PECVD фиока за полнење, таложење, графитна фиока

Краток опис:

Послужавникот за полнење PECVD на VET Energy е дизајниран да обезбеди безбедна и рамномерна потпора за плочките за време на депонирањето, подобрувајќи ја конзистентноста и квалитетот на процесот на депонирање. Со својата одлична отпорност на топлина, графитниот послужавник помага во одржувањето на контролирана средина во коморите PECVD, намалувајќи го ризикот од контаминација и обезбедувајќи висока ефикасност на процесот.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Послужавникот за полнење VET Energy PECVD е прецизен носач дизајниран за процес на PECVD (плазма подобрено хемиско таложење со пареа). Овој висококвалитетен графитен послужавник за таложење е направен од графитен материјал со висока чистота и висока густина. Има одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија, димензионална стабилност и други карактеристики. Може да обезбеди стабилна платформа за носач за процесот PECVD и да обезбеди униформност и рамномерност на таложењето на филмот.

Полнечките послужавници VET Energy PECVD се широко користени во полупроводнички, фотоволтаични, LED и други области. На пример:

▪ Полупроводник: PECVD процес за полупроводнички материјали како што се силиконски плочки и епитаксијални плочки.

▪ Фотоволтаичен: PECVD процес за тенки филмови од сончеви ќелии.

▪ LED: PECVD процес за LED чипови.

Предности на производот

▪Подобрете го квалитетот на филмот:Обезбедете рамномерно таложење на филмот и подобрете го квалитетот на филмот.

▪Продолжете го животниот век на опремата:Одлична отпорност на корозија, го продолжува работниот век на PECVD опремата.

▪Намалете ги трошоците за производство:Висококвалитетните графитни послужавници можат да ја намалат стапката на отпад и да ги намалат трошоците за производство.

Графитен материјал од SGL:

Типичен параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Единица
Просечна големина на зрно	ISO 13320	10	μm
Густина на волуменот	ДИН IEC 60413/204	1,83	г/см³
Отворена порозност	DIN66133	10	%
Средна големина на порите	DIN66133	1,8	μm
Пропустливост	ДИН 51935	0,06	см²/с
Тврдост на Роквел HR5/100	ДИН IEC60413/303	90	HR
Специфичен електричен отпор	ДИН IEC 60413/402	13	μΩm
Јачина на свиткување	ДИН IEC 60413/501	60	МПа
Компресивна цврстина	ДИН 51910	130	МПа
Јангов модул	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термичка експанзија (20-200℃)	ДИН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлинска спроводливост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Специјално е дизајниран за производство на високоефикасни соларни ќелии, поддржувајќи обработка на големи плочки G12. Оптимизираниот дизајн на носачот значително го зголемува протокот, овозможувајќи повисоки стапки на принос и пониски трошоци за производство.

Ставка	Тип	Број на носач на плочи
PEVCD Грефитен чамец - Серијата 156	156-13 грефитен чамец	144
	156-19 грефитен чамец	216
	156-21 грефитен чамец	240
	156-23 графитен чамец	308
PEVCD Грефитен чамец - Серијата 125	125-15 грефитен чамец	196
	125-19 грефитен чамец	252
	125-21 графитен брод	280