Huānga Whakawera AlN Aluminium AlN Konumohe Whakawera Uku

Huānga Whakawera AlN Aluminium AlN Konumohe Whakawera Uku
I roto i te hanga semiconductor, me tukatuka nga wafers i roto i nga momo tukanga, penei i te whakahekenga kiriata angiangi, te tarai, me etahi atu I roto i enei hononga, me whakamahana nga angiangi ki tetahi paanga, a he tino whakaritenga mo te pāmahana, no te mea he tino nui te paanga o te taurite o te pāmahana ki te hua o te hua, me nga waahanga whakawera he mea nui.

He whakamahana ukuka tono tika ki te ruuma tukanga me te hono tika ki te angiangi. E kore ratou e kawe anake i te angiangi, engari ka whakarite hoki kia whiwhi te angiangi i te pāmahana tukanga pūmau me te rite. Ko enei nga waahanga matua i roto i nga taputapu whakaheke kiriata angiangi semiconductor!

Kei roto i te whakamahana uku he turanga uku e tautoko ana i te angiangi me tetahi tinana tautoko porotakaroa kei te taha o muri e tautoko ana. I tua atu i te huānga ātete (paparanga whakamahana) mo te whakamahana, kei reira ano nga hiko irirangi (paparanga RF) i roto, i runga ranei i te mata o te turanga uku. Hei whakatutuki i te whakamahana tere me te whakamatao, me angiangi te matotoru o te turanga uku, engari he kikokore rawa ka whakaitihia te rigidity.

Ko te tautoko o te whakamahana uku he mea hanga mai i nga rawa uku me te whakarea roha waiariki rite ki tera o te turanga. Ka tangohia e te whakamahana he hanganga ahurei o te taha o raro o te tuara hei tiaki i nga pito me nga waea mai i nga paanga o te plasma me nga hau matū pirau. Ko te tautoko he whakaurunga hau whakawhiti wera me te putorino o waho hei whakarite kia rite te pāmahana o te whakamahana. Ko te turanga me te tautoko kua herea matū ki te paparanga hononga.

Ka taea te hanga i te whakamahana o te karaehe mai i te konumohe nitride (AlN), te nitride silicon (Si3N4), me te alumina (Al2O3). I roto i a raatau, ko AlN te mea pai rawa atu mo nga whakamahana raima. Ka whakatauritea ki etahi atu rawa, ko te AlN ceramic a VET Energy nga ahuatanga e whai ake nei:
(1) He pai te kawe werawera;
(2) Whakatauritehia te whakareatanga whakareatanga waiariki ki nga rauemi silicon semiconductor;
(3) He pai ake nga taonga miihini, he pai te kakahu o te kakahu, me nga taonga miihini matawhānui he pai ake i te waikura beryllium me te rite ki te waikura konumohe;
(4) He pai nga waahanga hiko matawhānui, he pai te whakamaarama hiko me te iti o te mate dielectric;
(5) Kaore he paitini me te taiao.