د VET انرژۍ PECVD بارولو ټرې یو دقیق کیریر دی چې د PECVD (پلازما لوړ شوي کیمیاوي بخار زیرمه کولو) پروسې لپاره ډیزاین شوی. دا د لوړ کیفیت زیرمه کولو ګرافایټ ټرې د لوړ پاکوالي، لوړ کثافت ګرافایټ موادو څخه جوړ شوی دی. دا د لوړ تودوخې مقاومت، د زنګ وهلو مقاومت، ابعادي ثبات او نور ځانګړتیاوې لري. دا کولی شي د PECVD پروسې لپاره یو باثباته کیریر پلیټ فارم چمتو کړي او د فلم زیرمه کولو یووالي او فلیټیت ډاډمن کړي.
د VET انرژۍ PECVD بارولو ټرې په پراخه کچه په سیمیکمډکټر، فوتوولټیک، LED او نورو برخو کې کارول کیږي. د مثال په توګه:
▪ نیمهمکتریک: د نیمهمکتریک موادو لکه سیلیکون ویفرونو او اپیتیکسیل ویفرونو لپاره د PECVD پروسه.
▪ فوتوولټیک: د لمریز حجرو د پتلو فلمونو لپاره د PECVD پروسه.
▪ LED: د LED چپس لپاره د PECVD پروسه.
د محصول ګټې
▪د فلم کیفیت ښه کول:د فلم د یوشان ساتلو ډاډ ترلاسه کول او د فلم کیفیت ښه کول.
▪د تجهیزاتو ژوند زیات کړئ:د زنګ وهلو عالي مقاومت، د PECVD تجهیزاتو د خدمت ژوند اوږدوي.
▪د تولید لګښتونه کم کړئ:د لوړ کیفیت ګرافایټ ټرې کولی شي د سکریپ کچه راټیټه کړي او د تولید لګښتونه کم کړي.
د SGL څخه د ګرافیت مواد:
| عادي پیرامیټر: R6510 | |||
| ډېرځليزې | د ازموینې معیار | ارزښت | واحد |
| د غلې دانې منځنۍ اندازه | د ISO ۱۳۳۲۰ | ۱۰ | مایکروم |
| د حجم کثافت | د DIN IEC 60413/204 | ۱.۸۳ | ګرامه/سانتي متره3 |
| خلاص پورسیت | د DIN66133 معرفي کول | ۱۰ | % |
| د سوریو منځنۍ اندازه | د DIN66133 معرفي کول | ۱.۸ | مایکروم |
| نفوذ وړتیا | ډین ۵۱۹۳۵ | ۰.۰۶ | سانتي متره/ثانیې |
| د راک ویل سختۍ HR5/100 | د ډین IEC60413/303 | ۹۰ | HR |
| ځانګړی بریښنایی مقاومت | د DIN IEC 60413/402 | ۱۳ | μΩm |
| انعطاف منونکی ځواک | د DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| د فشار ځواک | ډین ۵۱۹۱۰ | ۱۳۰ | MPa |
| د ځوان ماډول | ډین ۵۱۹۱۵ | ۱۱.۵×۱۰³ | MPa |
| د تودوخې پراخوالی (۲۰-۲۰۰℃) | ډین ۵۱۹۰۹ | ۴.۲X۱۰-6 | K-1 |
| د تودوخې چالکتیا (۲۰℃) | ډین ۵۱۹۰۸ | ۱۰۵ | Wm-1K-1 |
دا په ځانګړي ډول د لوړ موثریت سولر سیل تولید لپاره ډیزاین شوی، چې د G12 لوی اندازې ویفر پروسس ملاتړ کوي. غوره شوی کیریر ډیزاین د پام وړ تروپټ زیاتوي، د لوړ حاصل کچه او ټیټ تولید لګښتونه فعالوي.
| توکي | ډول | د نمبر ویفر کیریر |
| د PEVCD ګریفایټ کښتۍ - د ۱۵۶ لړۍ | ۱۵۶-۱۳ ګریفایټ کښتۍ | ۱۴۴ |
| ۱۵۶-۱۹ ګریفایټ کښتۍ | ۲۱۶ | |
| ۱۵۶-۲۱ ګریفایټ کښتۍ | ۲۴۰ | |
| ۱۵۶-۲۳ ګرافایټ کښتۍ | ۳۰۸ | |
| د PEVCD ګریفایټ کښتۍ - د ۱۲۵ لړۍ | ۱۲۵-۱۵ ګریفایټ کښتۍ | ۱۹۶ |
| ۱۲۵-۱۹ ګریفایټ کښتۍ | ۲۵۲ | |
| ۱۲۵-۲۱ ګرافایټ کښتۍ | ۲۸۰ |
