PECVD Yükleme Tepsisi Biriktirme Grafit Tepsisi

Kısa Açıklama:

VET Energy'nin PECVD Yükleme Tepsisi, biriktirme sırasında gofretlere güvenli ve eşit destek sağlamak, biriktirme işleminin tutarlılığını ve kalitesini iyileştirmek için tasarlanmıştır. Mükemmel ısı direnciyle Grafit Tepsisi, PECVD odalarının içinde kontrollü bir ortamın korunmasına yardımcı olarak kontaminasyon riskini azaltır ve yüksek işlem verimliliği sağlar.

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

VET Energy PECVD yükleme tepsisi, PECVD (plazma destekli kimyasal buhar biriktirme) işlemi için tasarlanmış hassas bir taşıyıcıdır. Bu yüksek kaliteli biriktirme grafit tepsisi, yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden yapılmıştır. Mükemmel yüksek sıcaklık direncine, korozyon direncine, boyutsal kararlılığa ve diğer özelliklere sahiptir. PECVD işlemi için sabit bir taşıyıcı platformu sağlayabilir ve film biriktirmenin düzgünlüğünü ve düzlüğünü garanti edebilir.

VET Energy PECVD yükleme tepsileri yarı iletken, fotovoltaik, LED ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılır. Örneğin:

▪ Yarı iletken: Silisyum gofretler ve epitaksiyel gofretler gibi yarı iletken malzemeler için PECVD işlemi.

▪ Fotovoltaik: Güneş pili ince filmleri için PECVD işlemi.

▪ LED: LED çipleri için PECVD işlemi.

Ürün Avantajları

▪Film kalitesini iyileştirin:Homojen film birikimini sağlayın ve film kalitesini artırın.

▪Ekipman ömrünü uzatın:Mükemmel korozyon direnci, PECVD ekipmanlarının kullanım ömrünü uzatır.

▪Üretim maliyetlerini azaltın:Yüksek kaliteli grafit tepsiler hurda oranını düşürebilir ve üretim maliyetlerini düşürebilir.

SGL'den grafit malzemesi:

Tipik parametre: R6510
Dizin	Test standardı	Değer	Birim
Ortalama tane boyutu	ISO 13320	10	mikron
Yığın yoğunluğu	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Açık gözeneklilik	DIN66133	10	%
Orta gözenek boyutu	DIN66133	1.8	mikron
Geçirgenlik	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell sertliği HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Özgül elektriksel direnç	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Eğilme dayanımı	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Basınç dayanımı	DIN 51910	130	MPa
Young modülü	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termal genleşme (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Isı iletkenliği (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Özellikle yüksek verimli güneş hücresi üretimi için tasarlanmıştır ve G12 büyük boyutlu gofret işlemeyi destekler. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimi önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranları ve daha düşük üretim maliyetleri sağlar.

Öğe	Tip	Sayı gofret taşıyıcısı
PEVCD Grephite teknesi - 156 serisi	156-13 grefit teknesi	144
	156-19 grefit teknesi	216
	156-21 grefit teknesi	240
	156-23 grafit tekne	308
PEVCD Grephite teknesi - 125 serisi	125-15 grefit tekne	196
	125-19 grefit teknesi	252
	125-21 grfit tekne	280