व्हीईटी एनर्जी पीईसीव्हीडी लोडिंग ट्रे हे पीईसीव्हीडी (प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले एक अचूक वाहक आहे. हा उच्च-गुणवत्तेचा डिपॉझिशन ग्रॅफाइट ट्रे उच्च-शुद्धता आणि उच्च-घनतेच्या ग्रॅफाइट मटेरियलपासून बनलेला आहे. यात उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, आकारमान स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्ये आहेत. हे पीईसीव्हीडी प्रक्रियेसाठी एक स्थिर वाहक प्लॅटफॉर्म प्रदान करू शकते आणि फिल्म डिपॉझिशनची एकसमानता व सपाटपणा सुनिश्चित करते.
व्हीईटी एनर्जी पीईसीव्हीडी लोडिंग ट्रे हे सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टेइक, एलईडी आणि इतर क्षेत्रांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जातात. उदाहरणार्थ:
▪ सेमीकंडक्टर: सिलिकॉन वेफर्स आणि एपिटॅक्सियल वेफर्स सारख्या सेमीकंडक्टर सामग्रीसाठी PECVD प्रक्रिया.
▪ फोटोव्होल्टेइक: सौर सेलच्या पातळ थरांसाठी PECVD प्रक्रिया.
▪ एलईडी: एलईडी चिप्ससाठी पीईसीव्हीडी प्रक्रिया.
उत्पादनाचे फायदे
▪फिल्मची गुणवत्ता सुधारा:फिल्मचे एकसमान निक्षेपण सुनिश्चित करा आणि फिल्मची गुणवत्ता सुधारा.
▪उपकरणांचे आयुष्य वाढवा:उत्कृष्ट गंजरोधक क्षमता, पीईसीव्हीडी उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवते.
▪उत्पादन खर्च कमी करा:दर्जेदार ग्राफाइट ट्रेमुळे टाकाऊ मालाचे प्रमाण कमी होते आणि उत्पादन खर्चही कमी होतो.
एसजीएल कडून मिळालेले ग्राफाइट साहित्य:
| सामान्य पॅरामीटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | चाचणी मानक | मूल्य | युनिट |
| सरासरी कण आकार | आयएसओ १३३२० | १० | μm |
| स्थूल घनता | डीआयएन आयईसी ६०४१३/२०४ | १.८३ | ग्रॅम/सेमी3 |
| खुली सच्छिद्रता | डीआयएन६६१३३ | १० | % |
| मध्यम छिद्र आकार | डीआयएन६६१३३ | १.८ | μm |
| पारगम्यता | डीआयएन ५१९३५ | ०.०६ | सेमी²/सेकंद |
| रॉकवेल कठीणता एचआर५/१०० | डीआयएन आयईसी६०४१३/३०३ | ९० | HR |
| विशिष्ट विद्युत रोधकता | डीआयएन आयईसी ६०४१३/४०२ | १३ | μΩm |
| वाकण्याची ताकद | डीआयएन आयईसी ६०४१३/५०१ | 60 | एमपीए |
| संपीडन शक्ती | डीआयएन ५१९१० | १३० | एमपीए |
| यंगचा मापांक | डीआयएन ५१९१५ | ११.५×१०³ | एमपीए |
| औष्णिक प्रसरण (२०-२००℃) | डीआयएन ५१९०९ | ४.२X१०-6 | K-1 |
| औष्णिक वाहकता (20℃) | डीआयएन ५१९०८ | १०५ | Wm-1K-1 |
हे विशेषतः उच्च-कार्यक्षम सौर सेल निर्मितीसाठी डिझाइन केलेले आहे, जे G12 मोठ्या आकाराच्या वेफर प्रोसेसिंगला समर्थन देते. ऑप्टिमाइझ केलेल्या कॅरियर डिझाइनमुळे थ्रुपुटमध्ये लक्षणीय वाढ होते, ज्यामुळे उच्च उत्पादन दर आणि कमी उत्पादन खर्च शक्य होतो.
| वस्तू | प्रकार | नंबर वेफर वाहक |
| पीईव्हीसीडी ग्रेफाइट बोट - १५६ मालिका | १५६-१३ ग्रेफाइट बोट | १४४ |
| १५६-१९ ग्रेफाइट बोट | २१६ | |
| १५६-२१ ग्रेफाइट बोट | २४० | |
| १५६-२३ ग्राफाइट बोट | ३०८ | |
| पीईव्हीसीडी ग्रेफाइट बोट - १२५ सिरीज | १२५-१५ ग्रेफाइट बोट | १९६ |
| १२५-१९ ग्रेफाइट बोट | २५२ | |
| १२५-२१ ग्रॅफाइट बोट | २८० |







