PECVD लोडिंग ट्रे डिपॉझिशन ग्रेफाइट ट्रे

VET एनर्जी PECVD लोडिंग ट्रे ही PECVD (प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेली एक अचूक वाहक आहे. ही उच्च-गुणवत्तेची डिपॉझिशन ग्रेफाइट ट्रे उच्च-शुद्धता, उच्च-घनता ग्रेफाइट मटेरियलपासून बनलेली आहे. त्यात उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधकता, गंज प्रतिरोधकता, आयामी स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्ये आहेत. हे PECVD प्रक्रियेसाठी एक स्थिर वाहक प्लॅटफॉर्म प्रदान करू शकते आणि फिल्म डिपॉझिशनची एकरूपता आणि सपाटपणा सुनिश्चित करू शकते.

व्हीईटी एनर्जी पीईसीव्हीडी लोडिंग ट्रे सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टेइक, एलईडी आणि इतर क्षेत्रात मोठ्या प्रमाणात वापरल्या जातात. उदाहरणार्थ:

▪ सेमीकंडक्टर: सिलिकॉन वेफर्स आणि एपिटॅक्सियल वेफर्स सारख्या सेमीकंडक्टर पदार्थांसाठी PECVD प्रक्रिया.

▪ फोटोव्होल्टेइक: सौर पेशींच्या पातळ फिल्मसाठी PECVD प्रक्रिया.

▪ LED: LED चिप्ससाठी PECVD प्रक्रिया.

उत्पादनाचे फायदे

▪चित्रपटाची गुणवत्ता सुधारा:एकसमान फिल्म डिपॉझिशन सुनिश्चित करा आणि फिल्मची गुणवत्ता सुधारा.

▪उपकरणांचे आयुष्य वाढवा:उत्कृष्ट गंज प्रतिकार, PECVD उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवते.

▪उत्पादन खर्च कमी करा:उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रेफाइट ट्रे स्क्रॅप रेट कमी करू शकतात आणि उत्पादन खर्च कमी करू शकतात.