PECVD posuda za punjenje, posuda za taloženje grafita

PECVD utovarni pladanj Taloženje grafita Pladanj Istaknuta slika

Kratki opis:

VET Energyjeva PECVD posuda za punjenje dizajnirana je kako bi osigurala sigurnu i ravnomjernu potporu za pločice tijekom taloženja, poboljšavajući konzistentnost i kvalitetu procesa taloženja. Svojom izvrsnom otpornošću na toplinu, grafitna posuda pomaže u održavanju kontroliranog okruženja unutar PECVD komora, smanjujući rizik od kontaminacije i osiguravajući visoku učinkovitost procesa.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

VET Energy PECVD posuda za punjenje je precizni nosač dizajniran za PECVD (plazma poboljšano kemijsko taloženje iz pare) proces. Ova visokokvalitetna grafitna posuda za taloženje izrađena je od grafita visoke čistoće i gustoće. Ima izvrsnu otpornost na visoke temperature, otpornost na koroziju, dimenzijsku stabilnost i druge karakteristike. Može pružiti stabilnu platformu nosača za PECVD proces i osigurati ujednačenost i ravnost taloženja filma.

VET Energy PECVD utovarne ladice se široko koriste u poluvodičkim, fotonaponskim, LED i drugim područjima. Na primjer:

▪ Poluvodič: PECVD postupak za poluvodičke materijale kao što su silicijeve pločice i epitaksijalne pločice.

▪ Fotonaponski sustav: PECVD postupak za tanke filmove solarnih ćelija.

▪ LED: PECVD postupak za LED čipove.

Prednosti proizvoda

▪Poboljšajte kvalitetu filma:Osigurajte ravnomjerno nanošenje filma i poboljšajte kvalitetu filma.

▪Produžite vijek trajanja opreme:Izvrsna otpornost na koroziju, produžava vijek trajanja PECVD opreme.

▪Smanjite troškove proizvodnje:Visokokvalitetne grafitne posude mogu smanjiti stopu otpada i smanjiti troškove proizvodnje.

Grafitni materijal od SGL-a:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Standard ispitivanja	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Gustoća nasipnog materijala	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednja veličina pora	DIN66133	1,8	μm
Propusnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifični električni otpor	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksibilna čvrstoća	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna čvrstoća	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Toplinsko širenje (20-200℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Toplinska vodljivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoučinkovitu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu velikih G12 pločica. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava protok, omogućujući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Artikal	Tip	Nosač pločice s brojem
PEVCD Grephite brod - Serija 156	156-13 gramofnasti brod	144
	156-19 grafitni brod	216
	156-21 gramozna čamac	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - Serija 125	125-15 gramozna čamac	196
	125-19 gramozna čamac	252
	125-21 grafitni brod	280