VET Energy PECVD yükleme tepsisi, PECVD (plazma destekli kimyasal buhar biriktirme) işlemi için tasarlanmış hassas bir taşıyıcıdır. Bu yüksek kaliteli biriktirme grafit tepsisi, yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden üretilmiştir. Mükemmel yüksek sıcaklık dayanımı, korozyon direnci, boyutsal kararlılık ve diğer özelliklere sahiptir. PECVD işlemi için istikrarlı bir taşıyıcı platform sağlayabilir ve film biriktirmenin homojenliğini ve düzgünlüğünü garanti edebilir.
VET Energy PECVD yükleme tepsileri, yarı iletken, fotovoltaik, LED ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Örneğin:
▪ Yarı iletken: Silikon levhalar ve epitaksiyel levhalar gibi yarı iletken malzemeler için PECVD işlemi.
▪ Fotovoltaik: Güneş pili ince filmleri için PECVD işlemi.
▪ LED: LED çipleri için PECVD işlemi.
Ürün Avantajları
▪Film kalitesini iyileştirin:Düzgün film tabakası oluşumunu sağlayın ve film kalitesini iyileştirin.
▪Ekipman ömrünü uzatın:Mükemmel korozyon direnci, PECVD ekipmanının kullanım ömrünü uzatır.
▪Üretim maliyetlerini düşürün:Yüksek kaliteli grafit tepsiler, hurda oranını ve üretim maliyetlerini düşürebilir.
SGL'den grafit malzeme:
| Tipik parametre: R6510 | |||
| İndeks | Test standardı | Değer | Birim |
| Ortalama tane boyutu | ISO 13320 | 10 | μm |
| Hacimsel yoğunluk | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Açık gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta gözenek boyutu | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Geçirgenlik | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell sertliği HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Özgül elektriksel direnç | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Eğilme dayanımı | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Basınç dayanımı | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modülü | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termal genleşme (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Isı iletkenliği (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Özellikle yüksek verimli güneş pili üretimi için tasarlanmış olup, G12 büyük boyutlu wafer işlemeyi desteklemektedir. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimliliği önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranları ve daha düşük üretim maliyetleri sağlar.
| Öğe | Tip | Numaralı gofret taşıyıcı |
| PEVCD Grephite teknesi - 156 serisi | 156-13 grefit tekne | 144 |
| 156-19 grefit tekne | 216 | |
| 156-21 grefit tekne | 240 | |
| 156-23 grafit tekne | 308 | |
| PEVCD Grephite teknesi - 125 serisi | 125-15 grefti tekne | 196 |
| 125-19 grefti tekne | 252 | |
| 125-21 grafit tekne | 280 |
