃) | דין 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| מוליכות תרמית (20℃) | דין 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
הוא תוכנן במיוחד לייצור תאים סולאריים ביעילות גבוהה, ותומך בעיבוד פרוסות סולאריות גדולות מסוג G12. תכנון אופטימלי של נשא מגדיל משמעותית את התפוקה, ומאפשר שיעורי תפוקה גבוהים יותר ועלויות ייצור נמוכות יותר.
| פָּרִיט | סוּג | מספר ופלים נושאי |
| סירת גרפיט PEVCD - סדרת 156 | סירת גרפיט 156-13 | 144 |
| סירת גרפיט 156-19 | 216 | |
| סירת גרפיט 156-21 | 240 | |
| סירת גרפיט 156-23 | 308 | |
| סירת גרפיט PEVCD - סדרת 125 | סירת גרפיט 125-15 | 196 |
| סירת גרפיט 125-19 | 252 | |
| סירת גרפיט 125-21 | 280 |
