Rhan Hanner Lleuad Graffit wedi'i Gorchuddio â SiC ar gyfer Ffwrnais Epitacsial Silicon Carbid

Disgrifiad Byr:

Mae VET Energy yn wneuthurwr a chyflenwr proffesiynol o gydrannau craidd ffwrneisi epitacsial silicon carbid. Mae ein rhan hanner lleuad graffit wedi'i orchuddio â SiC yn defnyddio graffit purdeb uchel ynghyd â thechnoleg cotio CVD uwch. Fe'i cynlluniwyd ar gyfer amgylcheddau epitacsial tymheredd uchel a chyrydol iawn. Mae'r graffit purdeb uchel yn rhoi ymwrthedd tymheredd uchel rhagorol (>1600℃) a sefydlogrwydd thermol i'r gydran, gan sicrhau unffurfiaeth maes thermol; mae'r cotio CVD yn ffurfio haen amddiffynnol drwchus ar yr wyneb trwy dechnoleg CVD, gan wella'r priodweddau gwrth-ocsideiddio a gwrth-ysgythru yn sylweddol, ac ymestyn oes y gwasanaeth fwy na 3 gwaith.

Deunydd:Graffit purdeb uchel

Puro:<5ppm

Gorchudd:CVD-SiC neu CVD-TaC

Addasu:Ffwrnais brand neu OEM

Anfonwch e-bost atom ni Lawrlwytho fel PDF

Manylion Cynnyrch

Tagiau Cynnyrch

Rhan Hanner Lleuad Graffit wedi'i Gorchuddio â SiCyn gydran allweddol a ddefnyddir mewn prosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion, yn enwedig ar gyfer offer epitacsial SiC. Rydym yn defnyddio ein technoleg patent i wneud y rhan hanner lleuad gyda phurdeb eithriadol o uchel, unffurfiaeth cotio da a bywyd gwasanaeth rhagorol, yn ogystal â phriodweddau ymwrthedd cemegol a sefydlogrwydd thermol uchel.

Deunydd sylfaen: graffit purdeb uchel
Gofynion purdeb:cynnwys carbon ≥99.99%, cynnwys lludw ≤5ppm, i sicrhau nad oes unrhyw amhureddau yn cael eu gwaddodi i halogi'r haen epitacsial ar dymheredd uchel.
Manteision perfformiad:
Dargludedd thermol uchel:Mae'r dargludedd thermol ar dymheredd ystafell yn cyrraedd 150W/(m・K), sy'n agos at lefel copr a gall drosglwyddo gwres yn gyflym.
Cyfernod ehangu isel:5×10^-6/℃ (25-1000℃), sy'n cyfateb i'r swbstrad silicon carbid (4.2 × 10^-6/℃), gan leihau cracio'r cotio a achosir gan straen thermol.
Cywirdeb prosesu:Cyflawnir goddefgarwch dimensiynol o ±0.05mm trwy beiriannu CNC i sicrhau bod y siambr yn cael ei selio.

Cymwysiadau gwahaniaethol CVD SiC a CVD TaC

Gorchudd	Proses	Cymhariaeth	Cymhwysiad nodweddiadol
CVD-SiC	Tymheredd: 1000-1200℃ Pwysedd: 10-100 Torr	Caledwch HV2500, trwch 50-100um, ymwrthedd ocsideiddio rhagorol (sefydlog islaw 1600 ℃)	Ffwrneisi epitacsial cyffredinol, sy'n addas ar gyfer awyrgylchoedd confensiynol fel hydrogen a silan
CVD-TaC	Tymheredd: 1600-1800℃ Pwysedd: 1-10 Torr	Caledwch HV3000, trwch 20-50um, yn gallu gwrthsefyll cyrydiad yn fawr (gall wrthsefyll nwyon cyrydol fel HCl, NH₃, ac ati)	Amgylcheddau cyrydol iawn (megis offer epitacsi a ysgythru GaN), neu brosesau arbennig sy'n gofyn am dymheredd uwch-uchel o 2600°C

Arolygiad ansawdd

Trwch cotio: mesurydd trwch laser (cywirdeb ±1um) neu ddadansoddiad trawsdoriadol SEM.
Cryfder y bond: prawf crafu (llwyth critigol > 50N) neu brawf uwchsonig (cyflymder sain > 5000m/s).
Gwrthiant cyrydiad: cyfradd colli màs (<0.1 mg/cm²・awr) wedi'i phrofi mewn awyrgylch HCl (5 vol%, 1600℃).

Mae VET Energy yn wneuthurwr proffesiynol sy'n canolbwyntio ar ymchwil a datblygu a chynhyrchu deunyddiau uwch o'r radd flaenaf fel graffit, carbid silicon, cwarts, yn ogystal â thrin deunyddiau fel cotio SiC, cotio TaC, cotio carbon gwydrog, cotio carbon pyrolytig, ac ati. Defnyddir y cynhyrchion yn helaeth mewn ffotofoltäig, lled-ddargludyddion, ynni newydd, meteleg, ac ati.

Daw ein tîm technegol o sefydliadau ymchwil domestig gorau, a gallant ddarparu atebion deunydd mwy proffesiynol i chi.

Mae manteision Ynni VET yn cynnwys:
• Ffatri a labordy proffesiynol eich hun;
• Lefelau purdeb ac ansawdd sy'n arwain y diwydiant;
• Pris cystadleuol ac amser dosbarthu cyflym;
• Partneriaethau diwydiant lluosog ledled y byd;

Rydym yn eich croesawu i ymweld â'n ffatri a'n labordy ar unrhyw adeg!