SiC bilen örtülen grafit ýarym aý bölegiýarymgeçiriji önümçilik proseslerinde, esasanam SiC epitaksial enjamlary üçin ulanylýan esasy bölekdir. Biz patentlenen tehnologiýamyzy ulanyp, örän ýokary arassalyga, gowy örtük deňligine we ajaýyp hyzmat möhletine, şeýle hem ýokary himiki garşylyga we termal durnuklylyk häsiýetlerine eýe bolan ýarym aý bölegini ýasaýarys.
Esasy material: ýokary arassa grafit
Arassalyk talaplary:uglerodyň mukdary ≥99.99%, külüň mukdary ≤5ppm, ýokary temperaturada epitaksial gatlagy hapalamak üçin hiç hili hapaçylygyň çökmezligini üpjün etmek üçin.
Öndürijilik artykmaçlyklary:
Ýokary ýylylyk geçirijiligi:Otag temperaturasyndaky ýylylyk geçirijiligi 150W/(m・K) ýetýär, bu bolsa misiň derejesine golaý we ýylylygy çalt geçirip bilýär.
Pes giňelme koeffisiýenti:5×10-6/℃ (25-1000℃), kremniý karbid substratyna (4.2×10) laýyk gelýär-6/℃), termal stres sebäpli örtügiň çatlamagyny azaltmak.
Işläp çykarmagyň takyklygy:Kameranyň möhürlenmegini üpjün etmek üçin CNC işläp bejermek arkaly ±0,05 mm ölçegli çydamlylyk gazanylýar.
CVD SiC we CVD TaC-niň tapawutlandyrylan ulanylyşlary
| Örtük | Proses | Deňeşdirme | Adaty ulanylyş |
| CVD-SiC | Temperatura: 1000-1200℃ Basyş: 10-100 Torr | Gatylygy HV2500, galyňlygy 50-100um, ajaýyp oksidlenme garşylygy (1600℃-den aşak durnukly) | Wodorod we silan ýaly adaty atmosfera üçin amatly bolan uniwersal epitaksial peçler |
| CVD-TaC | Temperatura: 1600-1800℃ Basym: 1-10 Torr | Gatylygy HV3000, galyňlygy 20-50 um, korroziýa garşy örän çydamly (HCl, NH₃ we ş.m. ýaly korroziýa gazlaryna çydap bilýär) | Ýokary derejede aşyndyryjy gurşawlar (meselem, GaN epitaksiýasy we aşyndyryjy enjamlar) ýa-da 2600°C örän ýokary temperatura talap edýän ýörite prosesler |
Hil barlagy
Örtük galyňlygy: lazer galyňlyk ölçeýjisi (takyklyk ± 1um) ýa-da SEM kesişik analizi.
Baglanyşyk berkligi: dyrnak synagy (kritiki ýük > 50N) ýa-da ultrases synagy (ses tizligi > 5000m/s).
Korroziýa garşylygy: massa ýitgisiniň tizligi (<0.1 mg/sm²··sag) HCl atmosferasynda synagdan geçirildi (5 vol%, 1600℃).
"VET Energy" grafit, kremniý karbidi, kwars ýaly ýokary derejeli öňdebaryjy materiallaryň ylmy-barlag işlerine we önümçiligine, şeýle hem SiC örtügi, TaC örtügi, aýna ýaly uglerod örtügi, pirolitik uglerod örtügi we ş.m. ýaly materiallary gaýtadan işlemäge gönükdirilen hünärmen önüm öndürijidir. Önümler fotowoltaik, ýarymgeçiriji, täze energiýa, metallurgiýa we ş.m. pudaklarda giňden ulanylýar.
Biziň tehniki toparymyz ýerli ylmy-barlag edaralaryndan gelip çykýar, size has professional material çözgütlerini hödürläp biler.
VET Energy-niň artykmaçlyklary aşakdakylary öz içine alýar:
• Öz zawodyňyz we hünärmen laboratoriýasyňyz;
• Pudagyň öňdebaryjy arassalyk derejeleri we hili;
• Bäsdeşlikli baha we çalt eltip berme wagty;
• Dünýä boýunça köp sanly senagat hyzmatdaşlygy;
Islendik wagt fabrikamyza we laboratoriýamyza baryp görmegiňizi hoş gördük!
