PECVD iekraušanas paplātes nogulsnēšanās grafīta paplāte

Īss apraksts:

VET Energy PECVD iekraušanas paplāte ir izstrādāta, lai nodrošinātu drošu un vienmērīgu vafeļu atbalstu nogulsnēšanas laikā, uzlabojot nogulsnēšanas procesa konsekvenci un kvalitāti. Pateicoties lieliskajai karstumizturībai, grafīta paplāte palīdz uzturēt kontrolētu vidi PECVD kamerās, samazinot piesārņojuma risku un nodrošinot augstu procesa efektivitāti.

Sūtiet mums e-pastu Lejupielādēt kā PDF

Produkta informācija

Produkta tagi

VET Energy PECVD iekraušanas paplāte ir precīzs nesējs, kas paredzēts PECVD (plazmas pastiprinātas ķīmiskās tvaiku uzklāšanas) procesam. Šī augstas kvalitātes uzklāšanas grafīta paplāte ir izgatavota no augstas tīrības pakāpes, augsta blīvuma grafīta materiāla. Tai ir lieliska izturība pret augstu temperatūru, izturība pret koroziju, izmēru stabilitāte un citas īpašības. Tā var nodrošināt stabilu nesēja platformu PECVD procesam un nodrošināt plēves uzklāšanas vienmērīgumu un līdzenumu.

VET Energy PECVD iekraušanas paplātes tiek plaši izmantotas pusvadītāju, fotoelektrisko, LED un citās jomās. Piemēram:

▪ Pusvadītājs: PECVD process pusvadītāju materiāliem, piemēram, silīcija plāksnēm un epitaksiālajām plāksnēm.

▪ Fotoelektriskā enerģija: PECVD process saules bateriju plānajām plēvēm.

▪ LED: PECVD process LED mikroshēmām.

Produkta priekšrocības

▪Uzlabojiet filmas kvalitāti:Nodrošiniet vienmērīgu plēves uzklāšanu un uzlabojiet plēves kvalitāti.

▪Pagarināt aprīkojuma kalpošanas laiku:Lieliska izturība pret koroziju, pagarina PECVD iekārtu kalpošanas laiku.

▪Samaziniet ražošanas izmaksas:Augstas kvalitātes grafīta paplātes var samazināt brāķu daudzumu un samazināt ražošanas izmaksas.

Grafīta materiāls no SGL:

Tipisks parametrs: R6510
Indekss	Testa standarts	Vērtība	Vienība
Vidējais graudu izmērs	ISO 13320	10	μm
Tilpuma blīvums	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Atvērta porainība	DIN66133	10	%
Vidējs poru izmērs	DIN66133	1.8	μm
Caurlaidība	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rokvela cietība HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Īpatnējā elektriskā pretestība	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Lieces izturība	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Spiedes izturība	DIN 51910	130	MPa
Janga modulis	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Termiskā izplešanās (20–200 ℃)	DIN 51909	4,2x10^-6	K^-1
Siltumvadītspēja (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tas ir īpaši izstrādāts augstas efektivitātes saules bateriju ražošanai, atbalstot G12 liela izmēra vafeļu apstrādi. Optimizēta nesēja konstrukcija ievērojami palielina caurlaidspēju, nodrošinot augstāku ražību un zemākas ražošanas izmaksas.

Prece	Tips	Numura vafeļu nesējs
PEVCD Grephite laiva - 156. sērija	156-13 grefīta laiva	144
	156-19 grefīta laiva	216
	156-21 grefīta laiva	240
	156-23 grafīta laiva	308
PEVCD Grephite laiva - 125. sērija	125-15 grefīta laiva	196
	125-19 grefīta laiva	252
	125-21 grafīta laiva	280