PECVD लोडिङ ट्रे डिपोजिसन ग्रेफाइट ट्रे

छोटो वर्णन:

VET इनर्जीको PECVD लोडिङ ट्रे डिपोजिसनको समयमा वेफरहरूको लागि सुरक्षित र समान समर्थन प्रदान गर्न डिजाइन गरिएको हो, जसले डिपोजिसन प्रक्रियाको स्थिरता र गुणस्तर सुधार गर्दछ। यसको उत्कृष्ट ताप प्रतिरोधको साथ, ग्रेफाइट ट्रेले PECVD चेम्बरहरू भित्र नियन्त्रित वातावरण कायम राख्न मद्दत गर्दछ, प्रदूषणको जोखिम कम गर्दछ र उच्च प्रक्रिया दक्षता सुनिश्चित गर्दछ।


उत्पादन विवरण

उत्पादन ट्यागहरू

VET Energy PECVD लोडिङ ट्रे PECVD (प्लाज्मा एन्हान्स्ड केमिकल वाष्प निक्षेपण) प्रक्रियाको लागि डिजाइन गरिएको एक सटीक वाहक हो। यो उच्च-गुणस्तरको निक्षेपण ग्रेफाइट ट्रे उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेफाइट सामग्रीबाट बनेको छ। यसमा उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, आयामी स्थिरता र अन्य विशेषताहरू छन्। यसले PECVD प्रक्रियाको लागि स्थिर वाहक प्लेटफर्म प्रदान गर्न सक्छ र फिल्म निक्षेपणको एकरूपता र समतलता सुनिश्चित गर्न सक्छ।

VET Energy PECVD लोडिङ ट्रेहरू अर्धचालक, फोटोभोल्टिक, LED र अन्य क्षेत्रहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। उदाहरणका लागि:

▪ अर्धचालक: सिलिकन वेफर र एपिटेक्सियल वेफर जस्ता अर्धचालक सामग्रीहरूको लागि PECVD प्रक्रिया।

▪ फोटोभोल्टिक: सौर्य सेल पातलो फिल्महरूको लागि PECVD प्रक्रिया।

▪ LED: LED चिप्सको लागि PECVD प्रक्रिया।

उत्पादनका फाइदाहरू

चलचित्रको गुणस्तर सुधार गर्नुहोस्:एकरूप फिल्म निक्षेपण सुनिश्चित गर्नुहोस् र फिल्मको गुणस्तर सुधार गर्नुहोस्।

उपकरणको आयु बढाउने:उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध, PECVD उपकरणको सेवा जीवन विस्तार गर्नुहोस्।

उत्पादन लागत घटाउनुहोस्:उच्च-गुणस्तरको ग्रेफाइट ट्रेहरूले स्क्र्याप दर घटाउन र उत्पादन लागत घटाउन सक्छ।

SGL बाट ग्रेफाइट सामग्री:

विशिष्ट प्यारामिटर: R6510

अनुक्रमणिका परीक्षण मानक मूल्य एकाइ
औसत अन्नको आकार आईएसओ १३३२० १० माइक्रोमिटर
थोक घनत्व DIN IEC ६०४१३/२०४ १.८३ ग्राम/सेमी3
खुला छिद्रता DIN66133 को परिचय १० %
मध्यम आकारको प्वाल DIN66133 को परिचय १.८ माइक्रोमिटर
पारगम्यता DIN ५१९३५ ०.०६ सेमी²/सेकेन्ड
रकवेल कठोरता HR5/100 DIN IEC60413/303 ९० HR
विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता DIN IEC ६०४१३/४०२ १३ माइक्रोΩमि
लचिलो शक्ति DIN IEC ६०४१३/५०१ 60 MPa
कम्प्रेसिभ शक्ति DIN ५१९१० १३० MPa
यंगको मापांक DIN ५१९१५ ११.५×१०³ MPa
थर्मल विस्तार (२०-२००℃) DIN ५१९०९ ४.२X१०-6 K-1
तापीय चालकता (२०℃) DIN ५१९०८ १०५ Wm-1K-1

यो विशेष गरी उच्च-दक्षता सौर्य सेल निर्माणको लागि डिजाइन गरिएको हो, जसले G12 ठूलो आकारको वेफर प्रशोधनलाई समर्थन गर्दछ। अनुकूलित क्यारियर डिजाइनले थ्रुपुटलाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ, उच्च उपज दर र कम उत्पादन लागत सक्षम पार्छ।

ग्रेफाइट डुङ्गा
वस्तु प्रकारहरू नम्बर वेफर क्यारियर
PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - १५६ श्रृंखला १५६-१३ ग्रेफाइट डुङ्गा १४४
१५६-१९ ग्रेफाइट डुङ्गा २१६
१५६-२१ ग्रेफाइट डुङ्गा २४०
१५६-२३ ग्रेफाइट डुङ्गा ३०८
PEVCD ग्रेफाइट डुङ्गा - १२५ श्रृंखला १२५-१५ ग्रेफाइट डुङ्गा १९६
१२५-१९ ग्रेफाइट डुङ्गा २५२
१२५-२१ ग्रिफाइट डुङ्गा २८०
उत्पादनका फाइदाहरू
VET इनर्जीको व्यावसायिक सहयोग

  • अघिल्लो:
  • अर्को:

  • व्हाट्सएप अनलाइन च्याट!