PECVD Ачаалах Тавиур Графит Хадгалах Тавиур

PECVD Ачаалах Тавиур Графит Тунадасжуулах Тавиур Онцлох Зураг

Товч тайлбар:

VET Energy компанийн PECVD ачаалах тавиур нь вафлигуудыг хадах явцад найдвартай, жигд тулгууртай байлгах, хадах процессын тогтвортой байдал, чанарыг сайжруулах зорилготой юм. Маш сайн халуунд тэсвэртэй тул Графит тавиур нь PECVD камер доторх хяналттай орчныг хадгалахад тусалдаг бөгөөд бохирдлын эрсдэлийг бууруулж, процессын өндөр үр ашгийг баталгаажуулдаг.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

VET Energy PECVD ачааны тавиур нь PECVD (плазмын сайжруулсан химийн ууршуулах) процесст зориулагдсан нарийн зөөгч юм. Энэхүү өндөр чанартай тунадасжуулах бал чулуун тавиур нь өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай бал чулуун материалаар хийгдсэн. Энэ нь маш сайн өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээст тогтвортой байдал болон бусад шинж чанартай. Энэ нь PECVD процесст тогтвортой зөөгч тавцан болж, хальсан тунадасны жигд байдал, тэгш байдлыг хангаж чадна.

VET Energy PECVD ачаалах тавиуруудыг хагас дамжуулагч, фотоэлектрик, LED болон бусад салбарт өргөн ашигладаг. Жишээлбэл:

▪ Хагас дамжуулагч: Цахиурын вафли болон эпитаксиаль вафли зэрэг хагас дамжуулагч материалын PECVD процесс.

▪ Фотоволтайк: Нарны зайны нимгэн хальсны PECVD процесс.

▪ LED: LED чипүүдэд зориулсан PECVD процесс.

Бүтээгдэхүүний давуу талууд

▪Киноны чанарыг сайжруулах:Киноны жигд наалтыг хангаж, киноны чанарыг сайжруулна.

▪Тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгах:Зэврэлтээс маш сайн хамгаалагдсан, PECVD тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.

▪Үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах:Өндөр чанартай бал чулуун тавиурууд нь хаягдлын хэмжээг бууруулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулж чадна.

SGL-ийн бал чулуун материал:

Ердийн параметр: R6510
Индекс	Туршилтын стандарт	Үнэ цэнэ	Нэгж
Үр тарианы дундаж хэмжээ	ISO 13320	10	мкм
Бөөн нягтрал	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Нээлттэй сүвэрхэг байдал	DIN66133	10	%
Дунд зэргийн нүх сүвний хэмжээ	DIN66133	1.8	мкм
Нэвчилт	DIN 51935	0.06	см²/с
Роквеллийн хатуулаг HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Цахилгаан эсэргүүцэл	DIN IEC 60413/402	13	μΩм
Гулзайлтын хүч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Шахалтын бат бэх	DIN 51910	130	МПа
Янгийн модуль	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Дулааны тэлэлт (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Дулаан дамжуулалт (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Энэ нь G12 том хэмжээтэй вафлийн боловсруулалтыг дэмждэг өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Оновчтой зөөгч загвар нь дамжуулах чадварыг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлж, ургацын хэмжээг нэмэгдүүлж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулдаг.

Зүйл	Төрөл	Дугаартай вафли зөөгч
PEVCD Грефит завь - 156 цуврал	156-13 грефит завь	144
	156-19 грефит завь	216
	156-21 грефит завь	240
	156-23 бал чулуун завь	308
PEVCD Грефит завь - 125 цуврал	125-15 грефит завь	196
	125-19 грефит завь	252
	125-21 грфит завь	280