VET Energy PECVD लोडिंग ट्रे PECVD (प्लाज्मा एन्हांस्ड केमिकल वेपर डिपोजिशन) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया एक सटीक वाहक है। यह उच्च गुणवत्ता वाला डिपोजिशन ग्रेफाइट ट्रे उच्च शुद्धता, उच्च घनत्व वाले ग्रेफाइट सामग्री से बना है। इसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताएं हैं। यह PECVD प्रक्रिया के लिए एक स्थिर वाहक प्लेटफ़ॉर्म प्रदान कर सकता है और फिल्म डिपोजिशन की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित कर सकता है।
VET Energy PECVD लोडिंग ट्रे का इस्तेमाल सेमीकंडक्टर, फोटोवोल्टिक, LED और अन्य क्षेत्रों में व्यापक रूप से किया जाता है। उदाहरण के लिए:
▪ सेमीकंडक्टर: सिलिकॉन वेफर्स और एपिटैक्सियल वेफर्स जैसे सेमीकंडक्टर सामग्रियों के लिए पीईसीवीडी प्रक्रिया।
▪ फोटोवोल्टेइक: सौर सेल पतली फिल्मों के लिए पीईसीवीडी प्रक्रिया।
▪ एलईडी: एलईडी चिप्स के लिए पीईसीवीडी प्रक्रिया।
उत्पाद लाभ
▪फिल्म की गुणवत्ता में सुधार:एकसमान फिल्म जमाव सुनिश्चित करें और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार करें।
▪उपकरण का जीवन बढ़ाएं:उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, PECVD उपकरणों की सेवा जीवन का विस्तार।
▪उत्पादन लागत कम करें:उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेफाइट ट्रे स्क्रैप दर को कम कर सकते हैं और उत्पादन लागत को कम कर सकते हैं।
एसजीएल से ग्रेफाइट सामग्री:
| विशिष्ट पैरामीटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | परीक्षण मानक | कीमत | इकाई |
| औसत अनाज का आकार | आईएसओ 13320 | 10 | माइक्रोन |
| थोक घनत्व | डीआईएन आईईसी 60413/204 | 1.83 | ग्राम/सेमी3 |
| खुला छिद्र | डीआईएन66133 | 10 | % |
| मध्यम छिद्र आकार | डीआईएन66133 | 1.8 | माइक्रोन |
| भेद्यता | डीआईएन 51935 | 0.06 | सेमी²/सेकेंड |
| रॉकवेल कठोरता HR5/100 | डीआईएन आईईसी60413/303 | 90 | HR |
| विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | डीआईएन आईईसी 60413/402 | 13 | μΩm |
| आनमनी सार्मथ्य | डीआईएन आईईसी 60413/501 | 60 | एमपीए |
| सम्पीडक क्षमता | डीआईएन 51910 | 130 | एमपीए |
| यंग मापांक | डीआईएन 51915 | 11.5×10³ | एमपीए |
| तापीय विस्तार(20-200℃) | डीआईएन 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| तापीय चालकता (20℃) | डीआईएन 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
इसे विशेष रूप से उच्च दक्षता वाले सौर सेल निर्माण के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो G12 बड़े आकार के वेफर प्रसंस्करण का समर्थन करता है। अनुकूलित वाहक डिज़ाइन थ्रूपुट को काफी हद तक बढ़ाता है, जिससे उच्च उपज दर और कम उत्पादन लागत संभव होती है।
| वस्तु | प्रकार | नंबर वेफर वाहक |
| PEVCD ग्रेफाइट नाव - 156 श्रृंखला | 156-13 ग्रेफाइट नाव | 144 |
| 156-19 ग्रेफाइट नाव | 216 | |
| 156-21 ग्रेफाइट नाव | 240 | |
| 156-23 ग्रेफाइट नाव | 308 | |
| PEVCD ग्रेफ़ाइट नाव - 125 श्रृंखला | 125-15 ग्रेफाइट नाव | 196 |
| 125-19 ग्रेफाइट नाव | 252 | |
| 125-21 ग्रफ़ाइट नाव | 280 |
