Parçeya Nîvmoonê ya Grafîtê ya Bi SiC-yê Veşartîpêkhateyeke sereke ye ku di pêvajoyên çêkirina nîvconductoran de tê bikaranîn, bi taybetî ji bo alavên epitaksiyal ên SiC. Em teknolojiya xwe ya patentkirî bikar tînin da ku beşa nîvheyvê bi paqijiyeke pir bilind, yekrengiya pêçandinê ya baş û temenê xizmetê yê hêja, û her weha berxwedana kîmyewî ya bilind û taybetmendiyên aramiya germî çêbikin.
Materyalê bingehîn: grafîta paqijiya bilind
Pêdiviyên paqijiyê:rêjeya karbonê ≥99.99%, rêjeya xweliyê ≤5ppm, da ku di germahiyên bilind de ti qirêjî çênebin da ku qata epitaksiyal qirêj bikin.
Avantajên performansê:
Germahiya bilind a guhêrbar:Germahiya germî di germahiya odeyê de digihîje 150W/(m・K), ku nêzîkî asta sifir e û dikare germê zû veguhezîne.
Koefîsyenta berfirehbûna nizm:5×10-6/℃ (25-1000℃), lihevhatî bi substrata karbîda silîkonê (4.2×10-6/℃), şikestina pêçanê ya ji ber stresa germî kêm dike.
Rastbûna pêvajoyê:Ji bo misogerkirina mohrkirina odeyê, bi makîneya CNC toleransa boyûtî ya ±0.05 mm tê bidestxistin.
Serlêdanên cihêreng ên CVD SiC û CVD TaC
| Rû | Doz | Mûqayese | Serlêdana tîpîk |
| CVD-SiC | Germahî: 1000-1200℃Zext: 10-100 Torr | Hişkbûn HV2500, qalindahî 50-100um, berxwedana oksîdasyonê ya hêja (li jêr 1600℃ stabîl) | Firneyên epitaksiyal ên gerdûnî, ji bo atmosferên kevneşopî yên wekî hîdrojen û sîlan guncaw in |
| CVD-TaC | Germahî: 1600-1800℃Zext: 1-10 Torr | Hişkbûn HV3000, qalindahî 20-50um, pir li hember korozyonê berxwedêr e (dikare li hember gazên korozîf ên wekî HCl, NH₃, hwd. bisekine) | Jîngehên pir korozîf (wek alavên epitaksî û gravurkirina GaN), an pêvajoyên taybetî yên ku germahiyên pir bilind ên 2600°C hewce dikin |
Kontrolkirina kalîteyê
Qalindahiya pêçanê: pîvana qalindahiya lazerê (rastbûn ±1um) an analîza xaçerêya SEM.
Hêza girêdanê: ceribandina xêzkirinê (barê krîtîk > 50N) an ceribandina ultrasonîk (leza deng > 5000m/s).
Berxwedana li hember korozyonê: rêjeya windabûna giraniyê (<0.1 mg/cm²・h) di atmosfera HCl de hatiye ceribandin (5 vol%, 1600℃).
VET Energy hilberînerek profesyonel e ku balê dikişîne ser R&D û hilberîna materyalên pêşkeftî yên asta bilind ên wekî grafît, karbîda silîkonê, kuartz, û her weha dermankirina materyalan wekî pêçandina SiC, pêçandina TaC, pêçandina karbona şûşeyî, pêçandina karbona pîrolîtîk, û hwd. Berhem bi berfirehî di fotovoltaîk, nîvconductor, enerjiya nû, metalurjiyê û hwd. de têne bikar anîn.
Tîma me ya teknîkî ji saziyên lêkolînê yên navxweyî yên jorîn tê, dikare çareseriyên materyalên profesyoneltir ji bo we peyda bike.
Avantajên VET Energy ev in:
• Kargeha xwe û laboratuwara profesyonel;
• Ast û qalîteya paqijiyê ya pêşeng a pîşesaziyê;
• Bihayê reqabetê û dema radestkirina bilez;
• Hevkariyên gelek pîşesaziyê li seranserê cîhanê;
Em we pêşwazî dikin ku hûn di her kêliyê de serdana kargeh û laboratûara me bikin!
-
Pêşkêşkerên Çînê ji bo Rêbernameya TaC-ya Xwerûkirî ya Bi Rûpûş...
-
Pêçandina Karbîda Sîlîkonê ya CVD MOCVD Susceptor
-
Tantalum Carbide Coating Wafer Susceptor
-
Çêkera pêçandina TaC ya karbîda tantalumê ya bi kalîte bilind ...
-
Hilgirên Bingeha Grafîtê yên Bi SiC-yê Veşartî
-
Qeyika Wafer a Silicon Carbide ya ji nû ve krîstalîzekirî bi ...









