VET Energy PECVD लोडिङ ट्रे PECVD (प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल वाष्प निक्षेपण) प्रक्रियाको लागि डिजाइन गरिएको एक सटीक वाहक हो। यो उच्च-गुणस्तरको निक्षेपण ग्रेफाइट ट्रे उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनेको छ। यसमा उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, आयामी स्थिरता र अन्य विशेषताहरू छन्। यसले PECVD प्रक्रियाको लागि स्थिर वाहक प्लेटफर्म प्रदान गर्न सक्छ र फिल्म निक्षेपणको एकरूपता र समतलता सुनिश्चित गर्न सक्छ।
VET Energy PECVD लोडिङ ट्रेहरू अर्धचालक, फोटोभोल्टिक, LED र अन्य क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। उदाहरणका लागि:
▪ अर्धचालक: सिलिकन वेफर र एपिटेक्सियल वेफर जस्ता अर्धचालक सामग्रीहरूको लागि PECVD प्रक्रिया।
▪ फोटोभोल्टिक: सौर्य सेल पातलो फिल्महरूको लागि PECVD प्रक्रिया।
▪ LED: LED चिप्सको लागि PECVD प्रक्रिया।
उत्पादनका फाइदाहरू
▪चलचित्रको गुणस्तर सुधार गर्नुहोस्:एकरूप फिल्म निक्षेपण सुनिश्चित गर्नुहोस् र फिल्मको गुणस्तर सुधार गर्नुहोस्।
▪उपकरणको आयु बढाउने:उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध, PECVD उपकरणको सेवा जीवन विस्तार गर्नुहोस्।
▪उत्पादन लागत घटाउनुहोस्:उच्च-गुणस्तरको ग्रेफाइट ट्रेहरूले स्क्र्याप दर घटाउन र उत्पादन लागत घटाउन सक्छ।
SGL बाट ग्रेफाइट सामग्री:
| विशिष्ट प्यारामिटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | परीक्षण मानक | मूल्य | एकाइ |
| औसत अन्नको आकार | आईएसओ १३३२० | १० | माइक्रोमिटर |
| थोक घनत्व | DIN IEC ६०४१३/२०४ | १.८३ | ग्राम/सेमी3 |
| खुला छिद्रता | DIN66133 को परिचय | १० | % |
| मध्यम आकारको प्वाल | DIN66133 को परिचय | १.८ | माइक्रोमिटर |
| पारगम्यता | DIN ५१९३५ | ०.०६ | सेमी²/सेकेन्ड |
| रकवेल कठोरता HR5/100 | DIN IEC60413/303 | ९० | HR |
| विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | DIN IEC ६०४१३/४०२ | १३ | माइक्रोΩमि |
| लचिलो शक्ति | DIN IEC ६०४१३/५०१ | 60 | MPa |
| कम्प्रेसिभ शक्ति | DIN ५१९१० | १३० | MPa |
| यंगको मापांक | DIN ५१९१५ | ११.५×१०³ | MPa |
| थर्मल विस्तार (२०-२००℃) | DIN ५१९०९ | ४.२X१०-6 | K-1 |
| तापीय चालकता (२०℃) | DIN ५१९०८ | १०५ | Wm-1K-1 |
यो विशेष गरी उच्च-दक्षता सौर्य सेल निर्माणको लागि डिजाइन गरिएको हो, जसले G12 ठूलो आकारको वेफर प्रशोधनलाई समर्थन गर्दछ। अनुकूलित क्यारियर डिजाइनले थ्रुपुटलाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ, उच्च उपज दर र कम उत्पादन लागत सक्षम पार्छ।
| वस्तु | प्रकारहरू | नम्बर वेफर क्यारियर |
| PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - १५६ श्रृंखला | १५६-१३ ग्रेफाइट डुङ्गा | १४४ |
| १५६-१९ ग्रेफाइट डुङ्गा | २१६ | |
| १५६-२१ ग्रेफाइट डुङ्गा | २४० | |
| १५६-२३ ग्रेफाइट डुङ्गा | ३०८ | |
| PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - १२५ श्रृंखला | १२५-१५ ग्रेफाइट डुङ्गा | १९६ |
| १२५-१९ ग्रेफाइट डुङ्गा | २५२ | |
| १२५-२१ ग्रिफाइट डुङ्गा | २८० |
-
राम्रो घर्षणको साथ उच्च शक्ति ग्रेफाइट रिंग ...
-
सिल ग्रेफाइट रिङ ग्रेफाइट कम्पोजिट ग्यास्केट ग्र...
-
ग्रेफाइट बियरिङ एन्टिमोनी बियरिङ ग्रेफाइट स्ली...
-
आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट र विशेष ग्रेफाइट ब्लक यू...
-
उच्च गुणस्तरको कार्बन ग्रेफाइट पेपर रोल लचिलो...
-
उच्च शुद्धता लचिलो ग्रेफाइट कागज ०.५ मिमी-१.० मिमी...

