पीईसीवीडी लोडिंग ट्रे डिपोजिशन ग्रेफाइट ट्रे

संक्षिप्त वर्णन:

VET Energy की PECVD लोडिंग ट्रे को डिपोजिशन के दौरान वेफर्स को सुरक्षित और समान रूप से सहारा देने के लिए डिज़ाइन किया गया है, जिससे डिपोजिशन प्रक्रिया की स्थिरता और गुणवत्ता में सुधार होता है। उत्कृष्ट ताप प्रतिरोध क्षमता के साथ, ग्रेफाइट ट्रे PECVD चैंबर के अंदर एक नियंत्रित वातावरण बनाए रखने में मदद करती है, जिससे संदूषण का खतरा कम होता है और प्रक्रिया की उच्च दक्षता सुनिश्चित होती है।

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उत्पाद विवरण

उत्पाद टैग

VET Energy PECVD लोडिंग ट्रे, PECVD (प्लाज्मा एनहांस्ड केमिकल वेपर डिपोजिशन) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया एक सटीक वाहक है। उच्च गुणवत्ता वाली यह डिपोजिशन ग्रेफाइट ट्रे उच्च शुद्धता और उच्च घनत्व वाले ग्रेफाइट पदार्थ से बनी है। इसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताएं हैं। यह PECVD प्रक्रिया के लिए एक स्थिर वाहक प्लेटफॉर्म प्रदान करता है और फिल्म डिपोजिशन की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित करता है।

VET Energy के PECVD लोडिंग ट्रे का उपयोग सेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टाइक, एलईडी और अन्य क्षेत्रों में व्यापक रूप से किया जाता है। उदाहरण के लिए:

▪ सेमीकंडक्टर: सिलिकॉन वेफर्स और एपिटैक्सियल वेफर्स जैसे सेमीकंडक्टर सामग्रियों के लिए PECVD प्रक्रिया।

▪ फोटोवोल्टाइक: सौर सेल की पतली फिल्मों के लिए PECVD प्रक्रिया।

▪ एलईडी: एलईडी चिप्स के लिए PECVD प्रक्रिया।

उत्पाद के लाभ

▪फिल्म की गुणवत्ता में सुधार करें:फिल्म की एकसमान परत जमाव सुनिश्चित करें और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार करें।

▪उपकरण का जीवनकाल बढ़ाएँ:उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, पीईसीवीडी उपकरणों की सेवा अवधि को बढ़ाता है।

▪उत्पादन लागत कम करें:उच्च गुणवत्ता वाली ग्रेफाइट ट्रे स्क्रैप दर को कम कर सकती हैं और उत्पादन लागत को घटा सकती हैं।

एसजीएल से प्राप्त ग्रेफाइट सामग्री:

विशिष्ट पैरामीटर: R6510
अनुक्रमणिका	परीक्षण मानक	कीमत	इकाई
औसत अनाज का आकार	आईएसओ 13320	10	माइक्रोन
थोक घनत्व	डीआईएन आईईसी 60413/204	1.83	ग्राम/सेमी³
खुली सरंध्रता	डीआईएन66133	10	%
मध्यम छिद्र आकार	डीआईएन66133	1.8	माइक्रोन
भेद्यता	डीआईएन 51935	0.06	सेमी²/सेकंड
रॉकवेल कठोरता HR5/100	डीआईएन आईईसी60413/303	90	HR
विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता	डीआईएन आईईसी 60413/402	13	μΩm
आनमनी सार्मथ्य	डीआईएन आईईसी 60413/501	60	एमपीए
सम्पीडक क्षमता	डीआईएन 51910	130	एमपीए
यंग मापांक	डीआईएन 51915	11.5×10³	एमपीए
तापीय प्रसार (20-200℃)	डीआईएन 51909	4.2X10^-6	K^-1
तापीय चालकता (20℃)	डीआईएन 51908	105	Wm^-1K^-1

इसे विशेष रूप से उच्च दक्षता वाले सौर सेल निर्माण के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो G12 बड़े आकार के वेफर प्रसंस्करण का समर्थन करता है। अनुकूलित कैरियर डिज़ाइन से उत्पादन क्षमता में उल्लेखनीय वृद्धि होती है, जिससे उच्च उपज दर और कम उत्पादन लागत संभव हो पाती है।

वस्तु	प्रकार	नंबर वेफर कैरियर
पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 156 श्रृंखला	156-13 ग्रेफाइट नाव	144
	156-19 ग्रेफाइट नाव	216
	156-21 ग्रेफाइट नाव	240
	156-23 ग्रेफाइट नाव	308
पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 125 श्रृंखला	125-15 ग्रेफाइट नाव	196
	125-19 ग्रेफाइट नाव	252
	125-21 ग्रेफाइट नाव	280