Lovia Fametrahana Grafita ho an'ny PECVD

Sary nasongadina momba ny lovia fampidirana PECVD, lovia grafita napetraka

Famaritana fohy:

Ny Tray Famatsiana PECVD an'ny VET Energy dia natao hanomezana fanohanana azo antoka sy mitovy ho an'ny wafers mandritra ny fametrahana, manatsara ny tsy fiovaovana sy ny kalitaon'ny dingana fametrahana. Noho ny fanoherany ny hafanana tsara dia tsara, ny Tray Graphite dia manampy amin'ny fitazonana tontolo voafehy ao anatin'ny efitrano PECVD, mampihena ny mety hisian'ny loto ary miantoka ny fahombiazan'ny dingana avo lenta.

Alefaso mailaka aminay Sintomy amin'ny endrika PDF

Antsipirian'ny vokatra

Marika vokatra

Ny fitoeran-javatra VET Energy PECVD dia fitoeran-javatra misy fitaovana fitaterana mazava tsara natao ho an'ny fizotran'ny PECVD (plasma enhanced chemical evaporation deposition). Ity fitoeran-javatra grafita avo lenta ity dia vita amin'ny fitaovana grafita madio sy matevina. Manana fanoherana tsara amin'ny mari-pana avo lenta, fanoherana ny harafesina, fahamarinan-toerana amin'ny refy ary toetra hafa. Afaka manome sehatra fitoeran-javatra marin-toerana ho an'ny fizotran'ny PECVD izy io ary miantoka ny fitoviana sy ny fisaka amin'ny fitoeran-javatra sarimihetsika.

Ny fitoeran-entana VET Energy PECVD dia ampiasaina betsaka amin'ny sehatra semiconductor, photovoltaic, LED ary sehatra hafa. Ohatra:

▪ Semiconductor: Dingana PECVD ho an'ny fitaovana semiconductor toy ny wafer silikônina sy wafer epitaxial.

▪ Fotovoltaika: Dingana PECVD ho an'ny sarimihetsika manify amin'ny sela masoandro.

▪ LED: Dingana PECVD ho an'ny puce LED.

Tombony azo avy amin'ny vokatra

▪Hatsarao ny kalitaon'ny sarimihetsika:Ataovy izay hahazoana antoka fa mitovy ny fametrahana ny sarimihetsika ary hatsarao ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪Manalava ny androm-piainan'ny fitaovana:Fanoherana harafesina tsara dia tsara, manalava ny androm-piainan'ny fitaovana PECVD.

▪Ahena ny fandaniana amin'ny famokarana:Afaka mampihena ny tahan'ny fako sy ny vidin'ny famokarana ny lovia grafita avo lenta.

Akora grafita avy amin'ny SGL:

Paramètre mahazatra: R6510
Fanondroana	Fenitra fitsapana	sarobidy	Singa
Haben'ny voam-bary antonony	ISO 13320	10	μm
Hakitroky ny ambongadiny	DIN IEC 60413/204	1.83	g/sm³
Porosité misokatra	DIN66133	10	%
Haben'ny mason-koditra antonony	DIN66133	1.8	μm
Fahaiza-miditra	DIN 51935	0.06	sm²/s
Hamafin'ny Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90 taona	HR
Resistivity elektrika manokana	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Tanjaky ny fihenjanana	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tanjaky ny famoretana	DIN 51910	130	MPa
Modulus an'i Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Fitomboana mafana (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Fitondran-tena mafana (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Natao manokana ho an'ny famokarana sela masoandro mahomby avo lenta izy io, manohana ny fanodinana wafer lehibe G12. Ny endrika mpitatitra nohatsaraina dia mampitombo be ny vokatra, ka ahafahana mahazo vokatra ambony kokoa sy mampihena ny vidin'ny famokarana.

zavatra	Karazana	Mpitatitra wafer isa
Sambo PEVCD Grephite - Andiany 156	Sambo grefita 156-13	144
	Sambo grefita 156-19	216
	Sambo grefita 156-21	240
	Sambo grafita 156-23	308
Sambo PEVCD Grephite - Ny andiany 125	Sambo grefita 125-15	196
	Sambo grefita 125-19	252
	Sambo grifit 125-21	280